SiC palapis Carrier Pikeun RTP / RTA

Katerangan pondok:

VET Energy SiC Coating Carrier Pikeun RTP / RTA mangrupikeun produk berkinerja tinggi anu dirancang pikeun nyayogikeun kinerja anu konsisten sareng dipercaya dina waktos anu berkepanjangan. Cai mibanda résistansi panas super alus tur uniformity termal, purity tinggi, résistansi erosi, sahingga solusi sampurna pikeun aplikasi processing wafer.

 


  • Tempat Asal:Cina
  • Struktur Kristal:Fase FCCβ
  • kapadetan:3,21 g/cm;
  • Teu karasa:2500 Vickers;
  • Ukuran gandum:2~10μm;
  • Kemurnian Kimia:99,99995%;
  • Kapasitas Panas:640J·kg-1·K-1;
  • Suhu Sublimation:2700 ℃;
  • Kakuatan Felexural:415 Mpa (RT 4-Point);
  • Modulus ngora:430 Gpa (4pt ngalipet, 1300 ℃);
  • Ékspansi Thermal (CTE):4.5 10-6K-1;
  • Konduktivitas termal:300(W/MK);
  • Rincian produk

    Tag produk

    SiC Coating Carrier Pikeun RTP / RTA mangrupikeun komponén konci anu dianggo dina prosés manufaktur semikonduktor anu disebut Rapid Thermal Processing & Annealing, kami nganggo téknologi anu dipaténkeun pikeun ngajantenkeun pamawa karbida silikon kalayan kemurnian anu luhur pisan, seragam palapis anu saé sareng umur jasa anu saé, sapertos ogé résistansi kimiawi anu luhur sareng sipat stabilitas termal.

    Keunggulan produk kami :

    1. lalawanan oksidasi suhu luhur nepi ka 1700 ℃.
    2. purity tinggi na uniformity termal
    3. Alus lalawanan korosi: asam, alkali, uyah jeung réagen organik.

    4. karasa High, beungeut kompak, partikel rupa.
    5. hirup layanan leuwih panjang sarta leuwih awét

    CVD SiC薄膜基本物理性能

    Sipat fisik dasar CVD SiCpalapis

    性质 / Harta

    典型数值 / Niley has

    晶体结构 / Struktur Kristal

    Fase β FCC多晶,主要为(111)取向

    密度 / Kapadetan

    3,21 g/cm³

    硬度 / Teu karasa

    2500 维氏硬度(500g beban)

    晶粒大小 / Ukuran Gandum

    2~10μm

    纯度 / Kamurnian Kimia

    99.99995%

    热容 / Kapasitas panas

    640 J·kg-1· K-1

    升华温度 / Suhu sublimation

    2700 ℃

    抗弯强度 / Kakuatan Flexural

    415 MPa RT 4-titik

    杨氏模量 / Modulus ngora

    430 Gpa 4pt ngalipet, 1300 ℃

    导热系数 / TérmalKonduktivitas

    300W·m-1· K-1

    热膨胀系数 / Ékspansi Termal (CTE)

    4,5 × 10-6K-1

    1

    2

    VET Energy mangrupikeun produsén nyata produk grafit sareng silikon karbida anu disesuaikan sareng palapis anu béda sapertos palapis SiC, palapis TaC, palapis karbon kaca, palapis karbon pirolitik, sareng sajabana, tiasa nyayogikeun rupa-rupa bagian anu disesuaikan pikeun industri semikonduktor sareng fotovoltaik.

    Tim téknis kami asalna ti lembaga panalungtikan domestik luhur, tiasa nyayogikeun solusi bahan anu langkung profésional pikeun anjeun.

    Kami terus-terusan ngembangkeun prosés canggih pikeun nyayogikeun bahan anu langkung maju, sareng parantos nyiptakeun téknologi anu dipaténkeun éksklusif, anu tiasa ngajantenkeun beungkeutan antara palapis sareng substrat langkung ketat sareng kirang rawan detachment.

    Warmly ngabagéakeun anjeun nganjang ka pabrik urang, hayu urang sawala salajengna!

    研发团队

     

    生产设备

     

    公司客户


  • saméméhna:
  • Teras:

  • Chat Online WhatsApp!