Vad är sic beläggning?

Kiselkarbidär en hård förening som innehåller kisel och kol, och finns i naturen som det extremt sällsynta mineralet moissanite. Kiselkarbidpartiklar kan bindas samman genom sintring för att bilda mycket hård keramik, som används i stor utsträckning i applikationer som kräver hög hållbarhet, särskilt i halvledarprocessioner.

Fysisk struktur av SiC

Vad är SiC-beläggning?

SiC-beläggning är en tät, slitstark kiselkarbidbeläggning med hög korrosions- och värmebeständighet och utmärkt värmeledningsförmåga. Denna högrena SiC-beläggning används främst inom halvledar- och elektronikindustrin för att skydda waferbärare, baser och värmeelement från korrosiva och reaktiva miljöer. SiC-beläggning är också lämplig för vakuumugnar och provuppvärmning i högvakuum, reaktiva och syremiljöer.

SiC-beläggningsyta med hög renhet

Vad är SiC-beläggningsprocessen?

Ett tunt lager av kiselkarbid avsätts på ytan av substratet med hjälp avCVD (Chemical Vapor Deposition). Deponering utförs vanligtvis vid temperaturer på 1200-1300°C och substratmaterialets termiska expansionsbeteende bör vara kompatibelt med SiC-beläggningen för att minimera termisk stress.

CVD SIC FILM KRISTALSTRUKTUR

CVD SIC Beläggning FILM KRISTALSTRUKTUR

SiC-beläggningens fysikaliska egenskaper återspeglas huvudsakligen i dess höga temperaturbeständighet, hårdhet, korrosionsbeständighet och värmeledningsförmåga.

Typiska fysiska parametrar är vanligtvis följande:

Hårdhet: SiC-beläggning har vanligtvis en Vickers-hårdhet i intervallet 2000-2500 HV, vilket ger dem extremt hög slitage- och slaghållfasthet i industriella applikationer.

Densitet: SiC-beläggningar har vanligtvis en densitet på 3,1-3,2 g/cm³. Den höga densiteten bidrar till beläggningens mekaniska styrka och hållbarhet.

Värmeledningsförmåga: SiC-beläggningar har en hög värmeledningsförmåga, vanligtvis i intervallet 120-200 W/mK (vid 20°C). Detta ger den god värmeledningsförmåga i högtemperaturmiljöer och gör den särskilt lämplig för värmebehandlingsutrustning inom halvledarindustrin.

Smältpunkt: kiselkarbid har en smältpunkt på cirka 2730°C och har utmärkt termisk stabilitet vid extrema temperaturer.

Koefficient för termisk expansion: SiC-beläggningar har en låg linjär värmeutvidgningskoefficient (CTE), vanligtvis i intervallet 4,0-4,5 µm/mK (i 25-1000 ℃). Detta innebär att dess dimensionella stabilitet är utmärkt över stora temperaturskillnader.

Korrosionsbeständighet: SiC-beläggningar är extremt motståndskraftiga mot korrosion i stark syra, alkali och oxiderande miljöer, speciellt när man använder starka syror (som HF eller HCl), deras korrosionsbeständighet överstiger vida den för konventionella metallmaterial.

SiC-beläggningar kan appliceras på följande material:

Isostatisk grafit med hög renhet (låg CTE)
Volfram
Molybden
Kiselkarbid
Kiselnitrid
Kol-kolkompositer (CFC)

SiC-belagda produkter används vanligtvis inom följande områden:

LED-chip produktion
Tillverkning av polykisel
Halvledarekristalltillväxt
Kisel ochSiC epitaxi
Wafer värmebehandling och etsning

Varför välja VET Energy?

VET Energy är en ledande tillverkare, innovatör och ledare av SiC-beläggningsprodukter i Kina, de viktigaste SiC-beläggningsprodukterna inkluderarwaferbärare med SiC-beläggning, SiC-belagdepitaxiell susceptor, SiC-belagd grafitring, Halvmånedelar med SiC-beläggning, SiC-belagd kol-kol-komposit, SiC-belagd waferbåt, SiC-belagd värmare, etc. VET Energy har åtagit sig att förse halvledarindustrin med den ultimata teknologin och produktlösningarna och stödjer kundanpassningstjänster. Vi ser verkligen fram emot att vara din långsiktiga partner i Kina.