ngrohës me veshje qeramike me karabit silikoni

Vet-KinëQeramikë silikoni karabitVeshja është një shtresë mbrojtëse me performancë të lartë e bërë nga jashtëzakonisht e fortë dhe rezistente ndaj konsumitkarabit silikoni (SiC)material, i cili siguron rezistencë të shkëlqyer ndaj korrozionit kimik dhe stabilitet në temperaturë të lartë. Këto karakteristika janë vendimtare në prodhimin e gjysmëpërçuesve, praVeshje qeramike me karabit silikonipërdoret gjerësisht në komponentët kryesorë të pajisjeve të prodhimit të gjysmëpërçuesve.

Roli specifik i Vet-KinësQeramikë silikoni karabitVeshja në prodhimin e gjysmëpërçuesve është si më poshtë:

Rritja e qëndrueshmërisë së pajisjeve:Veshje qeramike me karabit silikoni Veshja qeramike me karabit silikoni siguron mbrojtje të shkëlqyer të sipërfaqes për pajisjet e prodhimit të gjysmëpërçuesve me fortësinë e saj jashtëzakonisht të lartë dhe rezistencën ndaj konsumit. Veçanërisht në mjediset e procesit me temperaturë të lartë dhe shumë korrozive, të tilla si depozitimi i avullit kimik (CVD) dhe gravimi i plazmës, veshja mund të parandalojë në mënyrë efektive dëmtimin e sipërfaqes së pajisjes nga erozioni kimik ose konsumimi fizik, duke zgjatur ndjeshëm jetën e shërbimit të pajisjet dhe zvogëlimi i kohës së ndërprerjes të shkaktuar nga zëvendësimi dhe riparimi i shpeshtë.

Përmirësoni pastërtinë e procesit:Në procesin e prodhimit të gjysmëpërçuesve, ndotja e vogël mund të shkaktojë defekte të produktit. Inertiteti kimik i veshjes qeramike të karbitit të silikonit lejon që ajo të mbetet e qëndrueshme në kushte ekstreme, duke parandaluar që materiali të lëshojë grimca ose papastërti, duke siguruar kështu pastërtinë mjedisore të procesit. Kjo është veçanërisht e rëndësishme për hapat e prodhimit që kërkojnë saktësi të lartë dhe pastërti të lartë, të tilla si PECVD dhe implantimi i joneve.

Optimizoni menaxhimin termik:Në përpunimin gjysmëpërçues me temperaturë të lartë, të tilla si proceset e përpunimit të shpejtë termik (RTP) dhe oksidimi, përçueshmëria e lartë termike e Veshjes Qeramike të Silicon Carbide mundëson shpërndarje uniforme të temperaturës brenda pajisjes. Kjo ndihmon në reduktimin e stresit termik dhe deformimit të materialit të shkaktuar nga luhatjet e temperaturës, duke përmirësuar kështu saktësinë dhe qëndrueshmërinë e prodhimit të produktit.

Mbështet mjediset komplekse të procesit:Në proceset që kërkojnë kontroll kompleks të atmosferës, të tilla si proceset e gravimit ICP dhe PSS, qëndrueshmëria dhe rezistenca ndaj oksidimit të Veshjes Qeramike me Silic Carbide siguron që pajisja të mbajë performancë të qëndrueshme në funksionimin afatgjatë, duke reduktuar rrezikun e degradimit të materialit ose dëmtimit të pajisjeve për shkak të ndaj ndryshimeve mjedisore.