déposisi uap kimiawi (CVD) nujul kana prosés neundeun pilem padet dina beungeut silikonwaferngaliwatan réaksi kimia tina campuran gas. Numutkeun kana kaayaan réaksi anu béda (tekanan, prékursor), éta tiasa dibagi kana sababaraha modél alat.
Prosés naon anu dianggo pikeun dua alat ieu?
PECVD(Plasma Enhanced) alat-alat anu paling loba sarta paling ilahar dipake, dipaké dina OX, Nitride, Gerbang logam, karbon amorf, jsb; LPCVD (Kakuatan Lemah) biasana dianggo dina Nitrida, poli, TEOS.
Naon prinsipna?
PECVD-prosés anu sampurna ngagabungkeun énergi plasma jeung CVD. Téknologi PECVD ngagunakeun plasma suhu-rendah pikeun ngainduksi glow discharge dina katoda kamar prosés (nyaéta, baki sampel) dina tekanan handap. Ieu ngurangan glow atawa alat pemanasan séjén bisa naekeun suhu sampel ka tingkat predetermined, lajeng ngenalkeun jumlah dikawasa gas prosés. Gas ieu ngalaman runtuyan réaksi kimiawi jeung plasma, sarta ahirna ngabentuk pilem padet dina beungeut sampel.
LPCVD - Déposisi uap kimia tekanan rendah (LPCVD) dirancang pikeun ngirangan tekanan operasi gas réaksi dina réaktor sakitar 133Pa atanapi kirang.
Naon ciri masing-masing?
PECVD - Prosés anu sampurna ngagabungkeun énergi plasma jeung CVD: 1) Operasi suhu low (ngahindarkeun karuksakan suhu luhur alat); 2) tumuwuhna pilem gancang; 3) Teu picky ngeunaan bahan, OX, Nitride, Gerbang logam, karbon amorf sagala bisa tumuwuh; 4) Aya sistem ngawaskeun di-situ, anu tiasa nyaluyukeun resep ngalangkungan parameter ion, laju aliran gas, suhu sareng ketebalan pilem.
LPCVD - Film ipis anu disimpen ku LPCVD bakal gaduh sinyalna léngkah anu langkung saé, komposisi sareng kontrol struktur anu saé, tingkat déposisi anu luhur sareng kaluaran. Salaku tambahan, LPCVD henteu meryogikeun gas pembawa, ku kituna éta ngirangan pisan sumber polusi partikel sareng seueur dianggo dina industri semikonduktor nilai tambah luhur pikeun déposisi pilem ipis.
Wilujeng sumping palanggan ti sakumna dunya pikeun nganjang ka kami pikeun diskusi salajengna!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
waktos pos: Jul-24-2024