Током процеса епитаксије у парној фази (ВПЕ), улога постоља је да подржи супстрат и обезбеди равномерно загревање током процеса раста. Различити типови постоља су погодни за различите услове раста и материјалне системе. Следе неки од најчешће коришћених типова постоља у парној фазиепитаксија:
Пиједестал за бачву
Постоља за бачве се обично користе у хоризонталним или нагнутим системима за епитаксију у парној фази. Они могу држати подлогу и дозволити гасу да тече преко супстрата, што помаже у постизању равномерног епитаксијалног раста.
Постоље у облику диска (вертикално постоље)
Постољи у облику диска су погодни за вертикалне системе за епитаксију у парној фази, у којима се подлога поставља вертикално. Овај дизајн помаже у смањењу контактне површине између подлоге и пријемника, чиме се смањује губитак топлоте и потенцијална контаминација.
Хоризонтални сусцептор
Хоризонтални пријемници су мање уобичајени у епитаксији у парној фази, али се могу користити у неким специфичним системима раста да би се омогућио епитаксијални раст у хоризонталном правцу.
Монолитни епитаксијални реакцијски сусцептор
Монолитни епитаксијални реакцијски пријемник је дизајниран за једну подлогу, која може да обезбеди прецизнију контролу температуре и бољу топлотну изолацију, погодну за раст висококвалитетних епитаксијалних слојева.
Добродошли на нашу веб страницу за информације о производима и консултације.
Наша веб локација: хттпс://ввв.вет-цхина.цом/
Време поста: 30.07.2024