Foornada kareemka ah ee keli ah waa aalad adeegsata akuleyliyaha graphitein lagu dhalaaliyo walxaha silikoonka ee polycrystalline ee gaaska aan shaqaynayn (argon) oo ay isticmaalaan habka Czochralski si ay u koraan kiristaalo aan kala go'in. Waxay inta badan ka kooban tahay hababka soo socda:
Nidaamka gudbinta makaanikada
Nidaamka gudbinta farsamada waa nidaamka hawlgalka aasaasiga ah ee foornada hal crystal, kaas oo inta badan mas'uul ka ah xakamaynta dhaqdhaqaaqa kiristaalo iyosaliib, oo ay ku jiraan kor u qaadista iyo wareejinta kiristaalo abuurka iyo kor u qaadida iyo wareejintasaliib. Waxay si sax ah u hagaajin kartaa xuduudaha sida booska, xawaaraha iyo xagasha wareega ee crystals iyo crucibles si loo hubiyo horumarka siman ee habka koritaanka crystal. Tusaale ahaan, heerarka kala duwan ee koritaanka crystal sida abuurka, qoorta, garbaha, koritaanka dhexroor siman iyo dabada, dhaqdhaqaaqa kiristaalo abuurka iyo crucibles u baahan yahay in si sax ah loo xakameeyo nidaamka this si loo buuxiyo shuruudaha habka koritaanka crystal.
Nidaamka xakamaynta heerkulka kuleylka
Tani waa mid ka mid ah nidaamyada asaasiga ah ee foornada quraaradda ah, taas oo loo isticmaalo in lagu dhaliyo kulayl iyo si sax ah loo xakameeyo heerkulka foornada. Waxay inta badan ka kooban tahay qaybo ay ka mid yihiin kuleyliyeyaasha, dareemayaasha heerkulka, iyo kuwa heerkulka ilaaliya. Kuleyliyaha waxaa badanaa laga sameeyaa maaddooyin sida garaafka saafiga ah ee sarreeya. Ka dib marka isbeddelka beddelka ah la beddelo oo la yareeyo si loo kordhiyo hadda, kuleyliyuhu wuxuu dhaliyaa kuleyl si uu u dhalaaliyo walxaha polycrystalline sida polysilicon ee ku jira qashinka. Dareemka heerkulku wuxuu kormeeraa isbeddelka heerkulka foornada wakhtiga dhabta ah wuxuuna u gudbiyaa calaamada heerkulka heerkulka heerkulka. Xakamaynta heerkulku waxay si sax ah u xakameysaa awooda kuleylka iyadoo loo eegayo cabbirada heerkulka la dejiyay iyo calaamada heerkulka jawaab celinta, si loo ilaaliyo xasilloonida heerkulka foornada iyo bixinta jawi heerkul ku habboon koritaanka crystal.
Nidaamka faaruqinta
Shaqada ugu weyn ee nidaamka faakuumka waa in la abuuro oo la ilaaliyo jawi faaruq ah foornada inta lagu jiro habka koritaanka crystal. Hawada iyo gaaska wasakhda ah ee ku jira foornada waxaa lagu soo saaraa matoorada faakuumka iyo qalabyada kale si cadaadiska gaaska foornada looga dhigo heer aad u hooseeya, guud ahaan ka hooseeya 5TOR (torr). Tani waxay ka hortagi kartaa walxaha silikoon in laga dhigo oxidized heerkulka sare waxayna hubisaa nadiifnimada iyo tayada koritaanka crystal. Isla mar ahaantaana, deegaanka faakuumku wuxuu sidoo kale ku haboon yahay in laga saaro wasakhda kacsan ee ka dhalata inta lagu jiro habka koritaanka crystal iyo hagaajinta tayada crystal.
Nidaamka argon
Nidaamka argon wuxuu door ka ciyaaraa ilaalinta iyo xakamaynta cadaadiska foornada ee foornada kareemka ah ee hal-abuurka ah. Ka dib marka la nadiifiyo, gaaska argon-nadiifinta sare leh (nadiiftu waa inay ka sareysaa 6 9) ayaa lagu buuxiyaa foornada. Dhinaca kale, waxay ka hortagi kartaa hawada ka baxsan inay soo gasho foornada waxayna ka hortagtaa walxaha silikoon ee ka soo baxa; dhanka kale, buuxinta gaaska argon waxay ilaalin kartaa cadaadiska foornada oo xasiloon waxayna bixisaa jawi cadaadis ku habboon koritaanka crystal. Intaa waxaa dheer, socodka gaaska argon wuxuu sidoo kale ka qaadi karaa kulaylka ka dhasha habka korriinka kristanta, isagoo ciyaaraya door qaboojin gaar ah.
Nidaamka qaboojinta biyaha
Shaqada nidaamka qaboojinta biyaha waa in la qaboojiyo qaybaha kala duwan ee heerkulka sare ee foornada quraaradda ah si loo hubiyo hawlgalka caadiga ah iyo nolosha adeegga qalabka. Inta lagu jiro hawlgalka foornada crystal-ka ah, kuleyliyaha,cufan, electrode iyo qaybaha kale ayaa dhalin doona kulayl badan. Haddii aan la qaboojin wakhtigeeda, qalabku wuu kululaanayaa, wuu qallafsan yahay ama xataa wuu dhaawacmi doonaa. Nidaamka qaboojinta biyuhu waxay kaxeeyaan kulaylka qaybahan iyagoo wareegaya biyaha qaboojinta si heerkulka qalabka loogu ilaaliyo meel badbaado leh. Isla mar ahaantaana, nidaamka qaboojinta biyaha ayaa sidoo kale gacan ka geysan kara hagaajinta heerkulka foornada si loo hagaajiyo saxnaanta xakamaynta heerkulka.
Nidaamka xakamaynta korantada
Nidaamka xakamaynta korantada waa "maskaxda" ee foornada kareemka ah ee keli ah, oo mas'uul ka ah la socodka iyo xakamaynta hawlgalka qalabka oo dhan. Waxay ka heli kartaa calaamadaha dareemayaasha kala duwan, sida dareemayaasha heerkulka, dareemayaasha cadaadiska, dareemayaasha booska, iwm., iyo iskudubarid iyo xakameynaya nidaamka gudbinta farsamada, kuleylka kuleylka kuleylka, nidaamka vacuum, nidaamka argon iyo nidaamka qaboojinta biyaha ee ku salaysan calaamadahan. Tusaale ahaan, inta lagu jiro geeddi-socodka kobaca kristanta, nidaamka xakamaynta korantada wuxuu si toos ah u hagaajin karaa awoodda kuleyliyaha iyadoo loo eegayo calaamada heerkulka ay dib u soo celiso dareenka heerkulka; marka loo eego korriinka crystal-ka, waxa ay xakamayn kartaa xawliga dhaqdhaqaaqa iyo xagasha wareega ee crystal abuurka iyo crucible. Isla mar ahaantaana, nidaamka kontoroolka korantada ayaa sidoo kale leh cilladda ogaanshaha iyo hawlaha digniinta, kaas oo ogaan kara xaaladaha aan caadiga ahayn ee qalabka wakhtiga iyo hubinta hawlgalka badbaadada ee qalabka.
Waqtiga post: Seb-23-2024