Aliran prosés semikonduktor-Ⅱ

Wilujeng sumping di halaman wéb kami kanggo inpormasi produk sareng konsultasi.

Situs web kami:https://www.vet-china.com/

Etching tina Poli jeung SiO2:
Sanggeus ieu, kaleuwihan Poli na SiO2 anu etched jauh, nyaeta, dipiceun. Dina waktos ieu, arahétsadipaké. Dina klasifikasi etching, aya klasifikasi etching arah jeung etching non-arah. Etching arah nujul kanaétsadina arah nu tangtu, bari etching non-arah nyaeta non-arah (Kuring ngahaja ceuk teuing. Pondokna, nya éta ngaleupaskeun SiO2 dina arah nu tangtu ngaliwatan asam jeung basa husus). Dina conto ieu, kami nganggo etching arah handap pikeun miceun SiO2, sarta janten kawas kieu.

Aliran prosés semikonduktor (21)

Tungtungna, piceun photoresist nu. Dina waktu ieu, métode nyoplokkeun photoresist nu sanes aktivasina ngaliwatan irradiation lampu disebutkeun di luhur, tapi ngaliwatan métode séjénna, sabab urang teu kudu nangtukeun ukuran husus dina waktu ieu, tapi pikeun miceun kabeh photoresist nu. Tungtungna, éta jadi ditémbongkeun saperti dina gambar di handap ieu.

Aliran prosés semikonduktor (7)

Ku cara kieu, kami parantos ngahontal tujuan pikeun nahan lokasi khusus Poli SiO2.

Formasi sumber sareng solokan:
Tungtungna, hayu urang nganggap kumaha sumber sareng solokan kabentuk. Sarerea masih inget yen urang ngobrol ngeunaan eta dina edisi panungtungan. Sumber na solokan anu ion-implanted jeung tipe sarua elemen. Dina waktos ayeuna, urang tiasa nganggo photoresist pikeun muka sumber / daérah solokan dimana jinis N kedah ditanam. Kusabab urang ngan nyandak NMOS sabagé conto, sadaya bagian dina gambar di luhur bakal dibuka, ditémbongkeun saperti dina gambar di handap ieu.

Aliran prosés semikonduktor (8)

Kusabab bagian katutupan ku photoresist teu bisa implanted (cahaya diblokir), elemen N-tipe ngan bakal implanted dina NMOS diperlukeun. Kusabab substrat handapeun poli diblokir ku poli sareng SiO2, éta moal implanted, janten janten sapertos kieu.

Aliran prosés semikonduktor (13)

Dina titik ieu, model MOS basajan geus dijieun. Dina tiori, lamun tegangan ditambahkeun kana sumber, solokan, poli na substrat, MOS ieu tiasa dianggo, Tapi urang teu bisa ngan nyandak usik jeung nambahkeun tegangan langsung ka sumber na solokan. Dina waktos ieu, wiring MOS diperlukeun, nyaeta, dina MOS ieu, sambungkeun kawat pikeun nyambungkeun loba MOS babarengan. Hayu urang nempo prosés wiring.

Nyieun VIA:
Hambalan munggaran nyaéta nutupan sakabéh MOS ku lapisan SiO2, ditémbongkeun saperti dina gambar di handap ieu:

Aliran prosés semikonduktor (9)

Tangtosna, SiO2 ieu diproduksi ku CVD, sabab gancang pisan sareng ngahémat waktos. Di handap ieu masih prosés peletakan photoresist na exposing. Saatos tungtungna, sigana kieu.

Aliran prosés semikonduktor (23)

Teras nganggo metode etching pikeun ngetsa liang dina SiO2, sapertos anu dipidangkeun dina bagian kulawu dina gambar di handap ieu. Jero liang ieu langsung ngahubungan beungeut Si.

Aliran prosés semikonduktor (10)

Tungtungna, cabut photoresist tur meunangkeun penampilan handap.

Aliran prosés semikonduktor (12)

Dina waktos ieu, anu kedah dilakukeun nyaéta ngeusian konduktor dina liang ieu. Sedengkeun pikeun naon konduktor ieu? Unggal parusahaan mah béda, kalobaannana mangrupakeun alloy tungsten, jadi kumaha liang ieu bisa dieusian? Metodeu PVD (Physical Vapor Deposition) dianggo, sareng prinsipna sami sareng gambar di handap ieu.

Aliran prosés semikonduktor (14)

Paké éléktron atawa ion-énergi tinggi mun bombard bahan target, sarta bahan target rusak bakal tumiba ka handap dina bentuk atom, sahingga ngabentuk lapisan handap. Bahan udagan anu biasa urang tingali dina warta nujul kana bahan udagan di dieu.
Saatos ngeusian liang, sigana kieu.

Aliran prosés semikonduktor (15)

Tangtosna, nalika urang ngeusian éta, mustahil pikeun ngontrol ketebalan palapis janten persis sami sareng jero liang, ku kituna bakal aya kaleuwihan, ku kituna kami nganggo téknologi CMP (Chemical Mechanical Polishing), anu disada pisan. high-end, tapi sabenerna grinding, grinding jauh kaleuwihan bagian. Hasilna sapertos kieu.

Aliran prosés semikonduktor (19)

Dina titik ieu, kami geus réngsé produksi lapisan via. Tangtu, produksi via utamana pikeun wiring tina lapisan logam balik.

Produksi lapisan logam:
Dina kaayaan di luhur, kami nganggo PVD ka dep lapisan sejen tina logam. logam ieu utamana alloy basis tambaga.

Aliran prosés semikonduktor (25)

Lajeng sanggeus paparan jeung etching, urang meunang naon urang hayang. Teras teraskeun tumpukan dugi ka urang nyumponan kabutuhan urang.

Aliran prosés semikonduktor (16)

Lamun urang ngagambar perenah nu, kami bakal ngabejaan ka maneh sabaraha lapisan logam jeung via prosés dipaké bisa tumpuk di paling, nu hartina sabaraha lapisan eta bisa tumpuk.
Tungtungna, urang meunang struktur ieu. Pad luhur nyaéta pin tina chip ieu, sarta sanggeus bungkusan, eta janten pin urang tiasa ningali (tangtu, Kuring Drew eta acak, euweuh significance praktis, ngan misalna).

Aliran prosés semikonduktor (6)

Ieu prosés umum nyieun chip. Dina masalah ieu, urang diajar ngeunaan paparan pangpentingna, etching, implantation ion, tabung tungku, CVD, PVD, CMP, jsb dina foundry semikonduktor.


waktos pos: Aug-23-2024
Chat Online WhatsApp!