Dual-Damascene është një teknologji procesi që përdoret për prodhimin e ndërlidhjeve metalike në qarqet e integruara. Është një zhvillim i mëtejshëm i procesit të Damaskut. Duke formuar nëpër vrima dhe gropa në të njëjtën kohë në të njëjtin hap procesi dhe duke i mbushur ato me metal, realizohet prodhimi i integruar i ndërlidhjeve metalike.
Pse quhet Damask?
Qyteti i Damaskut është kryeqyteti i Sirisë, dhe shpatat e Damaskut janë të famshme për mprehtësinë dhe strukturën e tyre të hollë. Kërkohet një lloj procesi inkorderimi: së pari, modeli i kërkuar është gdhendur në sipërfaqen e çelikut të Damaskut dhe materialet e përgatitura paraprakisht futen fort në brazda të gdhendura. Pas përfundimit të veshjes, sipërfaqja mund të jetë pak e pabarabartë. Mjeshtri do ta lëmojë me kujdes për të siguruar butësinë e përgjithshme. Dhe ky proces është prototipi i procesit të dyfishtë të çipit të Damaskut. Së pari, brazdat ose vrimat janë gdhendur në shtresën dielektrike, dhe më pas në to mbushet metali. Pas mbushjes, metali i tepërt do të hiqet me cmp.
Hapat kryesorë të procesit të dyfishtë të damaskenit përfshijnë:
▪ Depozitimi i shtresës dielektrike:
Vendosni një shtresë të materialit dielektrik, si dioksidi i silikonit (SiO2), në gjysmëpërçuesmeshë.
▪ Fotolitografi për të përcaktuar modelin:
Përdorni fotolitografinë për të përcaktuar modelin e rrugëve dhe kanaleve në shtresën dielektrike.
▪Gravurë:
Transferoni modelin e vizave dhe llogoreve në shtresën dielektrike përmes një procesi gravimi të thatë ose të lagësht.
▪ Depozitimi i metalit:
Depozitoni metal, të tillë si bakri (Cu) ose alumini (Al), në via dhe llogore për të formuar ndërlidhje metalike.
▪ Lustrim mekanik kimik:
Lustrim mekanik kimik i sipërfaqes së metalit për të hequr metalin e tepërt dhe për të rrafshuar sipërfaqen.
Krahasuar me procesin tradicional të prodhimit të ndërlidhjes metalike, procesi i dyfishtë i damaskenit ka përparësitë e mëposhtme:
▪Hapat e thjeshtuar të procesit:duke formuar via dhe kanale në të njëjtën kohë në të njëjtin hap të procesit, hapat e procesit dhe koha e prodhimit zvogëlohen.
▪Efiçenca e përmirësuar e prodhimit:për shkak të reduktimit të hapave të procesit, procesi i dyfishtë i damaskenit mund të përmirësojë efikasitetin e prodhimit dhe të zvogëlojë kostot e prodhimit.
▪Përmirësoni performancën e ndërlidhjeve metalike:procesi i dyfishtë damasken mund të arrijë ndërlidhje më të ngushta metalike, duke përmirësuar kështu integrimin dhe performancën e qarqeve.
▪Redukton kapacitetin dhe rezistencën parazitare:duke përdorur materiale dielektrike me nivel të ulët k dhe duke optimizuar strukturën e ndërlidhjeve metalike, kapaciteti dhe rezistenca parazitare mund të reduktohen, duke përmirësuar shpejtësinë dhe performancën e konsumit të energjisë së qarqeve.
Koha e postimit: Nëntor-25-2024