Susceptor fuçi Epi Grafit Epitaksial
Susceptor fuçi Epi Grafit Epitaksialështë një pajisje mbështetëse dhe ngrohëse e projektuar posaçërisht që përdoret për të mbajtur dhe ngrohur nënshtresat gjysmëpërçuese gjatë proceseve të prodhimit si proceset e depozitimit ose epitaksisë.
Struktura e saj përfshin zakonisht cilindrike ose pak fuçi, sipërfaqësore përmban xhepa të shumtë ose platforma për vendosjen e vaferave, mund të jetë dizajn i fortë ose i zbrazët, në varësi të metodës së ngrohjes.
Funksionet kryesore të suceptorit epitaksial të fuçisë:
-Mbështetje e nënshtresës: mban në mënyrë të sigurt vaferat e shumta gjysmëpërçuese;
-Burimi i nxehtësisë: siguron temperatura të larta të nevojshme për rritje përmes ngrohjes;
-Uniformiteti i temperaturës: siguron ngrohje uniforme të nënshtresave;
-Rrotullimi: zakonisht rrotullohet gjatë rritjes për të përmirësuar temperaturën dhe uniformitetin e shpërndarjes së gazit.
Parimi i funksionimit të suceptorit të fuçisë së grafitit Epi:
- Në reaktorin epitaksial, suceptori i fuçisë nxehet në temperaturën e kërkuar (zakonisht 1000℃-1200℃ për epitaksinë e silikonit);
-Ambjenti i fuçisë rrotullohet për të siguruar shpërndarje uniforme të temperaturës dhe rrjedhje të gazit;
-Gazet e reaksionit dekompozohen ne temperatura te larta, duke formuar shtresa epitaksiale ne siperfaqen e nenshtreses.
Aplikimet:
- Përdoret kryesisht për rritjen epitaksiale të silikonit
-E aplikueshme edhe për epitaksinë e materialeve të tjera gjysmëpërçuese si GaAs, InP, etj.
VET Energy përdor grafit me pastërti të lartë me veshje CVD-SiC për të rritur stabilitetin kimik:
Përparësitë e Susceptorit Epitaxial Epi Grafit të Futisë së Energjisë VET:
- Qëndrueshmëri në temperaturë të lartë;
-Uniformitet i mirë termik;
-Mund të përpunojë shumë substrate në të njëjtën kohë, duke përmirësuar efikasitetin e prodhimit;
-Kimikisht inerte, duke ruajtur një mjedis rritjeje me pastërti të lartë.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd është një ndërmarrje e teknologjisë së lartë që fokusohet në prodhimin dhe shitjen e materialeve të avancuara të nivelit të lartë, materialeve dhe teknologjisë duke përfshirë grafitin, karabitin e silikonit, qeramikën, trajtimin sipërfaqësor si veshje SiC, veshje TaC, karbon të qelqtë veshje, veshje me karbon pirolitik, etj., Këto produkte përdoren gjerësisht në fotovoltaike, gjysmëpërçuese, energji të re, metalurgji, etj.
Ekipi ynë teknik vjen nga institucionet më të mira kërkimore vendase, dhe ka zhvilluar teknologji të shumta të patentuara për të siguruar performancën dhe cilësinë e produktit, gjithashtu mund t'u ofrojë klientëve zgjidhje materiale profesionale.
Ju mirëpresim ngrohtësisht të vizitoni laboratorin dhe fabrikën tonë për diskutime dhe bashkëpunime teknike!