Пожељни материјал за прецизне делове фотолитографских машина
У пољу полупроводника,силицијум карбидна керамикаматеријали се углавном користе у кључној опреми за производњу интегрисаних кола, као што су радни сто од силицијум карбида, водилице,рефлектори, керамичка усисна стезна глава, кракови, брусни дискови, прибор, итд. за машине за литографију.
Керамички делови од силицијум карбидаза полупроводничку и оптичку опрему
● Керамички диск за брушење од силицијум карбида. Ако је брусни диск направљен од ливеног гвожђа или угљеничног челика, његов радни век је кратак, а коефицијент топлотног ширења је велики. Током обраде силицијумских плочица, посебно током брушења или полирања великом брзином, хабање и термичка деформација брусног диска отежавају обезбеђивање равности и паралелности силицијумске плочице. Брусни диск направљен од силицијум карбидне керамике има високу тврдоћу и мало хабање, а коефицијент термичког ширења је у основи исти као код силицијумских плочица, тако да се може брусити и полирати великом брзином.
● Керамички елемент од силицијум карбида. Поред тога, када се производе силицијумске плочице, оне морају да се подвргну топлотној обради на високим температурама и често се транспортују помоћу силицијум карбидних учвршћења. Отпорне су на топлоту и не деструктивне. Дијамантски угљеник (ДЛЦ) и други премази могу се нанети на површину да би се побољшале перформансе, ублажила оштећења плочице и спречила ширење контаминације.
● Радни сто од силицијум карбида. Узимајући као пример радни сто у машини за литографију, радни сто је углавном одговоран за довршавање покрета експозиције, захтевајући ултра-прецизно кретање велике брзине, великог хода, шест степени слободе на нано нивоу. На пример, за литографску машину са резолуцијом од 100 нм, прецизношћу преклапања од 33 нм и ширином линије од 10 нм, потребна је тачност позиционирања радног стола да достигне 10 нм, истовремене брзине корака маске и силиконске плочице и брзине скенирања су 150 нм/с. и 120нм/с респективно, а брзина скенирања маске је близу 500нм/с, а радни сто мора имати веома високу тачност и стабилност покрета.
Шематски дијаграм радног стола и стола за микро кретање (делимични пресек)
● Керамичко квадратно огледало од силицијум карбида. Кључне компоненте у кључној опреми за интегрисана кола, као што су машине за литографију, имају сложене облике, сложене димензије и шупље лагане структуре, што отежава припрему таквих керамичких компоненти од силицијум карбида. Тренутно, мејнстрим међународни произвођачи опреме за интегрисана кола, као што су АСМЛ у Холандији, НИКОН и ЦАНОН у Јапану, користе велику количину материјала као што су микрокристално стакло и кордиерит за припрему квадратних огледала, основних компоненти машина за литографију, и користе силицијум карбид керамике за припрему других структурних компоненти високих перформанси једноставних облика. Међутим, стручњаци из Кинеског института за истраживање грађевинских материјала користили су власнички припремну технологију како би постигли припрему великих димензија, сложеног облика, веома лаганих, потпуно затворених керамичких квадратних огледала од силицијум карбида и других структуралних и функционалних оптичких компоненти за литографске машине.
Време поста: 10.10.2024