СиЦ премаз се може припремити хемијским таложењем паре (ЦВД), трансформацијом прекурсора, прскањем плазмом, итд. Превлака припремљена ХЕМИЈСКИМ таложењем паре је уједначена и компактна и има добру могућност дизајна. Коришћењем метил трихлосилана. (ЦХзСиЦл3, МТС) као извор силицијума, СиЦ премаз припремљен ЦВД методом је релативно зрела метода за примену овог премаза.
СиЦ премаз и графит имају добру хемијску компатибилност, разлика коефицијента топлотног ширења између њих је мала, коришћење СиЦ премаза може ефикасно побољшати отпорност на хабање и отпорност на оксидацију графитног материјала. Међу њима, стехиометријски однос, температура реакције, гас за разблаживање, гас нечистоћа и други услови имају велики утицај на реакцију.
Време поста: 14.09.2022