Veshja e SiC mund të përgatitet me depozitim kimik të avullit (CVD), transformim pararendës, spërkatje plazmatike, etj. Veshja e përgatitur nga depozitimi i avullit KIMIK është uniforme dhe kompakte dhe ka dizajnueshmëri të mirë. Përdorimi i metil triklosilanit. (CHzSiCl3, MTS) si burim silikoni, përgatitja e veshjes SiC...
Lexo më shumë