Lintho tse ling tsa organic le inorganic li hlokahala ho kenya letsoho tlhahisong ea semiconductor. Ho phaella moo, kaha ts'ebetso e lula e etsoa ka kamoreng e hloekileng e nang le karolo ea motho, semiconductorliphaphathali silafatsoa ke litšila tse sa tšoaneng.
Ho ea ka mohloli le tlhaho ea litšila, li ka aroloa ka mekhahlelo e mene: likaroloana, lintho tse phelang, li-ion tsa tšepe le li-oxide.
1. Likaroloana:
Likarolo ke li-polymers tse ling, li-photoresists le litšila tse etching.
Hangata litšila tse joalo li itšetlehile ka matla a intermolecular ho adsorb holim'a sephaphatha, tse amang sebopeho sa lipalo tsa geometri le likarolo tsa motlakase tsa mokhoa oa photolithography oa sesebelisoa.
Litšilafalo tse joalo li tlosoa haholo-holo ka ho fokotsa butle-butle sebaka sa bona sa ho kopana le bokaholimo basephaphathaka mekhoa ea 'mele kapa ea lik'hemik'hale.
2. Organic matter:
Mehloli ea litšila tsa lintho tse phelang e batla e pharaletse, joalo ka oli ea letlalo la motho, libaktheria, oli ea mochini, grease ea vacuum, photoresist, solvents, joalo-joalo.
Hangata litšila tse joalo li etsa filimi ea tlhaho holim'a sephaphatha ho thibela mokelikeli o hloekisang hore o se ke oa fihla holim'a sephaphatha, e leng se etsang hore ho be le ho hloekisoa ho sa phethoeng ha bokaholimo.
Ho tlosoa ha litšila tse joalo hangata ho etsoa mohato oa pele oa mokhoa oa ho hloekisa, haholo-holo ho sebelisa mekhoa ea lik'hemik'hale tse kang sulfuric acid le hydrogen peroxide.
3. Li-ion tsa tšepe:
Litšila tse tloaelehileng tsa tšepe li kenyelletsa tšepe, koporo, aluminium, chromium, tšepe e entsoeng ka tšepe, titanium, sodium, potasiamo, lithium, joalo-joalo Mehloli e ka sehloohong ke lisebelisoa tse sa tšoaneng, liphaephe, li-reagents tsa lik'hemik'hale, le tšilafalo ea tšepe e hlahisoang ha li-interconnections tsa tšepe li thehoa nakong ea ts'ebetso.
Mofuta ona oa litšila o atisa ho tlosoa ke mekhoa ea lik'hemik'hale ka ho thehoa ha li-ion complexes tsa tšepe.
4. Oksijene:
Ha semiconductorliphaphathali pepesehetse tikolohong e nang le oksijene le metsi, lera la tlhaho la oxide le tla theha holim'a metsi. Filimi ena ea oxide e tla sitisa mekhoa e mengata ea tlhahiso ea semiconductor hape e na le litšila tse itseng tsa tšepe. Tlas'a maemo a itseng, ba tla theha mefokolo ea motlakase.
Ho tlosoa ha filimi ena ea oxide hangata ho phethoa ka ho inela ka har'a dilute hydrofluoric acid.
Kakaretso ea ho hloekisa tatelano
Litšila tse adsorbed holim'a semiconductorliphaphathae ka aroloa ka mefuta e meraro: molek'hule, ionic le athomo.
Har'a tsona, matla a adsorption pakeng tsa litšila tsa limolek'hule le bokaholimo ba sephaphatha ha a na matla, 'me mofuta ona oa likaroloana tse sa hloekang o bonolo ho o tlosa. Hangata ke litšila tse nang le mafura a nang le litšobotsi tsa hydrophobic, tse ka fanang ka masking bakeng sa litšila tsa ionic le athomo tse silafatsang holim'a li-wafers tsa semiconductor, tse sa thuseng ho tlosoa ha mefuta ena e 'meli ea litšila. Ka hona, ha ho hloekisa liphaphatha tsa semiconductor ka lik'hemik'hale, litšila tsa limolek'hule li lokela ho tlosoa pele.
