РТП/РТА СиЦ носач премаза за МОЦВД епитаксијални раст

Кратак опис:

ВЕТ Енерги РТП/РТА СиЦ Цоатинг Царриер је производ високих перформанси дизајниран да обезбеди доследне и поуздане перформансе током дужег периода. Има супер добру отпорност на топлоту и термичку униформност, високу чистоћу, отпорност на ерозију, што га чини савршеним решењем за апликације обраде плочица.


  • Место порекла:Кина
  • Кристална структура:ФЦЦβ фаза
  • Густина:3,21 г/цм
  • тврдоћа:2500 Вицкерс
  • Величина зрна:2~10μм
  • Хемијска чистоћа:99,99995%
  • Капацитет топлоте:640Ј·кг-1·К-1
  • Температура сублимације:2700℃
  • Фелекурална снага:415 Мпа (РТ 4 тачке)
  • Јангов модул:430 Гпа (4пт савијање, 1300 ℃)
  • Топлотна експанзија (ЦТЕ):4.5 10-6К-1
  • Топлотна проводљивост:300 (В/МК)
  • Детаљи о производу

    Ознаке производа

    Носач СиЦ премаза За РТП/РТА је кључна компонента која се користи у процесима производње полупроводника који се називају брза термичка обрада и жарење, ми користимо нашу патентирану технологију да направимо носач од силицијум карбида са изузетно високом чистоћом, добром униформношћу премаза и одличним веком трајања, као као и висока хемијска отпорност и својства термичке стабилности.

    Карактеристике наших производа:

    1. Отпорност на оксидацију високе температуре до 1700 ℃.
    2. Висока чистоћа и термичка униформност
    3. Одлична отпорност на корозију: киселине, алкалије, соли и органски реагенси.

    4. Висока тврдоћа, компактна површина, фине честице.
    5. Дужи радни век и издржљивији

    ЦВД SiC薄膜基本物理性能

    Основна физичка својства ЦВД СиЦпремазивање

    性质 / Проперти

    典型数值 / Типична вредност

    晶体结构 / Цристал Струцтуре

    ФЦЦ β фаза多晶, 主要为(111)取向

    密度 / Густина

    3,21 г/цм³

    硬度 / Тврдоћа

    2500 维氏硬度 (500г оптерећење)

    晶粒大小 / Величина зрна

    2~10μм

    纯度 / Цхемицал Пурити

    99,99995%

    热容 / Капацитет топлоте

    640 Ј·кг-1·К-1

    升华温度 / Температура сублимације

    2700℃

    抗弯强度 / Флекурал Стренгтх

    415 МПа РТ 4 тачке

    杨氏模量 / Иоунг'с Модулус

    430 Гпа 4пт кривина, 1300 ℃

    导热系数 / ТхермалЦондуцтивити

    300В·м-1·К-1

    热膨胀系数 / термичка експанзија (ЦТЕ)

    4,5×10-6K-1

    1

    2

    ВЕТ Енерги је прави произвођач прилагођених производа од графита и силицијум карбида са различитим премазима као што су СиЦ премаз, ТаЦ премаз, премаз од стакленог угљеника, премаз од пиролитичког угљеника, итд., Може да испоручи различите прилагођене делове за полупроводничку и фотонапонску индустрију.

    Наш технички тим долази из врхунских домаћих истраживачких институција, може вам пружити професионалнија материјална решења.

    Континуирано развијамо напредне процесе да бисмо обезбедили напредније материјале, и развили смо ексклузивну патентирану технологију, која може учинити везу између премаза и подлоге чвршћом и мање склоном одвајању.

    Срдачно вас поздрављамо да посетите нашу фабрику, хајде да разговарамо даље!

    研发团队

     

    生产设备

     

    公司客户

     


  • Претходно:
  • Следеће:

  • ВхатсАпп онлајн ћаскање!