Materiali i preferuar për pjesët precize të makinave fotolitografike
Në fushën e gjysmëpërçuesve,qeramike karabit silikonimaterialet përdoren kryesisht në pajisjet kryesore për prodhimin e qarkut të integruar, të tilla si tavolina e punës me karabit silikoni, shinat udhëzuese,reflektorët, çak thithës qeramike, krahë, disqe grirëse, pajisje, etj për makinat e litografisë.
Pjesë qeramike me karabit silikonipër pajisjet gjysmëpërçuese dhe optike
● Disk bluarjeje qeramike me karabit silikoni. Nëse disku i bluarjes është prej gize ose çeliku të karbonit, jeta e tij e shërbimit është e shkurtër dhe koeficienti i zgjerimit termik është i madh. Gjatë përpunimit të vaferës së silikonit, veçanërisht gjatë bluarjes ose lustrimit me shpejtësi të lartë, konsumimi dhe deformimi termik i diskut të bluarjes e bëjnë të vështirë sigurimin e rrafshësisë dhe paralelizmit të vaferës së silikonit. Disku bluar i bërë nga qeramika e karbitit të silikonit ka fortësi të lartë dhe konsum të ulët, dhe koeficienti i zgjerimit termik është në thelb i njëjtë me atë të vaferave të silikonit, kështu që mund të bluhet dhe lustrohet me shpejtësi të lartë.
● Pajisje qeramike me karabit silikoni. Përveç kësaj, kur prodhohen vafera silikoni, ato duhet t'i nënshtrohen trajtimit të nxehtësisë në temperaturë të lartë dhe shpesh transportohen duke përdorur pajisje karabit silikoni. Ato janë rezistente ndaj nxehtësisë dhe jo shkatërruese. Karboni i ngjashëm me diamantin (DLC) dhe veshje të tjera mund të aplikohen në sipërfaqe për të përmirësuar performancën, për të lehtësuar dëmtimin e vaferës dhe për të parandaluar përhapjen e ndotjes.
● Tabela e punës me karabit silikoni. Duke marrë si shembull tavolinën e punës në makinën e litografisë, tavolina e punës është kryesisht përgjegjëse për përfundimin e lëvizjes së ekspozimit, duke kërkuar lëvizje me shpejtësi të lartë, me goditje të madhe, me gjashtë shkallë lirie në nivel nano me ultra precizion. Për shembull, për një makinë litografie me një rezolucion prej 100 nm, një saktësi mbivendosjeje prej 33 nm dhe një gjerësi rreshti prej 10 nm, saktësia e pozicionimit të tryezës së punës kërkohet të arrijë 10 nm, shpejtësia e njëkohshme e hapjes dhe skanimit të maskës-wafer silikoni është 150 nm/s. dhe 120 nm/s përkatësisht, dhe shpejtësia e skanimit të maskës është afër 500 nm/s, dhe tavolina e punës kërkohet të ketë saktësi dhe stabilitet shumë të lartë të lëvizjes.
Diagrami skematik i tryezës së punës dhe i tabelës së mikrolëvizjes (seksion i pjesshëm)
● Pasqyrë katrore qeramike karabit silikoni. Komponentët kryesorë në pajisjet kyçe të qarkut të integruar si makinat e litografisë kanë forma komplekse, dimensione komplekse dhe struktura të zbrazëta të lehta, duke e bërë të vështirë përgatitjen e përbërësve të tillë qeramikë të karbitit të silikonit. Aktualisht, prodhuesit kryesorë ndërkombëtarë të pajisjeve të qarkut të integruar, si ASML në Holandë, NIKON dhe CANON në Japoni, përdorin një sasi të madhe materialesh si qelqi mikrokristalor dhe kordieriti për të përgatitur pasqyra katrore, përbërësit kryesorë të makinave litografike dhe përdorin karabit silikoni qeramika për të përgatitur përbërës të tjerë strukturorë me performancë të lartë me forma të thjeshta. Megjithatë, ekspertët nga Instituti i Kërkimit të Materialeve të Ndërtimit në Kinë kanë përdorur teknologjinë e përgatitjes së pronarit për të arritur përgatitjen e pasqyrave katrore qeramike qeramike me karabit silikoni me përmasa të mëdha, në formë komplekse, shumë të lehta, të mbyllura plotësisht dhe përbërës të tjerë optikë strukturorë dhe funksionalë për makineritë e litografisë.
Koha e postimit: Tetor-10-2024