Mokhoa oa ho hōla oa silicon ea monocrystalline o etsoa ka ho feletseng tšimong ea mocheso. Sebaka se setle sa mocheso se thusa ho ntlafatsa boleng ba likristale mme se na le ts'ebetso e phahameng ea kristale. Moqapi oa sebaka sa mocheso o khetholla haholo liphetoho tsa likhahla tsa mocheso sebakeng se matla sa mocheso le phallo ea khase ka kamoreng ea sebōpi. Phapang ea thepa e sebelisoang tšimong ea mocheso e khetholla ka ho toba bophelo ba tšebeletso ea tšimo ea mocheso. Sebaka sa mocheso se sa utloahaleng ha se thata feela ho hōlisa likristale tse finyellang litlhoko tsa boleng, empa hape ha li khone ho hōla monocrystalline e feletseng tlas'a litlhoko tse itseng tsa ts'ebetso. Ke ka lebaka leo indasteri ea silicon e hulang ka kotloloho ea monocrystalline e nkang moralo oa lebala la mocheso e le theknoloji ea mantlha ka ho fetesisa mme e tsetela basebetsi ba bangata le lisebelisoa tsa thepa lipatlisisong le nts'etsopele ea tšimo ea mocheso.
Thermal system e entsoe ka lisebelisoa tse fapaneng tsa tšimo ea mocheso. Re kenyelletsa ka bokhutšoanyane feela lisebelisoa tse sebelisoang tšimong ea mocheso. Ha e le kabo ea mocheso tšimong ea mocheso le phello ea eona ho hula ka kristale, re ke ke ra e hlahloba mona. Thepa ea tšimo ea mocheso e bua ka sebopeho le karolo ea ho kenya mocheso ka kamoreng ea sebōpi ea vacuum ea kholo ea kristale, e leng bohlokoa bakeng sa ho theha kabo e nepahetseng ea mocheso ho potoloha semiconductor e qhibilihisang le kristale.
1. Thermal field structure material
Lintho tsa motheo tse tšehetsang mokhoa oa ho hula ka ho toba ho holisa silicon ea monocrystalline ke graphite e hloekileng haholo. Lisebelisoa tsa graphite li phetha karolo ea bohlokoa haholo indastering ea kajeno. Li ka sebelisoa e le likarolo tsa mohaho oa tšimo ea mocheso tse kanglihitara, li-tubes tse tataisang, lithupa, li-insulation tubes, li-trays tsa crucible, joalo-joalo ha ho etsoa silicon ea monocrystalline ka mokhoa oa Czochralski.
Lisebelisoa tsa graphiteli khethiloe hobane li bonolo ho li lokisetsa ka bongata bo boholo, li ka sebetsoa ebile li hanyetsa mocheso o phahameng. Carbon ka sebopeho sa taemane kapa graphite e na le ntlha e phahameng ea ho qhibiliha ho feta element kapa motsoako ofe kapa ofe. Lisebelisoa tsa graphite li matla haholo, haholo-holo mocheso o phahameng, 'me motlakase oa tsona oa motlakase le oa mocheso le oona o ntle haholo. Ts'ebetso ea eona ea motlakase e etsa hore e tšoanelehe e le aheaterthepa. E na le coefficient e khotsofatsang ea mocheso oa mocheso, o lumellang mocheso o hlahisoang ke mocheso hore o arolelanoe ka mokhoa o ts'oanang ho crucible le likarolo tse ling tsa tšimo ea mocheso. Leha ho le joalo, ka mocheso o phahameng, haholo-holo libakeng tse telele, mokhoa o ka sehloohong oa ho fetisa mocheso ke mahlaseli.
