Semiconductor mahitaji ya nyenzo ya mahitaji ya grafiti ni hasa ya juu, faini chembe ukubwa wa grafiti ina usahihi juu, upinzani joto, nguvu ya juu, hasara ndogo na faida nyingine, kama vile: sintered grafiti bidhaa mold.Kwa sababu vifaa vya grafiti vinavyotumiwa katika tasnia ya semiconductor (pamoja na hita na kufa kwao) vinahitajika kuhimili michakato ya kupokanzwa mara kwa mara na kupoeza, ili kupanua maisha ya huduma ya vifaa vya grafiti, kawaida inahitajika kwamba vifaa vya grafiti vinavyotumiwa viwe na utendaji thabiti. na kazi ya athari inayostahimili joto.
01 Vifaa vya grafiti kwa ukuaji wa fuwele ya semicondukta
Michakato yote inayotumiwa kukuza fuwele za semiconductor zinafanya kazi chini ya halijoto ya juu na mazingira yenye ulikaji. Ukanda wa joto wa tanuru ya ukuaji wa fuwele kawaida huwa na vifaa vya grafiti vinavyostahimili joto na kutu, kama vile hita, crucible, silinda ya insulation, silinda ya mwongozo, elektroni, kishikilia crucible, nati ya elektrodi, n.k.
Tunaweza kutengeneza sehemu zote za grafiti za vifaa vya uzalishaji wa kioo, ambavyo vinaweza kutolewa kibinafsi au kwa seti, au sehemu za grafiti zilizoboreshwa za ukubwa mbalimbali kulingana na mahitaji ya wateja. Ukubwa wa bidhaa unaweza kupimwa kwenye tovuti, na maudhui ya majivu ya bidhaa za kumaliza yanaweza kuwa chinikuliko 5 ppm.
02 Vifaa vya grafiti kwa epitaksi ya semiconductor
Mchakato wa Epitaxial unarejelea ukuaji wa safu ya nyenzo za fuwele moja yenye mpangilio wa kimiani sawa na substrate kwenye substrate ya fuwele moja. Katika mchakato wa epitaxial, kaki hupakiwa kwenye diski ya grafiti. Utendaji na ubora wa diski ya grafiti huchukua jukumu muhimu katika ubora wa safu ya epitaxial ya kaki. Katika uwanja wa uzalishaji wa epitaxial, grafiti nyingi za usafi wa juu-juu na msingi wa juu wa grafiti na mipako ya SIC inahitajika.
Msingi wa grafiti wa kampuni yetu kwa epitaxy ya semiconductor ina aina mbalimbali ya matumizi, inaweza kufanana na vifaa vingi vinavyotumiwa katika sekta hiyo, na ina usafi wa juu, mipako ya sare, maisha bora ya huduma, na upinzani wa juu wa kemikali na utulivu wa joto.
03 Vifaa vya grafiti kwa ajili ya kupandikiza ioni
Uwekaji wa ion unarejelea mchakato wa kuongeza kasi ya boriti ya plasma ya boroni, fosforasi na arseniki kwa nishati fulani, na kisha kuiingiza kwenye safu ya uso ya nyenzo za kaki ili kubadilisha mali ya nyenzo ya safu ya uso. Vipengele vya kifaa cha upandikizaji wa ioni vitatengenezwa kwa nyenzo za usafi wa hali ya juu na upinzani bora wa joto, conductivity ya mafuta, kutu kidogo kunasababishwa na boriti ya ioni na maudhui ya chini ya uchafu. Grafiti ya usafi wa hali ya juu inakidhi mahitaji ya maombi, na inaweza kutumika kwa bomba la kuruka, mpasuo mbalimbali, elektrodi, vifuniko vya elektrodi, mifereji ya maji, viambata vya boriti, n.k. ya vifaa vya kupandikiza ioni.
Hatuwezi tu kutoa kifuniko cha kinga cha grafiti kwa mashine mbalimbali za kupandikiza ioni, lakini pia kutoa electrodes ya juu ya usafi wa grafiti na vyanzo vya ion na upinzani wa juu wa kutu wa vipimo mbalimbali. Mifano zinazotumika: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM na vifaa vingine. Kwa kuongeza, tunaweza pia kutoa kauri inayofanana, tungsten, molybdenum, bidhaa za alumini na sehemu zilizofunikwa.
04 Nyenzo za insulation za grafiti na zingine
Nyenzo za kuhami joto zinazotumiwa katika vifaa vya uzalishaji wa semiconductor ni pamoja na kuhisi ngumu kwa grafiti, kuhisi laini, karatasi ya grafiti, karatasi ya grafiti, na kamba ya grafiti.
Malighafi yetu yote ni grafiti kutoka nje, ambayo inaweza kukatwa kulingana na ukubwa maalum wa mahitaji ya mteja au kuuzwa kwa ujumla.
Trei ya kaboni-kaboni hutumika kama kibebaji cha kupaka filamu katika mchakato wa uzalishaji wa silikoni ya jua moja na seli za silikoni za polycrystalline. Kanuni ya kazi ni: ingiza chip ya silicon kwenye trei ya CFC na uitume kwenye bomba la tanuru ili kuchakata mipako ya filamu.
