Thermal Oxidation ea Silicon e le 'ngoe ea Crystal

Ho thehoa ha silicon dioxide holim'a silicon ho bitsoa oxidation, 'me ho thehoa ha silicon dioxide e tsitsitseng le e matla ho ile ha etsa hore ho tsoaloe theknoloji ea silicon e kopantsoeng ea potoloho ea potoloho. Le hoja ho na le mekhoa e mengata ea ho hōlisa silicon dioxide ka ho toba holim'a silicon, hangata e etsoa ka mocheso oa mocheso, e leng ho pepesa silicon sebakeng se phahameng sa mocheso oxidizing (oksijene, metsi). Mekhoa ea ho futhumatsa e ka laolang botenya ba filimi le sebopeho sa sebopeho sa silicon / silicon dioxide nakong ea ho lokisoa ha lifilimi tsa silicon dioxide. Mekhoa e meng ea ho holisa silicon dioxide ke plasma anodization le anodization ea metsi, empa ha ho le ea mong oa mekhoa ena e sebelisitsoeng haholo lits'ebetsong tsa VLSI.

Silicon e bontša tšekamelo ea ho theha silicon dioxide e tsitsitseng. Haeba silicon e sa tsoa petsoha e pepesehetse tikolohong ea oxidizing (joalo ka oksijene, metsi), e tla theha lesela le tšesaane haholo la oxide (<20Å) esita le mocheso oa kamore. Ha silicon e pepesehetse tikolohong ea oxidizing ka mocheso o phahameng, ho tla hlahisoa lera le leholo la oxide ka lebelo le potlakileng. Mokhoa oa motheo oa sebopeho sa silicon dioxide ho tloha silicon o utloisisoa hantle. Deal le Grove ba thehile mohlala oa lipalo o hlalosang ka nepo matla a kholo a lifilimi tsa oxide tse tenya ho feta 300Å. Ba ile ba etsa tlhahiso ea hore oxidation e etsoe ka tsela e latelang, ke hore, oxidant (limolek'hule tsa metsi le limolek'hule tsa oksijene) li arola ka lera le teng la oxide ho sebopeho sa Si / SiO2, moo oxidant e sebetsanang le silicon ho etsa silicon dioxide. Karabelo e kholo ea ho theha silicon dioxide e hlalosoa ka tsela e latelang:

Karabelo ea oxidation e etsahala ho Si/SiO2 segokanyimmediamentsi sa sebolokigolo, kahoo ha oxide layer e ntse e hola, silicon e ntse e jeoa ka mokhoa o tsoelang pele 'me sebopeho se kena butle-butle silicon. Ho ea ka boima bo lekanang le boima ba limolek'hule tsa silicon le silicon dioxide, ho ka fumanoa hore silicon e sebelisoang bakeng sa botenya ba lesela la ho qetela la oxide ke 44%. Ka tsela ena, haeba lesela la oxide le hola 10,000Å, 4400Å ea silicon e tla jeoa. Kamano ena ke ea bohlokoa bakeng sa ho bala bophahamo ba mehato e thehiloeng holim'asephaphatha sa silicon. Mehato ke litholoana tsa likhahla tse fapaneng tsa oxidation libakeng tse fapaneng holim'a silicon wafer surface.

Re boetse re fana ka lihlahisoa tse phahameng tsa graphite le silicon carbide, tse sebelisoang haholo ha ho etsoa li-wafer joalo ka oxidation, diffusion le annealing.

Amohela bareki leha e le bafe ba tsoang lefats'eng lohle ho re etela bakeng sa puisano e eketsehileng!

https://www.vet-china.com/