Ka hona, mokhoa o akaretsang oa semiconductorsephaphathamokhoa oa ho hloekisa ke:
De-molecularization-deionization-de-atomization-deionized water rinsing.
Ho feta moo, bakeng sa ho tlosa lera la oxide ea tlhaho holim'a sephaphatha, mohato oa ho koloba oa amino acid o hloka ho eketsoa. Ka hona, khopolo ea ho hloekisa ke ho qala ho tlosa tšilafalo ea lintho tse phelang holim'a metsi; ebe o qhala lera la oxide; qetellong tlosa likaroloana le tšilafalo ea tšepe, 'me u fete holim'a metsi ka nako e le' ngoe.
Mekhoa e tloaelehileng ea ho hloekisa
Mekhoa ea lik'hemik'hale e atisa ho sebelisoa ho hloekisa liphaphatha tsa semiconductor.
Ho hloekisa ka lik'hemik'hale ho bolela ts'ebetso ea ho sebelisa li-reagents tse fapaneng tsa lik'hemik'hale le metsoako ea tlhaho ho arabela kapa ho qhala litšila le matheba a oli holim'a sephaphatha ho senya litšila, ebe o hlatsoa ka metsi a mangata a chesang le a batang a hloekisitsoeng. sebaka se hloekileng.
Ho hloekisa lik'hemik'hale ho ka aroloa ka ho hloekisa lik'hemik'hale tse metsi le ho hloekisa lik'hemik'hale tse omeletseng, tseo har'a tsona ho hloekisa lik'hemik'hale tse metsi ho ntseng ho le teng.
Ho hloekisa lik'hemik'hale tse metsi
1. Ho hloekisa lik'hemik'hale tse metsi:
Ho hloekisoa ha lik'hemik'hale tse metsi haholo-holo ho kenyelletsa ho qoelisoa ka tharollo, ho hlatsuoa ka mochini, ho hloekisa ka ultrasonic, ho hloekisa ka megasonic, ho fafatsa ka rotary, joalo-joalo.
2. Ho qoelisoa ka tharollo:
Ho qoelisoa ka tharollo ke mokhoa oa ho tlosa tšilafalo ea bokaholimo ka ho qoelisa sephaphatha ka har'a motsoako oa lik'hemik'hale. Ke mokhoa o sebelisoang haholo ho hloekisa lik'hemik'hale tse metsi. Litharollo tse fapaneng li ka sebelisoa ho tlosa mefuta e fapaneng ea litšila holim'a sephaphatha.
Hangata, mokhoa ona ha o khone ho tlosa litšila ka ho feletseng holim'a sephaphatha, kahoo mehato ea 'mele e kang ho futhumatsa, ultrasound le ho sisinyeha hangata li sebelisoa ha u ntse u qoelisoa.
3. Ho hlatsoa ka mechine:
Mechanical scrubbing hangata e sebelisoa ho tlosa likaroloana kapa masalla a organic holim'a sephaphatha. Ka kakaretso e ka aroloa ka mekhoa e 'meli:ho hohla le ho hohla ka letsoho ka sehlakola.
Ho hohla ka letsohoke mokhoa o bonolo ka ho fetisisa oa ho hohla. Borashe ba tšepe e sa hloekang bo sebelisoa ho tšoara bolo e kolobisitsoeng ka har'a ethanol e anhydrous kapa lihlapolli tse ling 'me ka bonolo u hohla bokaholimo ba sephaphatha ka nqa e le 'ngoe ho tlosa filimi ea boka, lerōle, sekhomaretsi se setseng kapa likaroloana tse ling tse tiileng. Mokhoa ona o bonolo ho baka mengoapo le tšilafalo e tebileng.
