Energjisë AAPMbartësi i grafitit të procesit PECVD është një material konsumues me cilësi të lartë i përshtatur për procesin PECVD (depozitimi kimik i avullit të përmirësuar në plazmë). Ky bartës grafiti është bërë nga material grafiti me pastërti të lartë, me densitet të lartë, me rezistencë të shkëlqyer ndaj temperaturës së lartë, rezistencë ndaj korrozionit, stabilitet dimensional dhe karakteristika të tjera, mund të sigurojë një platformë të qëndrueshme bartëse për procesin PECVD, për të siguruar uniformitetin dhe rrafshimin e filmit të hollë depozitimi.
Bartësit e grafitit për procesin PECVD kanë karakteristikat e mëposhtme:
▪ Pastërti e lartë: përmbajtje jashtëzakonisht e ulët papastërtie, duke shmangur kontaminimin e filmit dhe duke siguruar cilësinë e filmit.
▪ Dendësi e lartë: dendësi e lartë, forcë e lartë mekanike, e aftë për t'i bërë ballë temperaturave të larta dhe presionit të lartë mjedis PECVD.
▪ Qëndrueshmëri e mirë dimensionale: ndryshim i vogël dimensional në temperaturë të lartë, duke siguruar stabilitet të procesit.
▪ Përçueshmëri e shkëlqyer termike: transferoni në mënyrë efektive nxehtësinë për të parandaluar mbinxehjen e vaferës.
▪ Rezistencë e fortë ndaj korrozionit: në gjendje t'i rezistojë erozionit nga gazra të ndryshëm gërryes dhe plazma.
▪ Shërbimi i personalizuar: bartës grafiti të madhësive dhe formave të ndryshme mund të personalizohen sipas nevojave të klientit.
Materiali grafit nga SGL:
Parametri tipik: R6510 | |||
Indeksi | Standardi i testimit | Vlera | Njësia |
Madhësia mesatare e kokrrës | ISO 13320 | 10 | μm |
Dendësia e masës | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
Poroziteti i hapur | DIN66133 | 10 | % |
Madhësia mesatare e poreve | DIN66133 | 1.8 | μm |
Përshkueshmëria | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
Fortësia Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Rezistenca elektrike specifike | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
Forca në përkulje | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Rezistenca në shtypje | DIN 51910 | 130 | MPa |
Moduli i Young | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
Zgjerimi termik (20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
Përçueshmëri termike (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Është projektuar posaçërisht për prodhimin e qelizave diellore me efikasitet të lartë, duke mbështetur përpunimin e vaferës me madhësi të madhe G12. Dizajni i optimizuar i transportuesit rrit ndjeshëm xhiros, duke mundësuar norma më të larta rendimenti dhe kosto më të ulëta prodhimi.
Artikulli | Lloji | Mbajtëse meshë me numra |
Varkë PEVCD Grephite - Seria 156 | 156-13 varkë grefite | 144 |
156-19 varkë grefite | 216 | |
156-21 varkë grefite | 240 | |
156-23 varkë grafiti | 308 | |
Varkë PEVCD Grephite - Seria 125 | 125-15 varkë grefite | 196 |
125-19 varkë grefite | 252 | |
125-21 varkë grfite | 280 |