Likarolo tsa graphite qalong li entsoe ka likaroloana tse ntle tsa carbonaceous tse kopantsoeng le binder 'me li thehoa ka ho hatisa ka extrusion kapa isostatic. Likarolo tsa boleng bo holimo tsa graphite hangata li hatelloa ka isostatically. Sekhechana sohle se qala ka carbonized ebe se etsoa graphitis ka mocheso o phahameng haholo, o haufi le 3000 ° C. Likarolo tse entsoeng ho tsoa likotong tsena kaofela hangata li hloekisoa sebakeng se nang le chlorine mochesong o phahameng ho tlosa tšilafalo ea tšepe ho fihlela litlhoko tsa indasteri ea semiconductor. Leha ho le joalo, esita le ka mor'a ho hloekisoa hantle, boemo ba tšilafalo ea tšepe ke litaelo tse 'maloa tsa boholo bo phahameng ho feta tse lumelloang bakeng sa lisebelisoa tsa silicon monocrystalline. Ka hona, tlhokomelo e tlameha ho nkoa ka moralo oa tšimo ea mocheso ho thibela tšilafalo ea likarolo tsena ho kena ka holim'a metsi a qhibilihang kapa a kristale.
Lisebelisoa tsa graphite li kenella hanyenyane, e leng se etsang hore ho be bonolo hore tšepe e setseng ka hare e fihle holimo. Ho feta moo, silicon monoxide e teng ka har'a khase ea purge e pota-potileng bokaholimo ba graphite e ka kenella ka har'a lisebelisoa tse ngata mme ea arabela.
Li-heaters tsa pele tsa monocrystalline silicon li ne li entsoe ka litšepe tse refractory tse kang tungsten le molybdenum. Ka khōlo e ntseng e eketseha ea theknoloji ea ho sebetsana le graphite, thepa ea motlakase ea khokahanyo pakeng tsa likarolo tsa graphite e se e tsitsitse, 'me li-heaters tsa monocrystalline silicon li nkile sebaka sa tungsten, molybdenum le lisebelisoa tse ling tse futhumatsang sebaka ka ho feletseng. Hona joale, lisebelisoa tsa graphite tse sebelisoang ka ho fetisisa ke isostatic graphite. theknoloji ea naha ea heso ea ho lokisa graphite ea isostatic e batla e le morao, 'me boholo ba thepa ea graphite e sebelisoang indastering ea lehae ea photovoltaic e romelloa ho tsoa mose. Baetsi ba graphite ba tsoang kantle ho naha ba kenyelletsa haholo SGL ea Jeremane, Tokai Carbon ea Japane, Toyo Tanso ea Japane, joalo-joalo Ka Czochralski monocrystalline silicon ornaces, ka linako tse ling ho sebelisoa lisebelisoa tse kopaneng tsa C/C, 'me li se li qalile ho sebelisoa ho etsa liboutu, linate, crucibles, load. lipoleiti le likarolo tse ling. Li-composite tsa carbon / carbon (C / C) ke li-composites tsa carbon fiber tse matlafalitsoeng ka carbon tse nang le letoto la thepa e babatsehang e kang matla a khethehileng a phahameng, modulus e khethehileng, coefficient e tlaase ea mocheso oa mocheso, motlakase o motle oa motlakase, boima bo phahameng ba ho robeha, matla a khoheli a tlaase. ho hanyetsa mocheso oa mocheso, ho hanyetsa ho bola, le ho hanyetsa mocheso o phahameng. Hajoale, li sebelisoa haholo sebakeng sa sefofane, mabelo, biomaterials le masimo a mang e le lisebelisoa tse ncha tse hanyetsanang le mocheso o phahameng. Hajoale, mathata a mantlha a kopaneng le likhokahano tsa lehae tsa C / C e ntse e le litaba tsa litšenyehelo le tsa indasteri.