Wiper e sebelisa ho potoloha ha mochini ho hohla bokaholimo ba sephaphatha ka borashe ba boea bo bonolo kapa borashe bo tsoakiloeng. Mokhoa ona o fokotsa haholo mengoallo holim'a sephaphatha. Wiper e nang le khatello e phahameng e ke ke ea ngopa sephaphatha ka lebaka la khaello ea likhohlano tsa mochini, 'me e ka tlosa tšilafalo ka har'a groove.
4. Ho hloekisa ka mokhoa oa Ultrasonic:
Ho hloekisa ka ultrasonic ke mokhoa oa ho hloekisa o sebelisoang haholo indastering ea semiconductor. Melemo ea eona ke phello e ntle ea ho hloekisa, ts'ebetso e bonolo, hape e ka hloekisa lisebelisoa le lijana tse rarahaneng.
Mokhoa ona oa ho hloekisa o tlas'a ts'ebetso ea maqhubu a matla a ultrasonic (maqhubu a tloaelehileng a sebelisoang ke 20s40kHz), 'me likarolo tse fokolang le tse teteaneng li tla hlahisoa ka har'a mokelikeli oa metsi. Karolo e nyenyane e tla hlahisa bubble e batlang e le ea vacuum cavity. Ha bubble ea cavity e nyamela, khatello e matla ea sebakeng seo e tla hlahisoa haufi le eona, ho senya likamano tsa lik'hemik'hale ka limolek'hule ho qhala litšila holim'a sekoti. Ho hloekisa ka mokhoa oa Ultrasonic ho sebetsa ka ho fetisisa bakeng sa ho tlosa masala a sa tsitsang kapa a sa tsitsang.
5. Ho hloekisa Megasonic:
Ho hloekisa Megasonic ha ho na melemo feela ea ho hloekisa ultrasonic, empa hape ho hlōla mefokolo ea eona.
Ho hloekisa Megasonic ke mokhoa oa ho hloekisa li-wafers ka ho kopanya matla a phahameng (850kHz) frequency vibration effect le karabelo ea lik'hemik'hale ea lisebelisoa tsa ho hloekisa lik'hemik'hale. Nakong ea ho hloekisa, limolek'hule tsa tharollo li potlakisoa ke leqhubu la megasonic (lebelo le potlakileng le ka fihla ho 30cmVs), 'me leqhubu le phahameng la metsi le tsoela pele ho ama bokaholimo ba sephaphatha, e le hore litšila le likaroloana tse ntle tse khomaretsoeng holim'a metsi. liphaphatha li tlosoa ka likhoka ebe li kenya tharollo ea ho hloekisa. Ho eketsa li-acidic surfactants ho tharollo ea ho hloekisa, ka lehlakoreng le leng, ho ka finyella morero oa ho tlosa likaroloana le lintho tse phelang holim'a holim'a polishing ka ho adsorption ea li-surfactants; ka lehlakoreng le leng, ka ho kopanngoa ha li-surfactants le tikoloho ea acidic, e ka finyella morero oa ho tlosa tšilafalo ea tšepe holim'a letlapa la ho bentša. Mokhoa ona ka nako e le 'ngoe o ka bapala karolo ea ho hlakola ka mochini le ho hloekisa lik'hemik'hale.
Hona joale, mokhoa oa ho hloekisa oa megasonic e se e le mokhoa o atlehang oa ho hloekisa lipampiri tsa polishing.
6. Mokhoa oa ho fafatsa ka rotary:
Mokhoa oa rotary spray ke mokhoa o sebelisang mekhoa ea mochini ho potoloha sephaphatha ka lebelo le phahameng, 'me o tsoela pele ho fafatsa mokelikeli (metsi a hloekisitsoeng a hloekileng haholo kapa mokelikeli o mong oa ho hloekisa) holim'a sephaphatha nakong ea ho potoloha ho tlosa litšila holim'a bokahodimo ba sephaphatha.
Mokhoa ona o sebelisa tšilafalo e holim'a sephaphatha ho qhibiliha ka har'a mokelikeli o fafalitsoeng (kapa ka lik'hemik'hale o sebetsana le oona ho qhibiliha), 'me o sebelisa phello ea centrifugal ea ho potoloha ka lebelo le phahameng ho etsa hore mokelikeli o nang le litšila o arohane le bokaholimo ba sephaphatha. ka nako.
