Tungku kristal tunggal mangrupikeun alat anu ngagunakeun amanaskeun grafitpikeun ngalembereh bahan silikon polycrystalline dina gas inert (argon) lingkungan sarta ngagunakeun métode Czochralski tumuwuh kristal tunggal non-dislocated. Ieu utamana diwangun ku sistem handap:
Sistim transmisi mékanis
Sistem transmisi mékanis mangrupikeun sistem operasi dasar tina tungku kristal tunggal, anu utamina tanggung jawab pikeun ngatur gerakan kristal sarengcrucible, kaasup ngangkat sarta rotasi kristal cikal sarta ngangkat sarta rotasi tinacrucible. Éta akurat tiasa nyaluyukeun parameter sapertos posisi, laju sareng sudut rotasi kristal sareng crucibles pikeun mastikeun kamajuan lancar tina prosés pertumbuhan kristal. Contona, dina tahap tumuwuhna kristal béda kayaning seeding, necking, shouldering, tumuwuhna diaméter sarua jeung tailing, gerakan kristal cikal na crucibles perlu akurat dikawasa ku sistem ieu minuhan sarat prosés tumuwuhna kristal.
Sistem kontrol suhu pemanasan
Ieu salah sahiji sistem inti tina tungku kristal tunggal, nu dipaké pikeun ngahasilkeun panas tur akurat ngadalikeun hawa dina tungku. Utamana diwangun ku komponén sapertos pamanas, sénsor suhu, sareng pangendali suhu. manaskeun biasana dijieun tina bahan kayaning grafit-purity tinggi. Saatos arus bolak dirobih sareng diréduksi pikeun ningkatkeun arus, manaskeun ngahasilkeun panas pikeun ngalembereh bahan polikristalin sapertos polysilicon dina crucible. Sensor suhu ngawas parobahan suhu dina tungku sacara real waktos sareng ngirimkeun sinyal suhu ka pengontrol suhu. The controller hawa akurat ngadalikeun kakuatan pemanasan nurutkeun parameter hawa set jeung sinyal hawa eupan balik, kukituna ngajaga stabilitas suhu dina tungku jeung nyadiakeun lingkungan hawa cocog pikeun tumuwuh kristal.
Sistim vakum
Fungsi utama sistem vakum nyaéta pikeun nyiptakeun sareng ngajaga lingkungan vakum dina tungku salami prosés kamekaran kristal. Hawa jeung gas najis dina tungku anu sasari ngaliwatan numput vakum jeung alat-alat sejenna sangkan tekanan gas dina tungku ngahontal hiji tingkat pisan low, umumna handap 5TOR (torr). Ieu tiasa nyegah bahan silikon tina dioksidasi dina suhu anu luhur sareng mastikeun kamurnian sareng kualitas pertumbuhan kristal. Dina waktu nu sarua, lingkungan vakum oge kondusif pikeun nyoplokkeun pangotor volatile dihasilkeun salila prosés tumuwuhna kristal sarta ngaronjatkeun kualitas kristal.
Sistim argon
Sistem argon maénkeun peran dina ngajaga tur ngatur tekanan dina tungku dina tungku kristal tunggal. Saatos vacuuming, gas argon-purity tinggi (purity kudu luhur 6 9) kaeusi kana tungku. Di hiji sisi, éta bisa nyegah hawa luar tina ngasupkeun tungku jeung nyegah bahan silikon ti keur dioksidasi; di sisi séjén, keusikan gas argon bisa ngajaga tekanan dina tungku stabil sarta nyadiakeun lingkungan tekanan cocog pikeun tumuwuh kristal. Sajaba ti éta, aliran gas argon ogé bisa nyokot jauh panas dihasilkeun salila prosés tumuwuhna kristal, maén peran cooling tangtu.
Sistim cooling cai
Fungsi sistem cooling cai nyaéta pikeun niiskeun rupa-rupa komponén suhu luhur tina tungku kristal tunggal pikeun mastikeun operasi normal sarta hirup jasa pakakas. Salila operasi tungku kristal tunggal, manaskeun,crucible, éléktroda jeung komponén séjén bakal ngahasilkeun loba panas. Upami aranjeunna henteu langkung tiis dina waktosna, alat-alatna bakal overheat, deform atanapi malah ruksak. Sistem cooling cai ngaleungitkeun panas komponén ieu ku ngiderkeun cai cooling pikeun ngajaga suhu pakakas dina rentang aman. Dina waktos anu sami, sistem penyejukan cai ogé tiasa ngabantosan nyaluyukeun suhu dina tungku pikeun ningkatkeun akurasi kontrol suhu.
Sistem kontrol listrik
Sistem kontrol listrik nyaéta "otak" tina tungku kristal tunggal, anu tanggung jawab pikeun ngawaskeun sareng ngontrol operasi sadaya alat. Éta tiasa nampi sinyal tina sababaraha sénsor, sapertos sénsor suhu, sénsor tekanan, sénsor posisi, sareng sajabana, sareng koordinat sareng ngontrol sistem transmisi mékanis, sistem kontrol suhu pemanasan, sistem vakum, sistem argon sareng sistem penyejukan cai dumasar kana sinyal ieu. Contona, dina mangsa proses tumuwuhna kristal, sistem kontrol listrik otomatis bisa nyaluyukeun kakuatan pemanasan nurutkeun sinyal hawa fed deui ku sensor hawa; nurutkeun tumuwuhna kristal, éta bisa ngadalikeun speed gerakan sarta sudut rotasi tina kristal cikal jeung crucible. Dina waktos anu sami, sistem kontrol listrik ogé ngagaduhan diagnosis sesar sareng fungsi alarem, anu tiasa ngadeteksi kaayaan alat anu teu normal dina waktosna sareng mastikeun operasi anu aman.
waktos pos: Sep-23-2024