Kërkesat e industrisë gjysmëpërçuese të materialeve grafit janë veçanërisht të larta, madhësia e grimcave të imta të grafitit ka saktësi të lartë, rezistencë ndaj temperaturës së lartë, forcë të lartë, humbje të vogla dhe avantazhe të tjera, të tilla si: myk i produkteve të grafitit të sinterizuar.Për shkak se pajisjet e grafitit të përdorura në industrinë e gjysmëpërçuesve (përfshirë ngrohësit dhe makineritë e tyre të sinterizuara) kërkohen t'i rezistojnë proceseve të përsëritura të ngrohjes dhe ftohjes, për të zgjatur jetën e shërbimit të pajisjeve të grafitit, zakonisht kërkohet që materialet e grafitit të përdorur të kenë performancë të qëndrueshme. dhe funksionin e ndikimit rezistent ndaj nxehtësisë.
01 Aksesorë grafiti për rritjen e kristaleve gjysmëpërçuese
Të gjitha proceset e përdorura për rritjen e kristaleve gjysmëpërçuese funksionojnë në temperatura të larta dhe mjedis gërryes. Zona e nxehtë e furrës së rritjes së kristalit zakonisht është e pajisur me përbërës grafiti me pastërti të lartë rezistente ndaj nxehtësisë dhe rezistente ndaj korrozionit, të tilla si ngrohës, kavanoz, cilindri izolues, cilindri udhëzues, elektrodë, mbajtës i kavanozit, arrë elektrodë, etj.
Ne mund të prodhojmë të gjitha pjesët e grafitit të pajisjeve të prodhimit të kristalit, të cilat mund të furnizohen individualisht ose në grupe, ose pjesë grafiti të personalizuara të madhësive të ndryshme sipas kërkesave të klientit. Madhësia e produkteve mund të matet në vend, dhe përmbajtja e hirit të produkteve të gatshme mund të jetë më e vogëlse 5 ppm.
02 Aksesorë grafiti për epitaksinë gjysmëpërçuese
Procesi epitaksial i referohet rritjes së një shtrese të materialit një kristal me të njëjtin rregullim grilë si nënshtresa në nënshtresën e vetme kristalore. Në procesin epitaksial, vaferi ngarkohet në diskun e grafitit. Performanca dhe cilësia e diskut grafit luajnë një rol jetik në cilësinë e shtresës epitaksiale të vaferës. Në fushën e prodhimit epitaksial nevojiten shumë grafit me pastërti ultra të lartë dhe bazë grafiti me pastërti të lartë me veshje SIC.
Baza e grafitit të kompanisë sonë për epitaksinë gjysmëpërçuese ka një gamë të gjerë aplikimesh, mund të përputhet me shumicën e pajisjeve të përdorura zakonisht në industri dhe ka pastërti të lartë, veshje uniforme, jetëgjatësi të shkëlqyer shërbimi dhe rezistencë të lartë kimike dhe stabilitet termik.
03 Aksesorë grafiti për implantimin e joneve
Implantimi i joneve i referohet procesit të përshpejtimit të rrezes plazmatike të borit, fosforit dhe arsenikut në një energji të caktuar, dhe më pas injektimit të tij në shtresën sipërfaqësore të materialit vafer për të ndryshuar vetitë materiale të shtresës sipërfaqësore. Komponentët e pajisjes së implantimit të joneve duhet të bëhen nga materiale me pastërti të lartë me rezistencë të shkëlqyer ndaj nxehtësisë, përçueshmëri termike, më pak korrozion të shkaktuar nga rreze jonike dhe përmbajtje të ulët papastërtie. Grafiti me pastërti të lartë plotëson kërkesat e aplikimit dhe mund të përdoret për tubin e fluturimit, çarjet e ndryshme, elektrodat, mbulesat e elektrodave, kanalet, terminatorët e rrezeve, etj. të pajisjeve të implantimit të joneve.
Ne jo vetëm që mund të sigurojmë mbulesë mbrojtëse grafiti për makina të ndryshme të implantimit të joneve, por gjithashtu sigurojmë elektroda grafiti me pastërti të lartë dhe burime jonesh me rezistencë të lartë ndaj korrozionit të specifikimeve të ndryshme. Modelet e aplikueshme: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM dhe pajisje të tjera. Përveç kësaj, ne mund të ofrojmë gjithashtu produkte qeramike, tungsteni, molibdeni, alumini dhe pjesë të veshura që përputhen.
04 Materialet izoluese të grafitit dhe të tjera
Materialet termoizoluese të përdorura në pajisjet e prodhimit të gjysmëpërçuesve përfshijnë ndjesinë e fortë të grafitit, ndjesinë e butë, fletën e grafitit, letrën grafit dhe litarin grafit.
Të gjitha lëndët tona të para janë grafit të importuar, i cili mund të pritet sipas madhësisë specifike të kërkesave të klientit ose të shitet në tërësi.
Tabaka karbon-karbon përdoret si bartës për veshjen e filmit në procesin e prodhimit të silikonit monokristalor diellor dhe qelizave të silikonit polikristalor. Parimi i punës është: futni çipin e silikonit në tabaka CFC dhe dërgojeni në tubin e furrës për të përpunuar veshjen e filmit.
