ТаЦ обложени сусцептор за опрему за епитаксију

Кратак опис:

ВЕТ обезбеђује специјализоване премазе од тантал карбида (ТаЦ) за различите компоненте и носаче. Водећи ВЕТ-ов процес наношења премаза омогућава премазима од тантал карбида (ТаЦ) да постигну високу чистоћу, високу температурну стабилност и високу хемијску толеранцију, побољшавајући квалитет производа СИЦ/ГАН кристала и ЕПИ слојева, и продужавајући век трајања кључних компоненти реактора. Употреба ТаЦ премаза од тантал карбида је да се реши проблем ивица и побољша квалитет раста кристала, а ВЕТ је пробој решио технологију премаза тантал карбида (ЦВД), достигавши међународни напредни ниво.


Детаљи о производу

Ознаке производа

ТаЦ цоатедподлога је танак филм одтантал карбидматеријал, који се наноси на површину подлоге епитаксијалне опреме.ТаЦ премазима много одличних својстава, што га чини идеалним избором.

ТаЦ премаз је врста премаза од тантал карбида (ТаЦ) припремљеног технологијом физичког таложења паре, има следеће карактеристике:

1. Висока тврдоћа: Тврдоћа премаза ТаЦ је висока, обично може достићи 2500-3000ХВ, одличан је тврди премаз.

2. Отпорност на хабање: ТаЦ премаз је веома отпоран на хабање, што може ефикасно смањити хабање и оштећење механичких делова током употребе.

3. Добра отпорност на високе температуре: ТаЦ премаз такође може одржати своје одличне перформансе под високим температурама.

4. Добра хемијска стабилност: ТаЦ премаз има добру хемијску стабилност и може одолети многим хемијским реакцијама, као што су киселине и базе.

6 (3)
6 (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性

Физичка својства ТаЦ премазивање

密度/ Густина

14,3 (г/цм³)

比辐射率 / Специфична емисивност

0.3

热膨胀系数 / Коефицијент топлотног ширења

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Тврдоћа (ХК)

2000 ХК

电阻 / Ресистанце

1×10-5 Охм*цм

热稳定性 / Термичка стабилност

<2500℃

石墨尺寸变化 / Промене величине графита

-10~-20ум

涂层厚度 / Дебљина премаза

≥20ум типична вредност (35ум±10ум)

 

Нингбо ВЕТ Енерги Тецхнологи Цо., Лтд је високотехнолошко предузеће које се фокусира на производњу и продају врхунских напредних материјала, материјала и технологије који покривају графит, силицијум карбид, керамику, површинску обраду и тако даље. Производи се широко користе у фотонапонској, полупроводничкој, новој енергији, металургији итд.

Наш технички тим долази из врхунских домаћих истраживачких институција, може вам пружити професионалнија материјална решења.

Срдачно вас поздрављамо да посетите нашу фабрику, хајде да разговарамо даље!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Претходно:
  • Следеће:

  • ВхатсАпп онлајн ћаскање!