Gjatë procesit të epitaksisë së fazës së avullit (VPE), roli i piedestalit është të mbështesë nënshtresën dhe të sigurojë ngrohje uniforme gjatë procesit të rritjes. Lloje të ndryshme të piedestaleve janë të përshtatshme për kushte të ndryshme rritjeje dhe sisteme materiale. Më poshtë janë disa nga llojet e piedestaleve të përdorura zakonisht në fazën e avullitepitaksi:
Piedestal fuçi
Piedestalet e fuçisë përdoren zakonisht në sistemet e epitaksisë së fazës së avullit horizontal ose të pjerrët. Ato mund të mbajnë nënshtresën dhe të lejojnë që gazi të rrjedhë mbi nënshtresë, gjë që ndihmon për të arritur një rritje uniforme epitaksiale.
Piedestal në formë disku (piedestal vertikal)
Piedestalet në formë disku janë të përshtatshme për sistemet vertikale të epitaksisë me fazë avulli, në të cilat nënshtresa vendoset vertikalisht. Ky dizajn ndihmon në zvogëlimin e zonës së kontaktit midis substratit dhe suceptorit, duke reduktuar kështu humbjen e nxehtësisë dhe ndotjen e mundshme.
Ndjekësi horizontal
Ndjekësit horizontalë janë më pak të zakonshëm në epitaksinë e fazës së avullit, por mund të përdoren në disa sisteme specifike të rritjes për të lejuar rritjen epitaksiale në një drejtim horizontal.
Ndjekësi monolit i reaksionit epitaksial
Ngjitësi monolit i reaksionit epitaksial është projektuar për një substrat të vetëm, i cili mund të sigurojë kontroll më të saktë të temperaturës dhe izolim më të mirë termik, i përshtatshëm për rritjen e shtresave epitaksiale me cilësi të lartë.
Mirë se vini në faqen tonë të internetit për informacion dhe konsultim mbi produktin.
Faqja jonë e internetit: https://www.vet-china.com/
Koha e postimit: Korrik-30-2024