Salila prosés epitaxy fase uap (VPE), peran alas nyaéta pikeun ngadukung substrat sareng mastikeun pemanasan seragam salami prosés kamekaran. Béda jinis pedestal cocog pikeun kaayaan kamekaran sareng sistem bahan anu béda. Ieu sababaraha jinis alas anu biasa dianggo dina fase uapépitaksi:
Tangkal tong
Pedestal tong biasana dianggo dina sistem epitaksi fase uap horizontal atanapi miring. Éta bisa nahan substrat sarta ngidinan gas ngalir ngaliwatan substrat, nu mantuan pikeun ngahontal pertumbuhan epitaxial seragam.
Alas cakram (tincak nangtung)
Pedestals ngawangun piringan cocog pikeun sistem epitaxy fase uap nangtung, dimana substrat disimpen sacara vertikal. Desain ieu mantuan ngurangan wewengkon kontak antara substrat jeung susceptor, kukituna ngurangan leungitna panas sarta kontaminasi poténsial.
Susceptor horizontal
Susceptor horisontal kurang umum dina epitaksi fase uap, tapi tiasa dianggo dina sababaraha sistem pertumbuhan khusus pikeun ngamungkinkeun pertumbuhan epitaxial dina arah horizontal.
Susceptor réaksi epitaxial monolitik
Susceptor réaksi epitaxial monolithic dirancang pikeun substrat tunggal, nu bisa nyadiakeun kadali hawa leuwih tepat jeung isolasi termal hadé, cocog pikeun tumuwuhna lapisan epitaxial kualitas luhur.
Wilujeng sumping di halaman wéb kami kanggo inpormasi produk sareng konsultasi.
Situs web kami: https://www.vet-china.com/
waktos pos: Jul-30-2024