Qaar ka mid ah walxaha dabiiciga ah iyo kuwa aan noolaha ahayn ayaa looga baahan yahay inay ka qaybqaataan wax soo saarka semiconductor. Intaa waxaa dheer, tan iyo habka mar walba lagu fuliyaa qol nadiif ah oo leh ka qaybgalka bini'aadamka, semiconductorwaferswaa lama huraan inay wasakheeyaan wasakhyo kala duwan.
Sida laga soo xigtay isha iyo dabeecadda wasakhda, qiyaas ahaan waxaa loo qaybin karaa afar qaybood: Qaybaha, walxaha organic, ions birta iyo oxides.
1. Qaybaha:
Qaybaha ayaa inta badan ah qaar ka mid ah polymers, photoresisists iyo wasakhyada etching.
Wasakhowga noocan oo kale ah waxay inta badan ku tiirsan yihiin xoogagga intermolecular si ay ugu dhajiyaan dusha sare ee waferka, taas oo saameynaysa samaynta jaantusyada joomatari iyo xuduudaha korantada ee habka sawir-qaadista qalabka.
Wasakhowga noocan oo kale ah ayaa inta badan laga saaraa iyadoo si tartiib tartiib ah loo yareynayo aagga ay la xiriiraan dusha sare ee xuubkawaferiyada oo loo marayo hababka jirka ama kiimikada.
2. Waxyaabaha dabiiciga ah:
Ilaha wasakhda dabiiciga ah waa mid aad u ballaaran, sida saliidda maqaarka bini'aadamka, bakteeriyada, saliidda mashiinka, dufanka vacuum, photoresist, dareeraha nadiifinta, iwm.
Wasakhaynta noocan oo kale ah waxay inta badan sameeyaan filim dabiici ah oo ku yaal dusha sare ee waferka si looga hortago in dareeraha nadiifinta uu gaaro dusha sare ee waferka, taasoo keenta nadiifinta aan dhamaystirnayn ee dusha waferka.
Ka saarista wasakhda noocan oo kale ah waxaa badanaa lagu fuliyaa tallaabada ugu horreysa ee habka nadiifinta, inta badan iyadoo la adeegsanayo hababka kiimikada sida sulfuric acid iyo hydrogen peroxide.
3. Biraha birta:
Wasaqda caadiga ah ee birta waxaa ka mid ah birta, naxaasta, aluminium, chromium, cast iron, titanium, sodium, potassium, lithium, iwm. Ilaha ugu muhiimsan waa maacuunta kala duwan, tuubooyinka, reagents kiimikaad, iyo wasakhowga birta ah ee abuurma marka isku xirka biraha la sameeyo inta lagu jiro farsamaynta.
Nijaasta noocan ah waxaa inta badan laga saaraa hababka kiimikaad iyada oo loo marayo samaynta dhismooyinka ion birta.
4. oksaydh:
Marka semiconductorwaferswaxay la kulmaan bay'ad ka kooban ogsijiin iyo biyo, lakabka oksaydh ee dabiiciga ah ayaa ka samaysan doona dusha sare. Filimkan oksaydhisku waxa uu hor istaagi doonaa habab badan oo wax-soo-saarka semiconductor-ka ah waxana uu sidoo kale ka kooban yahay wasakh biraha qaarkood. Xaaladaha qaarkood, waxay samayn doonaan cillado koronto.
Ka saarista filimkan oksaydhka ah ayaa inta badan lagu dhammeeyaa iyada oo lagu qooyay acid hydrofluoric.
Nidaamka nadiifinta guud
Nijaasaha ayaa lagu dhajiyay dusha sare ee semiconductorwaferswaxaa loo qaybin karaa saddex nooc: molecular, ionic iyo atomic.
Waxaa ka mid ah, awoodda wax-ku-qabashada ee u dhaxaysa wasakhda molecular iyo dusha sare ee waferku waa mid daciif ah, iyo nooca walxaha wasakhda ah waa mid sahlan in la saaro. Waxay u badan yihiin wasakh saliid leh oo leh sifooyinka hydrophobic, kuwaas oo bixin kara waji-xidhka ion iyo nijaasta atomiga ee wasakhaysa dusha sare ee waferrada semiconductor, taas oo aan ku haboonayn in laga saaro labadan nooc ee wasakhda ah. Sidaa darteed, marka si kiimiko ah loo nadiifiyo waferrada semiconductor, wasakhda molecular waa in marka hore meesha laga saaraa.
Sidaa darteed, nidaamka guud ee semiconductorwaferHabka nadiifinta waa:
De-molecularization-deionization-de-atomization-deionized biyaha luqluqashada
Intaa waxaa dheer, si meesha looga saaro lakabka oksaydhka dabiiciga ah ee dusha sare ee waferka, tallaabada qoynta amino acid-ka-dabiici ah ayaa loo baahan yahay in lagu daro. Sidaa darteed, fikradda nadiifinta waa in marka hore laga saaro wasakhowga organic ee dusha sare; ka dibna milaan lakabka oksaydhka; ugu dambeyntii ka saar walxaha iyo wasakhowga birta, oo isku mar ka saar dusha sare.
Hababka nadiifinta caadiga ah
Hababka kiimikooyinka waxaa badanaa loo isticmaalaa nadiifinta waferrada semiconductor.
