Sasaran sputteringutamana dipaké dina éléktronika jeung industri informasi, kayaning sirkuit terpadu, neundeun informasi, mintonkeun kristal cair, kenangan laser, alat kontrol éléktronik, jsb Éta ogé bisa dipaké dina widang palapis kaca, kitu ogé dina maké-tahan. bahan, résistansi korosi suhu luhur, produk hiasan tinggi-tungtung sareng industri sanésna.
Sputtering mangrupikeun salah sahiji téknik utama pikeun nyiapkeun bahan pilem ipis.Ngagunakeun ion dihasilkeun ku sumber ion pikeun ngagancangkeun jeung agrégat dina vakum pikeun ngabentuk-speed tinggi ion balok énergi, bombard beungeut padet, sarta tukeur énergi kinétik antara ion jeung atom permukaan padet. Atom dina permukaan padet ninggalkeun padet tur disimpen dina beungeut substrat. Padet anu dibom nyaéta bahan baku pikeun neundeun film ipis ku cara sputtering, anu disebut target sputtering. Rupa-rupa bahan pilem ipis sputtered geus loba dipaké dina sirkuit terpadu semikonduktor, média rekaman, mintonkeun datar-panel sarta coatings permukaan workpiece.
Diantara sakabeh industri aplikasi, industri semikonduktor boga syarat kualitas paling stringent pikeun target sputtering films.High-purity logam sputtering target utamana dipaké dina manufaktur wafer jeung prosés bungkusan canggih. Nyandak manufaktur chip sabagé conto, urang tiasa ningali yén tina wafer silikon kana chip, perlu ngaliwatan 7 prosés produksi utama, nyaéta difusi (Prosés Thermal), Photo-lithography (Photo-lithography), Etch (Etch), Implantation Ion (IonImplant), Tumuwuh Film Ipis (Deposisi Diéléktrik), Polishing Mechanical Kimia (CMP), Metalization (Metalization) Prosésna pakait hiji-hiji. Target sputtering dipaké dina prosés "metallization". Target ieu bombarded kalawan partikel-énergi tinggi ku parabot déposisi pilem ipis lajeng lapisan logam jeung fungsi husus kabentuk dina wafer silikon, kayaning lapisan conductive, lapisan panghalang. Wait.Kusabab prosés sakabéh semikonduktor variatif lajeng sababaraha kaayaan occasional diperlukeun pikeun verifying sistem eksis bener jadi urang nungtut sababaraha jenis bahan dummy dina tahapan produksi tangtu pikeun mastikeun épék.
waktos pos: Jan-17-2022