Шта је сиц премаз?

Силицијум карбидје тврдо једињење које садржи силицијум и угљеник, а налази се у природи као изузетно редак минерал моисанит. Честице силицијум карбида могу се међусобно повезати синтеровањем да би се формирала веома тврда керамика, која се широко користи у апликацијама које захтевају високу издржљивост, посебно у процесирању полупроводника.

Физичка структура СиЦ

СиЦ премаз је густ, отпоран на хабање премаз од силицијум карбида са високом отпорношћу на корозију и топлоту и одличном топлотном проводљивошћу. Овај СиЦ премаз високе чистоће се првенствено користи у индустрији полупроводника и електронике за заштиту носача плочица, база и грејних елемената од корозивног и реактивног окружења. СиЦ премаз је такође погодан за вакуумске пећи и загревање узорака у високом вакууму, реактивним и кисеониковим окружењима.

Површина премаза од СиЦ високе чистоће

Шта је процес наношења СиЦ премаза?

На површину подлоге се наноси танак слој силицијум карбидаЦВД (хемијско таложење паре). Таложење се обично врши на температурама од 1200-1300°Ц и понашање материјала подлоге при термичком ширењу треба да буде компатибилно са СиЦ премазом да би се топлотни стрес свео на минимум.

ЦВД СИЦ ФИЛМ КРИСТАЛНА СТРУКТУРА

ЦВД СИЦ премаз ФИЛМА КРИСТАЛНА СТРУКТУРА

Физичка својства СиЦ премаза се углавном огледају у његовој отпорности на високе температуре, тврдоћи, отпорности на корозију и топлотној проводљивости.

Типични физички параметри су обично следећи:

Тврдоћа: СиЦ премаз обично има Викерсову тврдоћу у опсегу од 2000-2500 ХВ, што им даје изузетно високу отпорност на хабање и ударце у индустријским применама.

Густина: СиЦ премази обично имају густину од 3,1-3,2 г/цм³. Висока густина доприноси механичкој чврстоћи и издржљивости премаза.

Топлотна проводљивост: СиЦ премази имају високу топлотну проводљивост, типично у опсегу од 120-200 В/мК (на 20°Ц). Ово му даје добру топлотну проводљивост у окружењима са високим температурама и чини га посебно погодним за опрему за термичку обраду у индустрији полупроводника.

Тачка топљења: силицијум карбид има тачку топљења од приближно 2730°Ц и има одличну термичку стабилност на екстремним температурама.

Коефицијент термичке експанзије: СиЦ премази имају низак линеарни коефицијент термичког ширења (ЦТЕ), типично у опсегу од 4,0-4,5 µм/мК (на 25-1000℃). То значи да је његова димензионална стабилност одлична при великим температурним разликама.

Отпорност на корозију: СиЦ премази су изузетно отпорни на корозију у јаким киселим, алкалним и оксидирајућим срединама, посебно када се користе јаке киселине (као што су ХФ или ХЦл), њихова отпорност на корозију далеко премашује отпорност конвенционалних металних материјала.

СиЦ премази се могу применити на следеће материјале:

Изостатски графит високе чистоће (низак ЦТЕ)
Тунгстен
молибден
Силицијум карбид
Силицијум нитрид
Композити угљеник-угљеник (ЦФЦ)

Производи обложени СиЦ се обично користе у следећим областима:

Производња ЛЕД чипова
Производња полисилицијума
Семицондуцторраст кристала
Силицијум иСиЦ епитаксија
Термичка обрада вафла и јеткање

Зашто одабрати ВЕТ Енерги?

ВЕТ Енерги је водећи произвођач, иноватор и лидер производа за премазивање СиЦ у Кини, а главни производи СиЦ премаза укључујуносач плочице са СиЦ премазом, СиЦ пресвученепитаксијални сусцептор, Графитни прстен обложен СиЦ, Делови полумесеца са СиЦ премазом, Композит угљеник-угљеник обложен СиЦ, Облатни чамац обложен СиЦ, Грејач обложен СиЦитд. ВЕТ Енерги је посвећен пружању индустрије полупроводника са врхунском технологијом и решењима производа, и подржава услуге прилагођавања. Искрено се радујемо што ћемо бити ваш дугорочни партнер у Кини.