Paranti semikonduktor generasi katilu -SiC (silikon karbida) sareng aplikasina

Salaku jinis bahan semikonduktor anyar, SiC parantos janten bahan semikonduktor anu paling penting pikeun ngahasilkeun alat optoeléktronik panjang gelombang pondok, alat suhu luhur, alat résistansi radiasi sareng alat éléktronik kakuatan tinggi / kakuatan tinggi kusabab sipat fisik sareng kimia anu alus teuing. sipat listrik. Utamana lamun dilarapkeun dina kaayaan ekstrim na kasar, karakteristik alat SiC jauh ngaleuwihan pamadegan alat Si jeung alat GaAs. Ku alatan éta, alat SiC sareng sababaraha jinis sénsor laun-laun janten salah sahiji alat konci, maénkeun peran anu langkung penting.

Alat sareng sirkuit SiC parantos ngembangkeun gancang ti taun 1980-an, khususna ti saprak 1989 nalika wafer substrat SiC munggaran asup ka pasar. Dina sababaraha widang, sapertos dioda pemancar cahaya, alat-alat listrik frekuensi tinggi sareng tegangan tinggi, alat SiC parantos dianggo sacara komersil. Pangwangunanna gancang. Saatos ampir 10 taun pangwangunan, prosés alat SiC parantos tiasa ngadamel alat komérsial. Sajumlah perusahaan anu diwakilan ku Cree parantos mimiti nawiskeun produk komérsial alat SiC. Institusi panalungtikan domestik sareng paguron luhur ogé parantos ngahontal prestasi anu pikaresepeun dina kamekaran bahan SiC sareng téknologi manufaktur alat. Sanaos bahan SiC gaduh sipat fisik sareng kimia anu langkung unggul, sareng téknologi alat SiC ogé dewasa, tapi kinerja alat sareng sirkuit SiC henteu langkung unggul. Sajaba ti bahan SiC sarta prosés alat kudu terus ningkat. Langkung seueur usaha kedah dilakukeun dina cara ngamangpaatkeun bahan SiC ku ngaoptimalkeun struktur alat S5C atanapi ngajukeun struktur alat anyar.

Ayeuna. Panaliti alat SiC utamina museurkeun kana alat diskrit. Pikeun unggal jinis struktur alat, panilitian awal nyaéta ngan ukur mindahkeun struktur alat Si atanapi GaAs anu aya kana SiC tanpa ngaoptimalkeun struktur alat. Kusabab lapisan oksida intrinsik SiC sami sareng Si, nyaéta SiO2, éta hartosna kalolobaan alat Si, khususna alat m-pa, tiasa diproduksi dina SiC. Sanaos ngan ukur cangkok saderhana, sababaraha alat anu dicandak parantos ngahontal hasil anu nyugemakeun, sareng sababaraha alat parantos lebet ka pasar pabrik.

Alat optoeléktronik SiC, khususna dioda pemancar cahaya biru (BLU-ray leds), parantos lebet ka pasar dina awal 1990-an sareng mangrupikeun alat SiC anu diproduksi sacara masal. Dioda SiC Schottky tegangan luhur, transistor kakuatan SiC RF, MOSFET SiC sareng mesFET ogé sayogi sacara komersil. Tangtosna, kinerja sadaya produk SiC ieu jauh tina maén ciri super bahan SiC, sareng fungsi sareng kinerja alat SiC anu langkung kuat masih kedah ditaliti sareng dikembangkeun. Cangkok saderhana sapertos kitu sering henteu tiasa pinuh ngamangpaatkeun kaunggulan bahan SiC. Malah di wewengkon sababaraha kaunggulan alat SiC. Sababaraha alat SiC mimitina dijieun teu bisa cocog kinerja alat Si atawa CaAs pakait.

Dina raraga hadé transformasi kaunggulan ciri bahan SiC kana kaunggulan alat SiC, urang ayeuna diajar kumaha carana ngaoptimalkeun prosés manufaktur alat jeung struktur alat atawa ngamekarkeun struktur anyar jeung prosés anyar pikeun ngaronjatkeun fungsi jeung kinerja alat SiC.


waktos pos: Aug-23-2022
Chat Online WhatsApp!