Sputterande målanvänds huvudsakligen inom elektronik- och informationsindustrin, såsom integrerade kretsar, informationslagring, LCD-skärmar, laserminnen, elektroniska styranordningar, etc. De kan också användas inom glasbeläggning, såväl som i slitstarka material, hög temperatur korrosionsbeständighet, avancerade dekorativa produkter och andra industrier.
Sputtering är en av huvudteknikerna för att förbereda tunnfilmsmaterial.Den använder joner som genereras av jonkällor för att accelerera och aggregera i ett vakuum för att bilda höghastighetsenergijonstrålar, bombardera den fasta ytan och utbyta kinetisk energi mellan joner och fasta ytatomer. Atomerna på den fasta ytan lämnar den fasta ytan och avsätts på ytan av substratet. Det bombarderade fasta materialet är råmaterialet för avsättning av tunna filmer genom sputtering, vilket kallas sputtering target. Olika typer av förstoftade tunnfilmsmaterial har använts i stor utsträckning i integrerade halvledarkretsar, inspelningsmedia, platta bildskärmar och ytbeläggningar på arbetsstycket.
Bland alla applikationsindustrier har halvledarindustrin de strängaste kvalitetskraven för målförstoftningsfilmer. Metallförstoftningsmål med hög renhet används främst vid wafertillverkning och avancerade förpackningsprocesser. Om vi tar chiptillverkning som ett exempel kan vi se att från en kiselwafer till ett chip, måste den genomgå 7 stora produktionsprocesser, nämligen diffusion (Thermal Process), Photo-lithography (Photo-lithography), Etch (Etch), Jonimplantation (IonImplant), tunnfilmstillväxt (dielektrisk avsättning), kemisk mekanisk polering (CMP), metallisering (metallisering) processer överensstämmer en efter en. Sputtermålet används i processen för "metallisering". Målet bombarderas med högenergipartiklar av tunnfilmsavsättningsutrustning och sedan bildas ett metallskikt med specifika funktioner på kiselskivan, såsom ledande skikt, barriärskikt. Vänta. Eftersom processerna för hela halvledarna varierar så krävs det enstaka situationer för att verifiera att systemet existerar korrekt så vi kräver vissa typer av dummymaterial vid vissa produktionsstadier för att bekräfta effekterna.
Posttid: 2022-jan-17