ЦВД графитни прстен обложен силицијум карбидом

Кратак опис:

ВЕТ Енерги графитни прстен обложен силицијум карбидом је производ високих перформанси дизајниран да обезбеди доследне и поуздане перформансе током дужег периода. Има супер добру отпорност на топлоту и термичку униформност, високу чистоћу, отпорност на ерозију, што га чини савршеним решењем за апликације обраде плочица.

Пошаљите нам емаил Преузмите као ПДФ

Детаљи о производу

Ознаке производа

Типичне особине основног графитног материјала:

Привидна густина:	1,85 г/цм3
Електрична отпорност:	11 μΩм
Савијање:	49 МПа (500 кгф/цм2)
Тврдоћа по Шору:	58
пепео:	<5ппм
Топлотна проводљивост:	116 В/мК (100 кцал/мхр-℃)

Снабдевамо различите пријемнике и графитне компоненте за све актуелне епитаксијске реакторе. Наши производи укључују бачве за ЛПЕ јединице, палачинке за ЛПЕ, ЦСД и Гемини јединице, и једноструке носаче за примењене и АСМ јединице.

Комбинујући јака партнерства са водећим ОЕМ произвођачима, стручност о материјалима и производно знање, вет нуди оптималан дизајн за вашу примену.

ВЕТ Енерги је тхеправи произвођач прилагођених производа од графита и силицијум карбида са ЦВД премазом,може снабдеватиразнеприлагођени делови за полупроводничку и фотонапонску индустрију. Oваш технички тим долази из врхунских домаћих истраживачких институција, може пружити професионалнија материјална решењаза тебе.

Fјела наших производа:

1. Отпорност на оксидацију високе температуре до 1700℃.
2. Висока чистоћа итермичка униформност
3. Одлична отпорност на корозију: киселине, алкалије, соли и органски реагенси.
4. Висока тврдоћа, компактна површина, фине честице.
5. Дужи радни век и издржљивији

ЦВД SiC薄膜基本物理性能 Основна физичка својства ЦВД СиЦпремазивање
性质 / Проперти	典型数值 / Типична вредност
晶体结构 / Цристал Струцтуре	ФЦЦ β фаза多晶, 主要为（111）取向
密度 / Густина	3,21 г/цм³
硬度 / Тврдоћа	2500 维氏硬度 (500г оптерећење)
晶粒大小 / Величина зрна	2~10μм
纯度 / Цхемицал Пурити	99,99995%
热容 / Капацитет топлоте	640 Ј·кг^-1·К^-1
升华温度 / Температура сублимације	2700℃
抗弯强度 / Флекурал Стренгтх	415 МПа РТ 4 тачке
杨氏模量 / Иоунг'с Модулус	430 Гпа 4пт кривина, 1300 ℃
导热系数 / ТхермалЦондуцтивити	300В·м^-1·К^-1
热膨胀系数 / термичка експанзија (ЦТЕ)	4,5×10^-6K^-1