Susceptor fuçi Epi Grafit Epitaksial

Susceptor fuçi Epi Grafit Epitaksial

Susceptor fuçi Epi Grafit Epitaksialështë një pajisje mbështetëse dhe ngrohëse e projektuar posaçërisht që përdoret për të mbajtur dhe ngrohur nënshtresat gjysmëpërçuese gjatë proceseve të prodhimit si proceset e depozitimit ose epitaksisë.

Struktura e saj përfshin zakonisht cilindrike ose pak fuçi, sipërfaqësore përmban xhepa të shumtë ose platforma për vendosjen e vaferave, mund të jetë dizajn i fortë ose i zbrazët, në varësi të metodës së ngrohjes.

Funksionet kryesore të suceptorit epitaksial të fuçisë:

-Mbështetje e nënshtresës: mban në mënyrë të sigurt vaferat e shumta gjysmëpërçuese;
-Burimi i nxehtësisë: siguron temperatura të larta të nevojshme për rritje përmes ngrohjes;
-Uniformiteti i temperaturës: siguron ngrohje uniforme të nënshtresave;
-Rrotullimi: zakonisht rrotullohet gjatë rritjes për të përmirësuar temperaturën dhe uniformitetin e shpërndarjes së gazit.

Parimi i funksionimit të suceptorit të fuçisë së grafitit Epi:
- Në reaktorin epitaksial, suceptori i fuçisë nxehet në temperaturën e kërkuar (zakonisht 1000℃-1200℃ për epitaksinë e silikonit);
-Ambjenti i fuçisë rrotullohet për të siguruar shpërndarje uniforme të temperaturës dhe rrjedhje të gazit;
-Gazet e reaksionit dekompozohen ne temperatura te larta, duke formuar shtresa epitaksiale ne siperfaqen e nenshtreses.

Aplikimet:
- Përdoret kryesisht për rritjen epitaksiale të silikonit
-E aplikueshme edhe për epitaksinë e materialeve të tjera gjysmëpërçuese si GaAs, InP, etj.

VET Energy përdor grafit me pastërti të lartë me veshje CVD-SiC për të rritur stabilitetin kimik:

Përparësitë e Susceptorit Epitaxial Epi Grafit të Futisë së Energjisë VET:

- Qëndrueshmëri në temperaturë të lartë;
-Uniformitet i mirë termik;
-Mund të përpunojë shumë substrate në të njëjtën kohë, duke përmirësuar efikasitetin e prodhimit;
-Kimikisht inerte, duke ruajtur një mjedis rritjeje me pastërti të lartë.