Захтеви индустрије полупроводника за графитним материјалима су посебно високи, фина величина честица графита има високу прецизност, отпорност на високе температуре, високу чврстоћу, мали губитак и друге предности, као што су: калуп за производе од синтерованог графита.Пошто графитна опрема која се користи у индустрији полупроводника (укључујући грејаче и њихове синтероване матрице) мора да издржи поновљене процесе грејања и хлађења, како би се продужио животни век графитне опреме, обично се захтева да коришћени графитни материјали имају стабилне перформансе и функција отпорности на ударце на топлоту.
01 Графитни прибор за раст полупроводничких кристала
Сви процеси који се користе за узгој полупроводничких кристала раде под високим температурама и корозивним окружењем. Врућа зона пећи за раст кристала обично је опремљена графитним компонентама високе чистоће отпорним на топлоту и корозију, као што су грејач, лончић, изолациони цилиндар, водећи цилиндар, електрода, држач лончића, матица електроде итд.
Можемо да произведемо све графитне делове уређаја за производњу кристала, који се могу испоручити појединачно или у сетовима, или прилагођене графитне делове различитих величина према захтевима купаца. Величина производа се може мерити на лицу места, а садржај пепела готових производа може бити мањиод 5ппм.
02 Графитни прибор за полупроводничку епитаксију
Епитаксијални процес се односи на раст слоја монокристалног материјала са истим распоредом решетке као и супстрат на монокристалној подлози. У епитаксијалном процесу, плочица се учитава на графитни диск. Перформансе и квалитет графитног диска играју виталну улогу у квалитету епитаксијалног слоја плочице. У области епитаксијалне производње потребно је много графита ултра високе чистоће и графитне базе високе чистоће са СИЦ премазом.
Графитна база наше компаније за полупроводничку епитаксију има широк спектар примена, може да одговара већини опреме која се обично користи у индустрији и има високу чистоћу, уједначен премаз, одличан век трајања и високу хемијску отпорност и термичку стабилност.
03 Графитни прибор за јонску имплантацију
Ионска имплантација се односи на процес убрзавања плазма зрака бора, фосфора и арсена до одређене енергије, а затим убризгавања у површински слој материјала плочице да би се променила својства материјала површинског слоја. Компоненте уређаја за јонску имплантацију треба да буду направљене од материјала високе чистоће са одличном отпорношћу на топлоту, топлотном проводљивошћу, мањом корозијом изазваном јонским снопом и ниским садржајем нечистоћа. Графит високе чистоће испуњава захтеве примене и може се користити за цев за летење, разне прорезе, електроде, поклопце електрода, водове, терминаторе зрака, итд. опреме за имплантацију јона.
Не само да можемо да обезбедимо графитни заштитни поклопац за различите машине за имплантацију јона, већ и да обезбедимо графитне електроде високе чистоће и изворе јона са високом отпорношћу на корозију различитих спецификација. Применљиви модели: Еатон, Азцелис, Куатум, Вариан, Ниссин, АМАТ, ЛАМ и друга опрема. Поред тога, можемо да обезбедимо и одговарајуће производе од керамике, волфрама, молибдена, алуминијума и обложених делова.
04 Графитни изолациони материјали и др
Материјали за топлотну изолацију који се користе у опреми за производњу полупроводника укључују графитни тврди филц, меки филц, графитну фолију, графитни папир и графитно уже.
Све наше сировине су увозни графит, који се може сећи према специфичној величини захтева купца или продати као целина.
Угљен-угљенична посуда се користи као носач за филмско облагање у процесу производње соларног монокристалног силицијума и поликристалних силицијумских ћелија. Принцип рада је: убаците силицијумски чип у ЦФЦ лежиште и пошаљите га у цев пећи да обради филмски премаз.
