Мете за распршивање које се користе у полупроводничким интегрисаним колима

Прскајуће метесе углавном користе у електронској и информационој индустрији, као што су интегрисана кола, складиштење информација, дисплеји са течним кристалима, ласерске меморије, електронски контролни уређаји, итд. материјали, отпорност на корозију на високим температурама, врхунски декоративни производи и друге индустрије.

Прскање је једна од главних техника за припрему танкослојних материјала.Користи јоне генерисане јонским изворима да убрза и агрегира у вакууму да формира снопове енергије велике брзине, бомбардује чврсту површину и размењује кинетичку енергију између јона и атома чврсте површине. Атоми на површини чврстог материјала напуштају чврсту материју и таложе се на површини супстрата. Бомбардована чврста материја је сировина за таложење танких филмова распршивањем, што се назива мета за распршивање. Различити типови распршених танкослојних материјала су нашироко коришћени у полупроводничким интегрисаним колима, медијима за снимање, равним екранима и површинским премазима радног комада.

Међу свим индустријама примене, индустрија полупроводника има најстроже захтеве квалитета за филмове за распршивање циља. Металне мете високе чистоће се углавном користе у производњи плочица и напредним процесима паковања. Узимајући за пример производњу чипова, можемо видети да од силицијумске плочице до чипа треба да прође кроз 7 главних производних процеса, а то су дифузија (термички процес), фото-литографија (фото-литографија), једкање (етцх), Ионска имплантација (ИонИмплант), раст танког филма (диелектрично таложење), хемијско механичко полирање (ЦМП), метализација (Метализација) Процеси одговарају један по један. Мета за распршивање се користи у процесу „метализације“. Мета се бомбардује високоенергетским честицама помоћу опреме за таложење танког филма, а затим се на силиконској плочици формира метални слој са специфичним функцијама, као што је проводни слој, слој баријере. Сачекајте. Пошто су процеси читавих полупроводника различити, потребне су неке повремене ситуације да би се проверило да ли систем исправно постоји тако да захтевамо неке врсте лажних материјала у одређеним фазама производње да бисмо потврдили ефекте.