E le mofuta o mocha oa thepa ea semiconductor, SiC e fetohile thepa ea bohlokoa ka ho fetisisa ea semiconductor bakeng sa ho etsa lisebelisoa tsa optoelectronic tse khutšoanyane tsa maqhubu, lisebelisoa tse phahameng tsa mocheso, lisebelisoa tse hanyetsanang le mahlaseli a kotsi le lisebelisoa tsa elektronike tse matla / tse phahameng ka lebaka la thepa ea eona e babatsehang ea 'mele le lik'hemik'hale. thepa ea motlakase. Haholo-holo ha e sebelisoa tlas'a maemo a feteletseng le a thata, litšobotsi tsa lisebelisoa tsa SiC li feta hōle tsa lisebelisoa tsa Si le lisebelisoa tsa GaAs. Ka hona, lisebelisoa tsa SiC le mefuta e fapaneng ea li-sensor butle-butle li fetohile e 'ngoe ea lisebelisoa tsa bohlokoa, li bapala karolo ea bohlokoa le ho feta.
Lisebelisoa le li-circuits tsa SiC li tsoetse pele ka potlako ho tloha lilemong tsa bo-1980, haholo-holo ho tloha ka 1989 ha setsi sa pele sa SiC substrate se kena 'marakeng. Likarolong tse ling, tse kang li-diode tse khantšang, tse nang le matla a phahameng a matla le lisebelisoa tse phahameng tsa motlakase, lisebelisoa tsa SiC li 'nile tsa sebelisoa haholo khoebong. Tsoelopele e potlakile. Kamora lilemo tse ka bang 10 tsa nts'etsopele, ts'ebetso ea sesebelisoa sa SiC e khonne ho etsa lisebelisoa tsa khoebo. Lik'hamphani tse 'maloa tse emetsoeng ke Cree li se li qalile ho fana ka lihlahisoa tsa khoebo tsa lisebelisoa tsa SiC. Litsi tsa lipatlisiso tsa lehae le liunivesithi le tsona li fihletse katleho e khahlisang kholong ea thepa ea SiC le theknoloji ea tlhahiso ea lisebelisoa. Le hoja thepa ea SiC e na le thepa e phahameng haholo ea 'mele le ea lik'hemik'hale,' me theknoloji ea lisebelisoa tsa SiC e boetse e hōlile, empa ts'ebetso ea lisebelisoa tsa SiC le lipotoloho ha li phahametse. Ho phaella tabeng ea lisebelisoa tsa SiC le lisebelisoa tsa lisebelisoa li hloka ho ntlafatsoa kamehla. Boiteko bo eketsehileng bo lokela ho etsoa mabapi le mokhoa oa ho nka monyetla oa lisebelisoa tsa SiC ka ho ntlafatsa sebopeho sa sesebelisoa sa S5C kapa ho sisinya sebopeho se secha sa sesebelisoa.
Hajoale. Patlisiso ea lisebelisoa tsa SiC e shebana haholo le lisebelisoa tse ikhethang. Bakeng sa mofuta o mong le o mong oa sebopeho sa sesebelisoa, lipatlisiso tsa pele ke ho fetisetsa feela sebopeho sa sesebelisoa sa Si kapa sa GaAs ho SiC ntle le ho ntlafatsa sebopeho sa sesebelisoa. Kaha karolo ea intrinsic oxide ea SiC e tšoana le Si, e leng SiO2, ho bolela hore lisebelisoa tse ngata tsa Si, haholo-holo lisebelisoa tsa m-pa, li ka etsoa ka SiC. Le hoja e le transplant e bonolo feela, lisebelisoa tse ling tse fumanoeng li fihletse liphello tse khotsofatsang, 'me tse ling tsa lisebelisoa li se li kene' marakeng oa fektheri.
Lisebelisoa tsa SiC optoelectronic, haholo-holo li-diode tse hlahisang leseli le leputsoa (BLU-ray leds), li kene 'marakeng mathoasong a lilemo tsa bo-1990 mme ke lisebelisoa tsa pele tsa SiC tse hlahisoang ka bongata. Li-diode tsa SiC Schottky tsa motlakase tse phahameng, li-transistors tsa matla tsa SiC RF, SiC MOSFET le mesFET le tsona lia fumaneha khoebong. Ehlile, ts'ebetso ea lihlahisoa tsena tsohle tsa SiC e hole le ho bapala litšobotsi tse phahameng tsa lisebelisoa tsa SiC, 'me ts'ebetso e matla le ts'ebetso ea lisebelisoa tsa SiC e ntse e hloka ho batlisisoa le ho ntlafatsoa. Hangata li-transplants tse bonolo joalo ha li khone ho sebelisa melemo ea thepa ea SiC ka botlalo. Esita le sebakeng sa melemo e meng ea lisebelisoa tsa SiC. Lisebelisoa tse ling tsa SiC tse qapiloeng li ke ke tsa lumellana le ts'ebetso ea lisebelisoa tse tsamaellanang tsa Si kapa CaAs.
E le ho ntlafatsa melemo ea litšobotsi tsa thepa ea SiC molemong oa lisebelisoa tsa SiC, hona joale re ithuta mokhoa oa ho ntlafatsa ts'ebetso ea tlhahiso ea lisebelisoa le sebopeho sa lisebelisoa kapa ho hlahisa mekhoa e mecha le mekhoa e mecha ea ho ntlafatsa ts'ebetso le ts'ebetso ea lisebelisoa tsa SiC.
Nako ea poso: Aug-23-2022