Ho na le lisebelisoa tse ling tse ngata tse sebelisoang ho etsa masimo a mocheso. Carbon fiber e matlafalitsoeng ke graphite e na le thepa e ntle ea mochini; empa e turu ebile e na le litlhoko tse ling bakeng sa moralo.Silicon carbide (SiC)ke boitsebiso bo molemo ho feta graphite likarolong tse ngata, empa e theko e boima haholo ebile e thata ho lokisa likarolo tse nang le molumo o moholo. Leha ho le joalo, SiC hangata e sebelisoa e le aHo roala ha CVDho eketsa bophelo ba likarolo tsa graphite tse pepesehileng khase ea silicon monoxide e senyang, hape e ka fokotsa tšilafalo e tsoang ho graphite. Seaparo se teteaneng sa CVD silicon carbide se thibela ka katleho litšila tse ka hare ho thepa ea microporous graphite ho fihla holimo.
E 'ngoe ke CVD carbon, e ka boela ea etsa lera le teteaneng ka holim'a karolo ea graphite. Lisebelisoa tse ling tse hanyetsanang le mocheso o phahameng, tse kang molybdenum kapa lisebelisoa tsa ceramic tse ka phelang hammoho le tikoloho, li ka sebelisoa moo ho se nang kotsi ea ho silafatsa ho qhibiliha. Leha ho le joalo, li-ceramics tsa oxide hangata li na le moeli ha li sebetsa ho thepa ea graphite ha mocheso o le holimo, 'me ho na le likhetho tse ling tse seng kae haeba ho hlokahala. E 'ngoe ke hexagonal boron nitride (eo ka linako tse ling e bitsoang white graphite ka lebaka la thepa e tšoanang), empa thepa ea mochine e fokola. Hangata molybdenum e sebelisoa ka mokhoa o utloahalang bakeng sa maemo a mocheso o phahameng ka lebaka la litšenyehelo tsa eona tse itekanetseng, tekanyo e tlaase ea ho hasana ka likristale tsa silicon, le karolo e tlaase haholo ea karohano e ka bang 5 × 108, e lumellang tekanyo e itseng ea tšilafalo ea molybdenum pele e senya sebopeho sa kristale.
2. Lisebelisoa tsa ho futhumatsa mocheso
Sesebediswa se sebediswang ka ho fetisisa sa ho kenya letsoho ke carbon e utlwahalang ka mefuta e fapaneng. K'habone e entsoe ka likhoele tse tšesaane, tse sebetsang e le mohatsela hobane li thibela mahlaseli a mocheso ka makhetlo a mangata sebakeng se sekhutšoanyane. Motsoako o bonolo oa k'habone o lohuoa ho ba lilakane tse batlang li le tšesaane, ebe li sehoa ka sebopeho se lakatsehang ebe li kobeha ka thata ho ba radius e lekaneng. Maikutlo a phekotsoeng a entsoe ka lisebelisoa tse tšoanang tsa fiber, 'me sekontiri se nang le carbon se sebelisoa ho hokahanya likhoele tse qhalakaneng hore e be ntho e tiileng le e bōpehileng haholoanyane. Tšebeliso ea mouoane oa lik'hemik'hale oa carbon sebakeng sa binder e ka ntlafatsa thepa ea mochine.
Ka tloaelo, bokaholimo bo ka ntle ba mohatsela oa ho futhumatsa mocheso bo koahetsoeng ka lesela le sa khaotseng la graphite kapa foil ho fokotsa khoholeho le ho roala hammoho le tšilafalo ea likaroloana. Mefuta e meng ea lisebelisoa tsa ho kenya mocheso tsa carbon-based le tsona li teng, tse kang carbon foam. Ka kakaretso, lisebelisoa tse entsoeng ka graphite ho hlakile hore lia ratoa hobane graphitization e fokotsa haholo bokaholimo ba fiber. Ho felloa ke matla ha thepa ena ea sebaka se phahameng ho fokotsehile haholo, 'me ho nka nako e fokolang ho pompa sebōpi sebakeng se loketseng. E 'ngoe ke thepa e kopantsoeng ea C / C, e nang le litšobotsi tse ikhethang tse kang boima bo bobebe, mamello e phahameng ea tšenyo le matla a phahameng. E sebelisoa masimong a mocheso ho nkela likarolo tsa graphite sebaka haholo ho fokotsa makhetlo a mangata a likarolo tsa graphite, ho ntlafatsa boleng ba monocrystalline le botsitso ba tlhahiso.
