Која је разлика између ПЕЦВД и ЛПЦВД у полупроводничкој ЦВД опреми?

Хемијско таложење паре (ЦВД) се односи на процес наношења чврстог филма на површину силицијумаваферкроз хемијску реакцију гасне смеше. Према различитим реакционим условима (притисак, прекурсор), може се поделити на различите моделе опреме.

За које процесе се користе ова два уређаја?

ПЕЦВД(Пласма Енханцед) опрема је најбројнија и најчешће коришћена, која се користи у ОКС, Нитриде, метал гате, аморфни угљеник итд.; ЛПЦВД (Лов Повер) се обично користи у нитриду, поли, ТЕОС-у.
Шта је принцип?
ПЕЦВД-процес који савршено комбинује енергију плазме и ЦВД. ПЕЦВД технологија користи плазму ниске температуре да изазове усијано пражњење на катоди процесне коморе (тј. посуде за узорке) под ниским притиском. Ово усијано пражњење или други уређај за грејање може подићи температуру узорка на унапред одређени ниво, а затим увести контролисану количину процесног гаса. Овај гас пролази кроз низ хемијских и плазма реакција и коначно формира чврсти филм на површини узорка.

ЛПЦВД – Хемијско таложење паре ниског притиска (ЛПЦВД) је дизајнирано да смањи радни притисак реакционог гаса у реактору на око 133 Па или мање.

Које су карактеристике сваког од њих?

ПЕЦВД – Процес који савршено комбинује енергију плазме и ЦВД: 1) Рад на ниским температурама (избегавање оштећења опреме од високе температуре); 2) Брз раст филма; 3) Није избирљив у погледу материјала, ОКС, Нитрид, метална капија, аморфни угљеник могу расти; 4) Постоји систем за праћење на лицу места, који може да прилагоди рецепт кроз параметре јона, брзину протока гаса, температуру и дебљину филма.
ЛПЦВД – Танки филмови депоновани помоћу ЛПЦВД ће имати бољу покривеност корака, добру контролу састава и структуре, високу стопу таложења и излаз. Поред тога, ЛПЦВД не захтева гас носач, тако да у великој мери смањује извор загађења честицама и широко се користи у индустрији полупроводника са високом додатом вредношћу за таложење танког филма.

 

Добродошли купцима из целог света да нас посете ради даље дискусије!

хттпс://ввв.вет-цхина.цом/

хттпс://ввв.вет-цхина.цом/цвд-цоатинг/

хттпс://ввв.вет-цхина.цом/силицон-царбиде-сиц-церамиц/