Mokhoa oa rotary spray o na le melemo ea ho hloekisa lik'hemik'hale, ho hloekisa mechine ea mokelikeli, le ho hohla ka khatello e phahameng. Ka nako e ts'oanang, mokhoa ona o ka boela oa kopanngoa le mokhoa oa ho omisa. Ka mor'a nako ea ho hloekisa ka metsi a hloekileng, ho fafatsa metsi ho emisoa 'me ho sebelisoa khase ea spray. Ka nako e ts'oanang, lebelo la ho potoloha le ka eketsoa ho eketsa matla a centrifugal ho potlakela ho ntša metsi holim'a sephaphatha.
7.Ho hloekisa lik'hemik'hale tse ommeng
Ho hloekisa ho bolela theknoloji ea ho hloekisa e sa sebeliseng tharollo.
Theknoloji ea ho hloekisa e omileng e sebelisoang hona joale e kenyelletsa: theknoloji ea ho hloekisa plasma, theknoloji ea ho hloekisa karolo ea khase, theknoloji ea ho hloekisa marako, joalo-joalo.
Melemo ea ho hloekisa ka mokhoa o omileng ke mokhoa o bonolo ebile ha ho na tšilafalo ea tikoloho, empa litšenyehelo li phahame 'me sebaka sa tšebeliso ha se seholo bakeng sa nako.
1. Theknoloji ea ho hloekisa plasma:
Ho hloekisa plasma hangata ho sebelisoa ts'ebetsong ea ho tlosa photoresist. Oksijene e nyenyane e kenngoa tsamaisong ea plasma. Tlas'a ketso ea sebaka se matla sa motlakase, oksijene e hlahisa plasma, e potlakelang ho oxidize photoresist sebakeng sa khase e sa tsitsang ebe e ntšoa.
Theknoloji ena ea ho hloekisa e na le melemo ea ts'ebetso e bonolo, ts'ebetso e phahameng, sebaka se hloekileng, ha se na mengoapo, 'me se thusa ho netefatsa boleng ba sehlahisoa ts'ebetsong ea degumming. Ho feta moo, ha e sebelise li-acids, alkalis le li-solvents, 'me ha ho na mathata a kang ho lahla litšila le tšilafalo ea tikoloho. Ka hona, e ntse e nkoa e le ea bohlokoa haholo ke batho. Leha ho le joalo, e ke ke ea tlosa carbon le litšila tse ling tse sa tsitsang tsa tšepe kapa tšepe ea oxide.
2. Theknoloji ea ho hloekisa karolo ea khase:
Ho hloekisa mokhahlelo oa khase ho bolela mokhoa oa ho hloekisa o sebelisang karolo ea khase e lekanang le ntho e tsamaisanang le mokelikeli ho sebelisana le ntho e silafetseng e holim'a sephaphatha ho fihlela sepheo sa ho tlosa litšila.
Mohlala, ts'ebetsong ea CMOS, ho hloekisoa ha wafer ho sebelisa tšebelisano lipakeng tsa karolo ea khase ea HF le mouoane oa metsi ho tlosa li-oxide. Hangata, ts'ebetso ea HF e nang le metsi e tlameha ho tsamaea le ts'ebetso ea ho tlosa likaroloana, athe ts'ebeliso ea theknoloji ea ho hloekisa karolo ea khase ea HF ha e hloke ts'ebetso e latelang ea ho tlosa likaroloana.
Melemo ea bohlokoa ka ho fetisisa ha e bapisoa le ts'ebetso ea metsi ea HF ke tšebeliso e nyane haholo ea lik'hemik'hale tsa HF le ts'ebetso e phahameng ea ho hloekisa.
Amohela bareki leha e le bafe ba tsoang lefats'eng lohle ho re etela bakeng sa puisano e eketsehileng!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
Nako ea poso: Aug-13-2024