Sebōpi se le seng sa kristale ke sesebelisoa se sebelisang aheater ea graphiteho qhibilihisa lisebelisoa tsa silicon tsa polycrystalline sebakeng sa inert (argon) le ho sebelisa mokhoa oa Czochralski ho hōlisa likristale tse le 'ngoe tse sa tsitsang. Haholo-holo e entsoe ka litsamaiso tse latelang:
Sistimi ea phetisetso ea mochini
Sistimi ea phetisetso ea mochini ke sistimi ea mantlha ea ts'ebetso ea sebōpi se le seng sa kristale, se ikarabellang haholo ho laola motsamao oa likristale lelithupa, ho kenyeletsa ho phahamisa le ho potoloha ha likristale tsa peo le ho phahamisa le ho potoloha halithupa. E ka fetola ka nepo li-parameter tse kang boemo, lebelo le lebelo la ho potoloha ha likristale le li-crucibles ho netefatsa tsoelo-pele e ntle ea ts'ebetso ea kholo ea kristale. Ka mohlala, ka mekhahlelo e fapaneng ea ho hōla ha kristale e kang ho jala, molala, mahetla, kgolo e lekanang ea bophara le mohatla, ho tsamaea ha likristale tsa peo le li-crucibles ho hloka ho laoloa ka nepo ke tsamaiso ena ho finyella litlhoko tsa ts'ebetso ea ho hōla ha kristale.
Mokhoa oa ho laola mocheso oa mocheso
Ena ke e 'ngoe ea litsamaiso tsa mantlha tsa sebōpi se le seng sa kristale, se sebelisetsoang ho hlahisa mocheso le ho laola ka nepo mocheso ka sebōping. Haholo-holo e entsoe ka likarolo tse kang li-heaters, li-sensor tsa mocheso, le lisebelisoa tsa ho laola mocheso. Hangata heater e entsoe ka lisebelisoa tse kang graphite e hloekileng haholo. Ka mor'a hore motlakase o fetoloe le ho fokotsoa ho eketsa hona joale, mocheso o hlahisa mocheso ho qhibilihisa lisebelisoa tsa polycrystalline tse kang polysilicon ka crucible. Sensor ea mocheso e shebella liphetoho tsa mocheso ka sebōping ka nako ea sebele 'me e fetisetsa letšoao la mocheso ho molaoli oa mocheso. Molaoli oa mocheso o laola ka nepo matla a ho futhumatsa ho latela litekanyetso tsa mocheso o behiloeng le pontšo ea mocheso oa maikutlo, ka tsela eo ho boloka botsitso ba mocheso ka sebōping le ho fana ka tikoloho e loketseng ea mocheso bakeng sa khōlo ea kristale.
Sistimi ea vacuum
Mosebetsi o ka sehloohong oa sisteme ea vacuum ke ho theha le ho boloka tikoloho ea vacuum ka sebōping nakong ea ts'ebetso ea kholo ea kristale. Moea le likhase tse sa hloekang ka sebōping li ntšoa ka lipompo tsa vacuum le lisebelisoa tse ling ho etsa hore khatello ea khase ka sebōping e fihle boemong bo tlaase haholo, hangata e ka tlaase ho 5TOR (torr). Sena se ka thibela thepa ea silicon hore e se ke ea e-ba oxidized ka mocheso o phahameng le ho netefatsa bohloeki le boleng ba khōlo ea kristale. Ka nako e ts'oanang, tikoloho ea vacuum e boetse e thusa ho tlosa litšila tse sa tsitsang tse hlahisoang nakong ea ts'ebetso ea ho hōla ha kristale le ho ntlafatsa boleng ba kristale.
Sistimi ea Argon
Sisteme ea argon e phetha karolo ea ho sireletsa le ho laola khatello ea sebōpi sebōping se le seng sa kristale. Ka mor'a ho hloekisa, khase ea argon e hloekileng haholo (bohloeki bo tlameha ho ba ka holimo ho 6 9) e tlatsoa ka sebōping. Ka lehlakoreng le leng, e ka thibela moea o ka ntle ho kena ka sebōping le ho thibela thepa ea silicon hore e se ke ea e-ba oxidized; ka lehlakoreng le leng, ho tlatsoa ha khase ea argon ho ka boloka khatello setaleng sa sebōpi le ho fana ka sebaka se loketseng sa khatello bakeng sa kholo ea kristale. Ho phaella moo, phallo ea khase ea argon e ka boela ea tlosa mocheso o hlahisoang nakong ea ho hōla ha kristale, ho bapala karolo e itseng ea ho pholile.
Sistimi ea ho futhumatsa metsi
Mosebetsi oa tsamaiso ea ho futhumatsa metsi ke ho pholile likarolo tse sa tšoaneng tsa mocheso o phahameng oa sebōpi se le seng sa kristale ho etsa bonnete ba hore ts'ebetso e tloaelehileng le bophelo ba tšebeletso ea thepa. Nakong ea ts'ebetso ea sebōpi se le seng sa kristale, heater,crucible, electrode le likarolo tse ling li tla hlahisa mocheso o mongata. Haeba li sa pholile ka nako, lisebelisoa li tla chesa haholo, li senyehe kapa li senyehe. Mokhoa oa ho pholisa metsi o tlosa mocheso oa likarolo tsena ka ho potoloha metsi a pholileng ho boloka mocheso oa thepa ka har'a sebaka se sireletsehileng. Ka nako e ts'oanang, mokhoa oa ho pholisa metsi o ka boela oa thusa ho lokisa mocheso ka sebōping ho ntlafatsa ho nepahala ha taolo ea mocheso.
Sistimi ea taolo ea motlakase
Mokhoa oa ho laola motlakase ke "boko" ba sebōpi se le seng sa kristale, se ikarabellang bakeng sa ho shebella le ho laola ts'ebetso ea thepa eohle. E ka amohela lipontšo ho tsoa ho li-sensor tse fapaneng, joalo ka li-sensor tsa mocheso, li-sensor tsa khatello, li-sensor tsa boemo, joalo-joalo, 'me li hokahanya le ho laola sistimi ea phetisetso ea mochini, sistimi ea ho futhumatsa mocheso, sistimi ea vacuum, sistimi ea argon le sistimi ea ho futhumatsa metsi ho latela matšoao ana. Ka mohlala, nakong ea ts'ebetso ea ho hōla ha kristale, mokhoa oa ho laola motlakase o ka fetola matla a ho futhumatsa ka mokhoa o itekanetseng ho ea ka pontšo ea mocheso e feptjoang ke sensor ea mocheso; ho ea ka khōlo ea kristale, e ka laola lebelo la motsamao le lebelo la ho potoloha ha kristale ea peo le crucible. Ka nako e ts'oanang, mokhoa oa ho laola motlakase o boetse o na le ts'oaetso ea phoso le mesebetsi ea alamo, e ka bonang maemo a sa tloaelehang a thepa ka nako le ho netefatsa ts'ebetso e sireletsehileng ea lisebelisoa.
Nako ea poso: Sep-23-2024