Waa maxay faraqa u dhexeeya PECVD iyo LPCVD ee qalabka CVD semiconductor?

Dhigashada uumiga kiimikada (CVD) waxaa loola jeedaa habka loo dhigo filim adag oo ku yaal dusha sare ee silikonwaferiyada oo loo marayo fal-celin kiimikaad oo gaas isku dhafan ah. Marka loo eego xaaladaha falcelinta kala duwan (cadaadiska, horudhaca), waxaa loo qaybin karaa noocyo kala duwan oo qalab ah.

Waa maxay hababka labadan qalab loo isticmaalo?

PECVD(Plasma Enhanced) Qalabku waa kan ugu tirada badan uguna badan ee la isticmaalo, ee loo isticmaalo OX, Nitride, albaabka birta, kaarboonka amorphous, iwm.; LPCVD (Awood hoose) waxaa badanaa lagu isticmaalaa Nitride, poly, TEOS.
Waa maxay mabda'a?
PECVD- waa nidaam si fiican isugu dara tamarta balaasmaha iyo CVD. Tiknoolajiyada PECVD waxay isticmaashaa balaasmaha heerkulka hooseeya si ay u keento dareere dhalaal ah oo ka yimaada qolka nidaamka (tusaale, saxaarad muunada) oo cadaadis hooseeya. Dheecaan dhalaalaysa ama qalabka kale ee kulaylinta ayaa kor u qaadi kara heerkulka muunada ilaa heer hore loo sii go'aamiyay, ka dibna soo bandhigo qadar la kontoroolo oo gaasta habka. Gaaskan waxa uu maraa falcelin kiimiko iyo balasma oo taxane ah, ugu dambayntiina waxa uu samaysaa filim adag oo dusha sare ee muunadda.

LPCVD - Dhigista uumiga kiimikada ee cadaadiska hooseeya (LPCVD) waxaa loogu talagalay in lagu yareeyo cadaadiska hawlgalka gaaska falcelinta ee reactor ilaa 133Pa ama ka yar.

Waa maxay sifooyinka mid kasta?

PECVD - Nidaam si fiican isugu dara tamarta balaasmaha iyo CVD: 1) Hawlgalka heerkulka hooseeya (ka fogaanshaha heerkulka sare ee dhaawaca qalabka); 2) Kobaca filimada degdega ah; 3) Aan ka door bideynin alaabta, OX, Nitride, albaabka birta, kaarboon amorphous dhammaan way koraan; 4) Waxaa jira nidaam la socodka goobta, kaas oo hagaajin kara cuntada iyada oo loo marayo xuduudaha ion, heerka socodka gaaska, heerkulka iyo dhumucda filimka.
LPCVD - Filimada khafiifka ah ee ay dhigato LPCVD waxay yeelan doonaan caynsanaan tillaabo oo wanaagsan, kontorool qaabdhismeedka wanaagsan, heerka dhigaalka sare iyo wax soo saarka. Intaa waxaa dheer, LPCVD uma baahna gaaska side, sidaas darteed waxay si weyn u yaraynaysaa isha wasakhowga walxaha waxaana si ballaaran loogu isticmaalaa warshadaha semiconductor-ka qiimaha sare leh ee dhigista filimka khafiifka ah.

 

Ku soo dhawoow macaamiil kasta oo adduunka oo dhan ka yimid si ay noogu soo booqdaan dood dheeraad ah!

https://www.vet-china.com/

https://www.vet-china.com/cvd-coating/

https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/