Зашто се бочни зидови савијају током сувог гравирања?

Неуједначеност јонског бомбардовања

Сувобакрописје обично процес који комбинује физичке и хемијске ефекте, у којем је јонско бомбардовање важна метода физичког јеткања. Токомпроцес гравирања, упадни угао и расподела енергије јона могу бити неравномерни.

Ако је угао упада јона различит на различитим позицијама на бочном зиду, ефекат нагризања јона на бочном зиду такође ће бити различит. У областима са већим угловима упада јона, ефекат нагризања јона на бочном зиду је јачи, што ће узроковати да се бочни зид у овој области више угравира, узрокујући савијање бочне стране. Поред тога, неравномерна дистрибуција енергије јона такође ће произвести сличне ефекте. Јони са већом енергијом могу ефикасније уклонити материјале, што доводи до недоследностибакрописстепени бочног зида на различитим позицијама, што заузврат узрокује савијање бочне стране.

Утицај фоторезиста

Фоторезист игра улогу маске у сувом нагризању, штитећи подручја која не морају бити урезана. Међутим, фоторезист је такође под утицајем плазма бомбардовања и хемијских реакција током процеса нагризања, а његове перформансе се могу променити.

Ако је дебљина фоторезиста неуједначена, брзина потрошње током процеса нагризања је недоследна, или је приањање између фоторезиста и подлоге различито на различитим локацијама, то може довести до неуједначене заштите бочних зидова током процеса јеткања. На пример, области са тањим фотоотпором или слабијим пријањањем могу учинити да се основни материјал лакше угравира, узрокујући савијање бочних зидова на овим местима.

Разлике у својствима материјала подлоге

Сам материјал урезане подлоге може имати различита својства, као што су различите оријентације кристала и концентрације допинга у различитим регионима. Ове разлике ће утицати на брзину нагризања и селективност нагризања.
На пример, у кристалном силицијуму, распоред атома силицијума у ​​различитим кристалним оријентацијама је различит, а њихова реактивност и брзина нагризања са гасом за јеткање ће такође бити различити. Током процеса гравирања, различите брзине нагризања узроковане разликама у својствима материјала ће учинити дубину нагризања бочних зидова на различитим локацијама неконзистентном, што на крају доводи до савијања бочних зидова.

Фактори везани за опрему

Перформансе и статус опреме за гравирање такође имају важан утицај на резултате гравирања. На пример, проблеми као што су неуједначена дистрибуција плазме у реакционој комори и неуједначено трошење електрода могу довести до неуједначене расподеле параметара као што су густина јона и енергија на површини плочице током јеткања.

Поред тога, неуједначена контрола температуре опреме и мале флуктуације у протоку гаса такође могу утицати на уједначеност нагризања, што доводи до савијања бочних зидова.