Kemisk ångavsättning (CVD) hänvisar till processen att avsätta en fast film på ytan av ett kiselrångenom en kemisk reaktion av en gasblandning. Beroende på de olika reaktionsförhållandena (tryck, prekursor) kan den delas in i olika utrustningsmodeller.
Vilka processer används dessa två enheter till?
PECVD(Plasma Enhanced) utrustning är den mest talrika och mest använda, som används i OX, Nitride, metal gate, amorft kol, etc.; LPCVD (Low Power) används vanligtvis i Nitride, poly, TEOS.
Vad är principen?
PECVD-en process som perfekt kombinerar plasmaenergi och CVD. PECVD-teknologin använder lågtemperaturplasma för att inducera glödurladdning vid katoden i processkammaren (dvs. provbrickan) under lågt tryck. Denna glödurladdning eller annan uppvärmningsanordning kan höja temperaturen på provet till en förutbestämd nivå och sedan införa en kontrollerad mängd processgas. Denna gas genomgår en serie kemiska reaktioner och plasmareaktioner och bildar slutligen en fast film på provets yta.
LPCVD - Lågtrycks kemisk ångdeposition (LPCVD) är utformad för att reducera drifttrycket för reaktionsgasen i reaktorn till cirka 133 Pa eller mindre.
Vilka egenskaper har var och en?
PECVD - En process som perfekt kombinerar plasmaenergi och CVD: 1) Lågtemperaturdrift (undviker högtemperaturskador på utrustningen); 2) Snabb filmtillväxt; 3) Inte kräsen med material, OX, nitrid, metallport, amorft kol kan alla växa; 4) Det finns ett in-situ övervakningssystem som kan justera receptet genom jonparametrar, gasflödeshastighet, temperatur och filmtjocklek.
LPCVD - Tunna filmer avsatta av LPCVD kommer att ha bättre stegtäckning, bra sammansättning och strukturkontroll, hög avsättningshastighet och uteffekt. Dessutom kräver LPCVD inte bärargas, så det minskar avsevärt källan till partikelföroreningar och används i stor utsträckning i högförädlade halvledarindustrier för tunnfilmsavsättning.
Välkommen alla kunder från hela världen att besöka oss för en vidare diskussion!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
Posttid: 2024-jul