Vafera epitaksiale e karbitit të silikonit VET Energy (SiC) është një material gjysmëpërçues me brez të gjerë me performancë të lartë me rezistencë të shkëlqyer ndaj temperaturës së lartë, frekuencë të lartë dhe karakteristika të fuqisë së lartë. Është një substrat ideal për gjeneratën e re të pajisjeve elektronike të fuqisë. VET Energy përdor teknologjinë e përparuar epitaksiale MOCVD për të rritur shtresat epitaksiale të SiC me cilësi të lartë në nënshtresat SiC, duke siguruar performancën dhe qëndrueshmërinë e shkëlqyer të vaferës.
Vafera jonë epitaksiale me karabit silic (SiC) ofron përputhshmëri të shkëlqyeshme me një shumëllojshmëri materialesh gjysmëpërçuese, duke përfshirë vaferën Si, Nënshtresën SiC, Vaferën SOI dhe Substratin SiN. Me shtresën e tij të fortë epitaksiale, ai mbështet procese të avancuara si rritja dhe integrimi i Epi Wafer me materiale si Gallium Oxide Ga2O3 dhe AlN Wafer, duke siguruar përdorim të gjithanshëm në teknologji të ndryshme. I projektuar për të qenë i pajtueshëm me sistemet standarde të industrisë së trajtimit të kasetave, ai siguron funksione efikase dhe të thjeshta në mjediset e prodhimit të gjysmëpërçuesve.
Linja e produkteve të VET Energy nuk është e kufizuar në vaferat epitaksiale SiC. Ne gjithashtu ofrojmë një gamë të gjerë materialesh të nënshtresave gjysmëpërçuese, duke përfshirë Wafer Si, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer, etj. Përveç kësaj, ne po zhvillojmë gjithashtu në mënyrë aktive materiale të reja gjysmëpërçuese me brez të gjerë, të tilla si oksidi i galiumit Ga2O3 dhe AlN Wafer, për të përmbushur kërkesat e industrisë së ardhshme të elektronikës së energjisë për pajisje me performancë më të lartë.
SPECIFIKIMET E WAFERING
*n-Pm=n-lloj Pm-grade,n-Ps=n-lloj Ps-grade,Sl=gjysmë izolues
Artikulli | 8-inç | 6-inç | 4-inç | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV (GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Bow(GF3YFCD)-Vlera absolute | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Warp (GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
Buzë vafere | Të pjerrëta |
FUNDIMI I SIPËRFAQES
*n-Pm=n-lloj Pm-grade,n-Ps=n-lloj Ps-grade,Sl=gjysmë izolues
Artikulli | 8-inç | 6-inç | 4-inç | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Përfundimi i sipërfaqes | Lustrim optik me dy anë, CMP Si-Fytyre | ||||
Sipërfaqja e vrazhdësi | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0,2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0,2nm | |||
Patate të skuqura buzë | Asnjë e lejuar (gjatësia dhe gjerësia≥0,5 mm) | ||||
Indencat | Asnjë e lejuar | ||||
Gërvishtjet (Si-Face) | Sasia.≤5,Kumulative | Sasia.≤5,Kumulative | Sasia.≤5,Kumulative | ||
Çarje | Asnjë e lejuar | ||||
Përjashtimi i skajit | 3 mm |