Шта је механизам планаризације ЦМП-а?

Дуал-Дамасцене је процесна технологија која се користи за производњу металних интерконекција у интегрисаним колима. То је даљи развој Дамаског процеса. Истовременим формирањем рупа и жлебова у истом кораку процеса и њиховим пуњењем металом, остварује се интегрисана производња металних спојева.

Зашто се зове Дамаск?

Град Дамаск је главни град Сирије, а мачеви Дамаска су познати по својој оштрини и изврсној текстури. Потребан је нека врста процеса уметања: прво се на површини дамаск челика угравира тражени узорак, а претходно припремљени материјали се чврсто уметну у урезане жлебове. Након што је уметка завршена, површина може бити мало неравна. Мајстор ће га пажљиво полирати како би осигурао укупну глаткоћу. А овај процес је прототип дуалног процеса у Дамаску чипа. Прво се у диелектрични слој урезују жљебови или рупе, а затим се у њих попуњава метал. Након пуњења, вишак метала ће бити уклоњен цмп.

Главни кораци процеса дуал дамасцене укључују:

▪ Таложење диелектричног слоја:

Нанесите слој диелектричног материјала, као што је силицијум диоксид (СиО2), на полупроводниквафер.

▪ Фотолитографија за дефинисање узорка:

Користите фотолитографију да дефинишете образац пролаза и ровова на диелектричном слоју.

▪Етцхинг:

Пренесите узорак пролаза и ровова на диелектрични слој сувим или мокрим процесом нагризања.

▪ Таложење метала:

Депонујте метал, као што је бакар (Цу) или алуминијум (Ал), у пролазе и ровове да бисте формирали металне међусобне везе.

▪ Хемијско механичко полирање:

Хемијско механичко полирање металне површине за уклањање вишка метала и изравнавање површине.

У поређењу са традиционалним процесом производње металних интерконекција, процес двоструког дамасцена има следеће предности:

▪Поједностављени кораци процеса:формирањем пролаза и ровова истовремено у истом кораку процеса, процесни кораци и време производње се смањују.

▪Побољшана производна ефикасност:због смањења корака процеса, дуал дамасцене процес може побољшати ефикасност производње и смањити трошкове производње.

▪Побољшајте перформансе металних интерконекција:дуал дамасцене процес може постићи уже металне интерконекције, чиме се побољшава интеграција и перформансе кола.

▪Смањите паразитски капацитет и отпор:коришћењем ниско-к диелектричних материјала и оптимизацијом структуре металних интерконекција, паразитски капацитет и отпор се могу смањити, побољшавајући перформансе брзине и потрошње енергије кола.