CVD (Chemical Vapor Deposition) është një metodë e përdorur zakonisht për përgatitjen e veshjeve të karbitit të silikonit.Veshje karbit silikoni CVDkanë shumë karakteristika unike të performancës. Ky artikull do të prezantojë metodën e përgatitjes së veshjes së karbitit të silikonit CVD dhe karakteristikat e tij të performancës.
1. Mënyra e përgatitjes sëVeshje me karabit silikoni CVD
Metoda CVD konverton prekursorët e gaztë në veshje të ngurta karbit silikoni në kushte të temperaturës së lartë. Sipas prekursorëve të ndryshëm të gaztë, ai mund të ndahet në fazën e gazit CVD dhe fazën e lëngshme CVD.
1. CVD e fazës së avullit
Faza e avullit CVD përdor prekursorë të gaztë, zakonisht komponime organosilikonike, për të arritur rritjen e filmave të karbitit të silikonit. Komponimet organosilikon të përdorura zakonisht përfshijnë metilsilanin, dimetilsilanin, monosilanin, etj., të cilët formojnë filma karbide silikoni në nënshtresat metalike duke transportuar prekursorë të gaztë në dhomat e reagimit me temperaturë të lartë. Zonat me temperaturë të lartë në dhomën e reaksionit zakonisht krijohen nga ngrohja me induksion ose ngrohja rezistente.
2. CVD e fazës së lëngshme
CVD në fazën e lëngshme përdor një pararendës të lëngshëm, zakonisht një tretës organik që përmban silikon dhe një përbërje silanoli, i cili nxehet dhe avullohet në një dhomë reaksioni, dhe më pas një film karabit silikoni formohet në substrat përmes një reaksioni kimik.
2. Karakteristikat e performancës sëVeshje me karabit silikoni CVD
1. Performancë e shkëlqyer në temperaturë të lartë
Veshje karbit silikoni CVDofrojnë qëndrueshmëri të shkëlqyer në temperaturë të lartë dhe rezistencë ndaj oksidimit. Është i aftë të punojë në mjedise me temperaturë të lartë dhe mund t'i rezistojë kushteve ekstreme në temperatura të larta.
2. Veti të mira mekanike
Veshje me karabit silikoni CVDka fortësi të lartë dhe rezistencë të mirë ndaj konsumit. Ai mbron nënshtresat metalike nga konsumimi dhe korrozioni, duke zgjatur jetën e shërbimit të materialit.
3. Stabilitet i shkëlqyer kimik
Veshje karbit silikoni CVDjanë shumë rezistente ndaj kimikateve të zakonshme si acidet, alkalet dhe kripërat. I reziston sulmit kimik dhe korrozionit të nënshtresës.
4. Koeficienti i ulët i fërkimit
Veshje me karabit silikoni CVDka një koeficient të ulët fërkimi dhe veti të mira vetëlubrifikuese. Redukton fërkimin dhe konsumimin dhe përmirëson efikasitetin e përdorimit të materialit.
5. Përçueshmëri e mirë termike
Veshja e karabit të silikonit CVD ka veti të mira të përçueshmërisë termike. Mund të përçojë shpejt nxehtësinë dhe të përmirësojë efikasitetin e shpërndarjes së nxehtësisë së bazës metalike.
6. Karakteristikat e shkëlqyera të izolimit elektrik
Veshja e karbitit të silikonit CVD ka veti të mira izoluese elektrike dhe mund të parandalojë rrjedhjen e rrymës. Përdoret gjerësisht në mbrojtjen izoluese të pajisjeve elektronike.
7. Trashësia dhe përbërje e rregullueshme
Duke kontrolluar kushtet gjatë procesit CVD dhe përqendrimin e pararendësit, trashësia dhe përbërja e filmit të karbitit të silikonit mund të rregullohen. Kjo siguron shumë opsione dhe fleksibilitet për një sërë aplikacionesh.
Me pak fjalë, veshja e karabit të silikonit CVD ka performancë të shkëlqyer në temperaturë të lartë, veti të shkëlqyera mekanike, stabilitet të mirë kimik, koeficient të ulët të fërkimit, përçueshmëri të mirë termike dhe veti izoluese elektrike. Këto veti bëjnë që veshjet e karabit të silikonit CVD të përdoren gjerësisht në shumë fusha, duke përfshirë elektronikën, optikën, hapësirën ajrore, industrinë kimike, etj.
Koha e postimit: Mar-20-2024