Waa maxay habka qorshaynta ee CMP?

Dual-Damascene waa tignoolajiyada geeddi-socod ee loo isticmaalo in lagu soo saaro isku xidhka birta ee wareegyada isku dhafan. Waa horumar dheeraad ah oo ku saabsan geeddi-socodka Dimishiq. Iyadoo la samaynayo godadka iyo godadka isla mar ahaantaana isla tilaabada habka isku midka ah iyo buuxinta birta, wax soo saarka isku-dhafka ah ee isku-xirnaanta birta ayaa la ogaaday.

Maxaa Dimishaq loogu yeedhay?

Magaalada Dimishiq waa caasimadda Suuriya, seefta Dimishiqna waxay caan ku tahay fiiqan iyo muuqaal qurxoon. Nooc ka mid ah geeddi-socodka soo-gelinta ayaa loo baahan yahay: marka hore, qaabka loo baahan yahay ayaa lagu xardhay dusha sare ee birta Dimishiq, iyo walxaha horay loo sii diyaariyay ayaa si adag loogu dhejiyaa jeexjeexyada xardhan. Ka dib marka la soo galo la dhammeeyo, dusha sare waxa laga yaabaa in uu yara sinnayn. Farsamoyaqaanku wuxuu si taxadar leh u nadiifin doonaa si uu u hubiyo simanaanta guud. Habkanina waa tusaalaha geeddi-socodka Dimishiq ee laba-geesoodka ah. Marka hore, godadka ama godadka ayaa lagu xardhay lakabka dielectric, ka dibna birta ayaa lagu buuxiyaa iyaga. Buuxinta ka dib, biraha dheeraadka ah waxaa laga saari doonaa cmp.

Tillaabooyinka ugu muhiimsan ee geeddi-socod-damascene-ka laba-geesoodka ah waxaa ka mid ah:

▪ Dhigista lakabka dielectric:

Ku rid lakabka walxaha dielectric, sida silikoon dioxide (SiO2), semiconductorwafer.

▪ Sawir-qaadis si loo qeexo qaabka:

Isticmaal sawir-qaadista si aad u qeexdo qaabka fiisaha iyo jeexjeexyada lakabka dielectric.

▪xoqin:

Ku wareeji qaabka fiisaha iyo jeexjeexyada lakabka dielectric iyada oo loo marayo habka xoqidda qallalan ama qoyan.

▪ Dhigista birta:

Dhig biraha, sida naxaasta (Cu) ama aluminium (Al), gudaha vias iyo godad si ay u sameeyaan isku xidhka biraha.

Naaxinta makaanikada kiimikada:

Naaxinta kiimikada ee dusha birta ah si looga saaro birta xad dhaafka ah oo loo baneeyo oogada.

Marka la barbar dhigo habka wax soo saarka birta ee caadiga ah ee isku xidhka isku xidhka, geeddi-socodka damascene dual wuxuu leeyahay faa'iidooyinka soo socda:

Tallaabooyinka habraaca la fududeeyay:Iyadoo la samaynayo vias iyo godad isku mar ah in tallaabo hab isku mid ah, tallaabooyinka habka iyo wakhtiga wax soo saarka waa la dhimay.

Hufnaanta wax soo saarka oo la hagaajiyay:iyadoo ay ugu wacan tahay dhimista tillaabooyinka geeddi-socodka, geeddi-socodka dammascene-ka ee laba-geesoodka ah wuxuu wanaajin karaa waxtarka wax-soo-saarka wuxuuna yareyn karaa kharashyada wax-soo-saarka.

▪Hagaajinta waxqabadka biraha isku xidha:Habka Damascene-ka laba-geesoodka ah wuxuu gaari karaa isku xirnaanta birta ah ee dhuuban, taas oo hagaajinaysa isdhexgalka iyo waxqabadka wareegyada.

▪Yaree awoodda dulinka iyo caabbinta:iyadoo la isticmaalayo qalab dielectric hoose-k iyo hagaajinta qaab-dhismeedka biraha isku xidha, capacitance dulinka iyo caabbinta waa la dhimi karaa, hagaajinta xawaaraha iyo waxqabadka isticmaalka awoodda wareegyada.