Kiselkarbidbeläggning,allmänt känd som SiC-beläggning, hänvisar till processen att applicera ett lager av kiselkarbid på ytor genom metoder som kemisk ångavsättning (CVD), Fysisk ångavsättning (PVD) eller termisk sprutning. Denna keramiska beläggning av kiselkarbid förbättrar ytegenskaperna hos olika substrat genom att ge exceptionell slitstyrka, termisk stabilitet och korrosionsskydd. SiC är känt för sina enastående fysikaliska och kemiska egenskaper, inklusive en hög smältpunkt (cirka 2700 ℃), extrem hårdhet (Mohs skala 9), utmärkt korrosions- och oxidationsbeständighet och exceptionell ablationsprestanda.
Viktiga fördelar med kiselkarbidbeläggning i industriella tillämpningar
På grund av dessa egenskaper används kiselkarbidbeläggning i stor utsträckning inom områden som flyg, vapenutrustning och halvledarbearbetning. I extrema miljöer, särskilt inom intervallet 1800-2000 ℃, uppvisar SiC-beläggning anmärkningsvärd termisk stabilitet och ablativ motståndskraft, vilket gör den idealisk för applikationer vid hög temperatur. Emellertid saknar enbart kiselkarbid den strukturella integritet som behövs för många applikationer, så beläggningsmetoder används för att utnyttja dess unika egenskaper utan att kompromissa med komponentstyrkan. I halvledartillverkning ger kiselkarbidbelagda element tillförlitligt skydd och prestandastabilitet i utrustning som används i MOCVD-processer.
Vanliga metoder för beredning av kiselkarbidbeläggning
Ⅰ● Kemisk ångavsättning (CVD) kiselkarbidbeläggning
I denna metod bildas SiC-beläggningar genom att placera substrat i en reaktionskammare, där metyltriklorsilan (MTS) fungerar som en prekursor. Under kontrollerade förhållanden - typiskt 950-1300°C och undertryck - genomgår MTS-enheten sönderdelning och kiselkarbid avsätts på ytan. Denna CVD SiC-beläggningsprocess säkerställer en tät, enhetlig beläggning med utmärkt vidhäftning, idealisk för högprecisionstillämpningar i halvledar- och flygsektorer.
Ⅱ● Prekursorkonverteringsmetod (polymerimpregnering och pyrolys – PIP)
En annan effektiv sprutbeläggningsmetod av kiselkarbid är prekursoromvandlingsmetoden, som involverar nedsänkning av det förbehandlade provet i en keramisk prekursorlösning. Efter att ha dammsugit impregneringstanken och trycksatt beläggningen värms provet upp, vilket leder till bildning av kiselkarbidbeläggning vid kylning. Denna metod är att föredra för komponenter som kräver enhetlig beläggningstjocklek och förbättrad slitstyrka.
Fysiska egenskaper hos kiselkarbidbeläggning
Kiselkarbidbeläggningar uppvisar egenskaper som gör dem idealiska för krävande industriella tillämpningar. Dessa egenskaper inkluderar:
Värmeledningsförmåga: 120-270 W/m·K
Termisk expansionskoefficient: 4,3 × 10^(-6)/K (vid 20~800 ℃)
Elektrisk resistivitet: 10^5– 10^6Ω·cm
Hårdhet: Mohs skala 9
Applikationer av kiselkarbidbeläggning
Inom halvledartillverkning skyddar kiselkarbidbeläggning för MOCVD och andra högtemperaturprocesser kritisk utrustning, såsom reaktorer och susceptorer, genom att erbjuda både högtemperaturbeständighet och stabilitet. Inom flyg- och försvarsindustrin appliceras keramiska beläggningar av kiselkarbid på komponenter som måste motstå stötar i hög hastighet och korrosiva miljöer. Dessutom kan kiselkarbidfärg eller -beläggningar också användas på medicinsk utrustning som kräver hållbarhet under steriliseringsprocedurer.
Varför välja kiselkarbidbeläggning?
Med ett bevisat rekord för att förlänga komponenternas livslängd ger kiselkarbidbeläggningar oöverträffad hållbarhet och temperaturstabilitet, vilket gör dem kostnadseffektiva för långtidsanvändning. Genom att välja en kiselkarbidbelagd yta drar industrier nytta av minskade underhållskostnader, förbättrad utrustnings tillförlitlighet och förbättrad driftseffektivitet.
Varför välja VET ENERGY?
VET ENERGY är en professionell tillverkare och fabrik av kiselkarbidbeläggningsprodukter i Kina. De viktigaste SiC-beläggningsprodukterna inkluderar kiselkarbid keramisk beläggningsvärmare,CVD kiselkarbidbeläggning MOCVD Susceptor, MOCVD grafitbärare med CVD SiC-beläggning, SiC-belagda grafitbasbärare, Kiselkarbidbelagt grafitsubstrat för halvledare,SiC-beläggning/belagd grafitsubstrat/bricka för halvledare, CVD SiC belagd kol-kol komposit CFC båtform. VET ENERGY har åtagit sig att tillhandahålla avancerad teknologi och produktlösningar för halvledarindustrin. Vi hoppas verkligen att bli din långsiktiga partner i Kina.
Posttid: 2023-02-02