Ho ea ka sehlopha sa lihlahisoa tse tala, "carbon" e ka aroloa ka polyacrylonitrile-based carbon felt, viscose-based carbon felt, le pitch-based carbon felt.
Polyacrylonitrile-based carbon felt e na le molora o moholo. Ka mor'a phekolo e phahameng ea mocheso, fiber e le 'ngoe e fetoha brittle. Nakong ea ts'ebetso, ho bonolo ho hlahisa lerōle ho silafatsa tikoloho ea sebōpi. Ka nako e ts'oanang, fiber e ka kena habonolo pores le pampiri ea phefumoloho ea 'mele oa motho, e leng kotsi ho bophelo ba motho. Viscose-based carbon e ikutloa e na le ts'ebetso e ntle ea ho kenya mocheso oa mocheso. E batla e le bonolo ka mor'a phekolo ea mocheso 'me ha ho bonolo ho hlahisa lerōle. Leha ho le joalo, karolo ea sefapano sa fiber e tala e thehiloeng ho viscose ha e tloaelehe, 'me ho na le li-grooves tse ngata holim'a fiber. Ho bonolo ho hlahisa likhase tse kang C02 tlas'a sepakapaka sa oxidizing sa sebōpi sa silicon sa CZ, se bakang pula ea oksijene le likarolo tsa carbon ka har'a thepa ea silicon ea monocrystalline. Bahlahisi ba ka sehloohong ba kenyelletsa SGL ea Jeremane le lik'hamphani tse ling. Hajoale, e sebelisoang ka ho fetesisa indastering ea semiconductor monocrystalline ke semi-based carbon felt, e nang le ts'ebetso e mpe ea mocheso oa mocheso ho feta k'habone e entsoeng ka viscose, empa ho na le bohloeki bo phahameng le ho tsoa lerōle le tlase. Baetsi ba kenyelletsa Kureha Chemical ea Japane le Osaka Gas.
Hobane sebopeho sa k'habone se sa ts'oaroe, ha ho bonolo ho sebetsa. Hona joale lik'hamphani tse ngata li thehile sesebelisoa se secha sa ho futhumatsa mocheso se ipapisitseng le "khabone e folisitsoeng" e nang le moea. Khabone e phekotsoeng, eo hape e bitsoang hard felt, ke k'habone e nang le sebopeho se itseng le thepa e iphelisang ka mor'a hore maikutlo a bonolo a kenngoe ka resin, laminated, folisoe le carbonized.
Boleng ba khōlo ea silicon ea monocrystalline e ameha ka ho toba ke tikoloho ea mocheso, 'me lisebelisoa tsa carbon fiber thermal insulation li phetha karolo ea bohlokoa tikolohong ena. Carbon fiber thermal insulation soft e ntse e na le molemo o moholo indastering ea semiconductor ea photovoltaic ka lebaka la molemo oa eona oa litšenyehelo, phello e ntle ea ho futhumatsa mocheso, moralo o feto-fetohang le sebopeho se ka khonehang. Ntle le moo, carbon fiber hard insulation e tla ba le sebaka se seholo sa nts'etsopele 'marakeng oa thepa ea thepa ea mocheso ka lebaka la matla a eona a itseng le ts'ebetso e phahameng. Re ikemiselitse ho etsa lipatlisiso le nts'etsopele lefapheng la lisebelisoa tsa ho futhumatsa mocheso, 'me re tsoela pele ho ntlafatsa ts'ebetso ea sehlahisoa ho khothaletsa katleho le nts'etsopele ea indasteri ea semiconductor ea photovoltaic.
Nako ea poso: Jun-12-2024