Rea u amohela webosaeteng ea rona bakeng sa tlhaiso-leseling ka sehlahisoa le lipuisano.
Webosaete ea rona:https://www.vet-china.com/
Ho kenngoa ha Poly le SiO2:
Kamora sena, Poly le SiO2 tse feteletseng lia tlosoa, ke hore, lia tlosoa. Ka nako ena, tataisoetchinge sebelisoa. Sehlopheng sa etching, ho na le sehlopha sa etching directional etching le non-directional etching. Directional etching e bua kaetchingka tsela e itseng, ha etching e seng ea tataiso e sa tataisoe (ka phoso ke boletse haholo. Ka bokhutšoanyane, ke ho tlosa SiO2 ka tsela e itseng ka li-acids le metheo e itseng). Mohlaleng ona, re sebelisa etching e theohelang tlase ho tlosa SiO2, 'me e ba tjena.
Qetellong, tlosa photoresist. Ka nako ena, mokhoa oa ho tlosa photoresist hase ts'ebetsong ka mahlaseli a khanyang a boletsoeng ka holimo, empa ka mekhoa e meng, hobane ha ho hlokahale hore re hlalose boholo bo itseng ka nako ena, empa ho tlosa photoresist eohle. Qetellong, e fetoha joalokaha ho bontšitsoe setšoantšong se latelang.
Ka tsela ena, re fihletse sepheo sa ho boloka sebaka se ikhethileng sa Poly SiO2.
Sebopeho sa mohloli le drainage:
Qetellong, a re hlahlobeng hore na mohloli le drain li thehoa joang. E mong le e mong o ntse a hopola hore re buile ka eona tokollong e fetileng. Mohloli le drain li kentsoe ion ka mofuta o tšoanang oa likarolo. Ka nako ena, re ka sebelisa photoresist ho bula sebaka sa mohloli / drain moo mofuta oa N o hlokang ho kenngoa. Kaha re nka NMOS e le mohlala feela, likarolo tsohle tsa setšoantšo se ka holimo li tla buloa, joalokaha ho bontšitsoe setšoantšong se latelang.
Kaha karolo e koahetsoeng ke photoresist e ke ke ea kenngoa (leseli le thibetsoe), likarolo tsa mofuta oa N li tla kenngoa feela ho NMOS e hlokahalang. Kaha substrate e tlas'a poly e koetsoe ke poly le SiO2, e ke ke ea kenngoa, kahoo e ba tjena.
Mothating ona, ho entsoe mohlala o bonolo oa MOS. Ka khopolo, haeba motlakase o eketsoa mohloling, drain, poly le substrate, MOS ena e ka sebetsa, empa re ke ke ra nka probe feela ebe re eketsa motlakase ka ho toba mohloling le ho hula. Ka nako ena, ho hlokahala likhoele tsa MOS, ke hore, ho MOS ena, hokela lithapo ho hokahanya MOS e mengata hammoho. Ha re shebeng ts'ebetso ea wiring.
Ho etsa VIA:
Mohato oa pele ke ho koahela MOS kaofela ka sekhahla sa SiO2, joalo ka ha ho bonts'itsoe setšoantšong se ka tlase:
Ha e le hantle, SiO2 ena e hlahisoa ke CVD, hobane e potlakile haholo ebile e boloka nako. E latelang e ntse e le mokhoa oa ho beha photoresist le ho pepesa. Ka mor'a ho qetela, e shebahala tjena.
Ebe u sebelisa mokhoa oa etching ho koala lesoba ho SiO2, joalo ka ha ho bonts'itsoe karolong e bohlooho setšoantšong se ka tlase. Botebo ba lesoba lena bo amana ka ho toba le holim'a Si.
Qetellong, tlosa photoresist 'me u fumane ponahalo e latelang.
Nakong ena, se lokelang ho etsoa ke ho tlatsa conductor ka mokoting ona. Ha e le hore na conductor ee ke eng? Khampani e 'ngoe le e' ngoe e fapane, boholo ba tsona ke li-alloys tsa tungsten, joale lesoba lee le ka tlatsoa joang? Mokhoa oa PVD (Physical Vapor Deposition) o sebelisoa, 'me molao-motheo o tšoana le setšoantšo se ka tlase.
Sebelisa li-elektronike kapa li-ion tse nang le matla a phahameng ho hlasela thepa e lebisitsoeng, 'me thepa e robehileng e tla oela ka tlaase ka mokhoa oa liathomo, kahoo e etsa seaparo se ka tlase. Litaba tseo re atisang ho li bona libukeng tsa litaba li bua ka litaba tseo re li shebileng mona.
Ka mor'a ho tlatsa sekoti, ho shebahala tjena.
Ha e le hantle, ha re e tlatsa, ho ke ke ha khoneha ho laola botenya ba ho roala ho lekana hantle le botebo ba sekoti, kahoo ho tla ba le ho feteletseng, kahoo re sebelisa theknoloji ea CMP (Chemical Mechanical Polishing), e utloahalang haholo. boemo bo phahameng, empa ha e le hantle e sila, e sila likarolo tse feteletseng. Sephetho se tjena.
Mothating ona, re phethile tlhahiso ea lera la via. Ha e le hantle, tlhahiso ea via ke haholo-holo bakeng sa wiring ea lera tšepe ka morao.
Tlhahiso ea lesela la tšepe:
Tlas'a maemo a ka holimo, re sebelisa PVD ho theola karolo e 'ngoe ea tšepe. Tšepe ena haholo-holo ke motsoako oa koporo.
Ebe ka mor'a ho pepeseha le ho etching, re fumana seo re se batlang. Ebe u tsoela pele ho bokella ho fihlela re fihlela litlhoko tsa rona.
Ha re taka moralo, re tla u bolella hore na ke likarolo tse kae tsa tšepe 'me ka mokhoa o sebelisitsoeng li ka kenngoa ka bongata, ho bolelang hore na li ka behoa ka likarolo tse kae.
Qetellong, re fumana sebopeho sena. Letlapa le ka holimo ke pinana ea chip ena, 'me ka mor'a ho paka, e fetoha pinana eo re ka e bonang (ehlile, ke e hutse ka mokhoa o sa reroang, ha ho na bohlokoa bo sebetsang, mohlala feela).
Ena ke mokhoa o akaretsang oa ho etsa chip. Khatisong ena, re ithutile ka ho pepeseha ha bohlokoa ka ho fetisisa, etching, ion implantation, li-tubes tsa sebōpi, CVD, PVD, CMP, joalo-joalo ka semiconductor foundry.
Nako ea poso: Aug-23-2024