CVD Silicon Carbide Coated grafit Ring

Katerangan pondok:

VET Energy silikon carbide coated ring grafit mangrupakeun produk-kinerja tinggi dirancang nyadiakeun kinerja konsisten tur dipercaya dina hiji periode nambahan. Cai mibanda résistansi panas super alus tur uniformity termal, purity tinggi, résistansi erosi, sahingga solusi sampurna pikeun aplikasi processing wafer.

Kirim surélék ka kami Unduh salaku PDF

Rincian produk

Tag produk

Sipat has tina bahan dasar grafit:

Kapadetan semu:	1,85 g/cm3
Résistansi listrik:	11 μΩm
Kakuatan lentur:	49 MPa (500kgf/cm2)
Teu karasa Shore:	58
lebu:	<5ppm
Konduktivitas termal:	116 W/mK (100 kcal/mhr- ℃)

Kami nyayogikeun rupa-rupa susceptor sareng komponén grafit pikeun sadaya réaktor epitaksi ayeuna. Produk kami kalebet susceptor tong pikeun unit LPE, susceptors pancake pikeun unit LPE, CSD, sareng Gemini, sareng susceptor wafer tunggal pikeun unit terapan sareng ASM.

Ku ngagabungkeun partnerships kuat jeung OEMs ngarah, kaahlian bahan jeung manufaktur pangaweruh-kumaha, vet nawarkeun desain optimal pikeun aplikasi Anjeun.

VET Energy nyaéta étaprodusén nyata produk grafit jeung silikon carbide ngaropéa kalawan palapis CVD,bisa nyadiakeunrupa-rupabagian ngaropéa pikeun semikonduktor jeung industri photovoltaic. Otim téknis ur asalna ti lembaga panalungtikan domestik luhur, bisa nyadiakeun solusi bahan leuwih profésionalkanggo Anjeun.

Features produk kami:

1. Résistansi oksidasi suhu luhur nepi ka 1700℃.
2. purity tinggi nauniformity termal
3. Alus lalawanan korosi: asam, alkali, uyah jeung réagen organik.
4. karasa High, beungeut kompak, partikel rupa.
5. hirup layanan leuwih panjang sarta leuwih awét

CVD SiC薄膜基本物理性能 Sipat fisik dasar CVD SiCpalapis
性质 / Harta	典型数值 / Niley has
晶体结构 / Struktur Kristal	Fase β FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Kapadetan	3,21 g/cm³
硬度 / Teu karasa	2500 维氏硬度（500g beban）
晶粒大小 / Ukuran Gandum	2~10μm
纯度 / Kamurnian Kimia	99.99995%
热容 / Kapasitas panas	640 J·kg^-1· K^-1
升华温度 / Suhu sublimation	2700 ℃
抗弯强度 / Kakuatan Flexural	415 MPa RT 4-titik
杨氏模量 / Modulus ngora	430 Gpa 4pt ngalipet, 1300 ℃
导热系数 / TérmalKonduktivitas	300W·m^-1· K^-1
热膨胀系数 / Ékspansi Termal (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1