СиЦ премаз се може припремити хемијским таложењем паре (ЦВД), трансформацијом прекурсора, прскањем плазмом, итд. Превлака припремљена ХЕМИЈСКИМ таложењем паре је уједначена и компактна и има добру могућност дизајна. Коришћењем метил трихлосилана. (ЦХзСиЦл3, МТС) као извор силицијума, припрема СиЦ превлаке...
Прочитајте више