VET Energy PECVD loading tray mangrupakeun pamawa precision dirancang pikeun PECVD (plasma ditingkatkeun déposisi uap kimiawi) prosés. Baki grafit déposisi kualitas luhur ieu didamel tina bahan grafit dénsitas luhur anu murni. Cai mibanda résistansi suhu luhur anu saé, résistansi korosi, stabilitas dimensi sareng ciri anu sanés. Bisa nyadiakeun platform pamawa stabil pikeun prosés PECVD sarta mastikeun uniformity na flatness of déposisi pilem.
VET Energy PECVD loading trays loba dipaké dina semikonduktor, photovoltaic, LED jeung widang lianna. Salaku conto:
▪ Semikonduktor: Prosés PECVD pikeun bahan semikonduktor saperti wafer silikon jeung wafer epitaxial.
▪ Photovoltaic: Prosés PECVD pikeun film ipis sél surya.
▪ LED: prosés PECVD pikeun chip LED.
Kaunggulan produk
▪Ningkatkeun kualitas pilem:Pastikeun déposisi pilem seragam sareng ningkatkeun kualitas pilem.
▪Manjangkeun umur alat:Résistansi korosi anu saé, manjangkeun umur jasa alat PECVD.
▪Ngurangan biaya produksi:Baki grafit kualitas luhur tiasa ngirangan tingkat besi tua sareng ngirangan biaya produksi.
Bahan grafit tina SGL:
| Parameter has: R6510 | |||
| Indéks | Standar tés | Nilai | Unit |
| Ukuran gandum rata | ISO 13320 | 10 | μm |
| Kapadetan bulk | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| Buka porosity | DIN66133 | 10 | % |
| Ukuran pori sedeng | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Perméabilitas | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| Rockwell karasa HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Résistivitas listrik spésifik | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Kakuatan flexural | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Kakuatan compressive | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Modulus ngora | DIN 51915 | 11,5 × 10³ | MPa |
| ékspansi termal (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| konduktivitas termal (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Ieu husus dirancang pikeun-efisiensi tinggi manufaktur sél surya, ngarojong G12 badag-ukuran processing wafer. Desain pamawa anu dioptimalkeun sacara signifikan ningkatkeun throughput, ngamungkinkeun tingkat ngahasilkeun anu langkung luhur sareng ngirangan biaya produksi.
| Barang | Tipe | Angka wafer carrier |
| PEVCD Grephite parahu - The 156 runtuyan | 156-13 parahu grephite | 144 |
| 156-19 parahu grephite | 216 | |
| 156-21 parahu grephite | 240 | |
| 156-23 parahu grafit | 308 | |
| PEVCD Grephite parahu - The 125 runtuyan | 125-15 parahu grephite | 196 |
| 125-19 parahu grephite | 252 | |
| 125-21 parahu grafit | 280 |