Nadiifinta kiimikada waxaa loola jeedaa habka loo isticmaalo reagents kiimikaad kala duwan iyo dareerayaasha organic si ay uga falceliyaan ama u milmaan wasakhda iyo wasakhda saliidda ee dusha sare ee waferka si ay u nadiifiyaan wasakhda, ka dibna ku raaci qadar badan oo nadiif ah oo nadiif ah oo kulul iyo biyo qabow si loo helo dusha nadiif ah.
Nadiifinta kiimikada waxaa loo qaybin karaa nadiifinta kiimikaad qoyan iyo nadiifinta kiimikaad qalalan, kuwaas oo nadiifinta kiimikada qoyan ay weli tahay mid sareysa.
Nadiifinta kiimikada qoyan
1. Nadiifinta kiimikada qoyan:
Nadiifinta kiimikada qoyan waxaa inta badan ka mid ah i dhexgalka xalalka, xoqida farsamada, nadiifinta ultrasonic, nadiifinta megasonic, buufinta wareega, iwm.
2. Dhexgelinta xalka:
Immersion Xalku waa habka meesha looga saaro wasakheynta dusha sare iyadoo la dhex gelinayo waferka xal kiimiko ah. Waa habka ugu badan ee loo isticmaalo nadiifinta kiimikada qoyan. Xalalka kala duwan ayaa loo isticmaali karaa in laga saaro noocyada kala duwan ee wasakhooyinka dusha sare ee waferka.
Caadi ahaan, habkani gabi ahaanba kama saari karo wasakhda dusha sare ee wafer-ka, sidaa darteed cabbirada jireed sida kuleylinta, ultrasound, iyo walaaqinta ayaa inta badan la isticmaalaa marka la quusinayo.
3. xoqitaanka makaanikada:
xoqitaanka makaanikada waxaa badanaa loo isticmaalaa in laga saaro walxaha ama haraaga organic ee dusha sare ee waferka. Guud ahaan waxa loo qaybin karaa laba hab:gacan-ku-xaaqid iyo xoqid masar.
Gacan ku xoqidwaa habka ugu fudud ee xoqidda. Buraashka birta ah ayaa loo isticmaalaa in lagu qabto kubad lagu qooyay ethanol anhydrous ama dareerayaasha kale ee organic oo si tartiib ah u xoqin dusha waferka isla jihada si looga saaro filimka dhuka, boodhka, xabagta haraaga ah ama qaybaha kale ee adag. Habkani waa sahlan tahay in uu keeno xagtin iyo wasakh halis ah.
Masixidu waxa ay isticmaashaa wareegga farsamada si uu dusha sare ee waferka ugu xoqo buraash dhogor jilicsan ama burush isku dhafan. Habkani wuxuu si aad ah u yareynayaa xoqitaanka maraqa. Masiirka cadaadiska sarreeya ma xoqin doono waferka sababtoo ah la'aanta farsamada farsamada, wuxuuna ka saari karaa wasakhda ku jirta jeexdin.
4. Nadiifinta Ultrasonic:
Nadiifinta Ultrasonic waa habka nadiifinta oo si ballaaran loo isticmaalo warshadaha semiconductor. Faa'iidooyinkeedu waa nadiifin wanaagsan, hawlgal fudud, iyo sidoo kale nadiifinta qalabka adag iyo weelasha.
Habkan nadiifinta ayaa hoos yimaada ficilka mowjadaha ultrasonic xooggan (inta caadiga ah ee ultrasonic la isticmaalo waa 20s40kHz), iyo qaybo yaryar iyo cufan ayaa laga abuuri doonaa gudaha dhexdhexaadiyaha dareeraha ah. Qaybta aadka u yar waxay soo saari doontaa xumbo vacuum ku dhow. Marka xumbo daloolku baaba'o, cadaadis xooggan oo maxalli ah ayaa ka dhalan doona agtiisa, kaas oo jebin doona curaarta kiimikada ee unugyadu si ay u milmaan wasakhda dusha sare ee waferka. Nadiifinta Ultrasonic ayaa ugu waxtarka badan si looga saaro haraaga qulqulka ee aan la milmi karin ama aan la milmi karin.
5. Nadiifinta Megasonic:
Nadiifinta Megasonic ma aha oo kaliya faa'iidooyinka nadiifinta ultrasonic, laakiin sidoo kale waxay ka gudubtaa cilladaheeda.
Nadiifinta Megasonic waa hab lagu nadiifiyo waferrada iyadoo la isku darayo saameynta gariir ee tamarta-sare (850kHz) iyo falcelinta kiimikada ee walxaha nadiifinta kiimikada. Inta lagu jiro nadiifinta, molecules-ka xalku waxa uu dedejiyaa mowjadda megasonic (xawaaraha ugu badan ee degdega ahi waxa uu gaadhi karaa 30cmVs), iyo mowjadda dareeraha xawliga sare leh waxay si joogto ah u saamaysaa dusha sare ee waferka, sidaa darteed wasakhowga iyo qaybo yaryar oo ku xidhan dusha sare ee maraqa ayaa si qasab ah looga saaraa oo geli xalka nadiifinta. Ku darida surfactants acidic xal nadiifinta, dhinaca kale, waxay gaari kartaa ujeedada ka saarida walxaha iyo walxaha organic ee dusha sare ee polishing iyada oo loo marayo xayeysiinta surfactants; Dhanka kale, iyada oo loo marayo isdhexgalka surfactants iyo deegaanka acidic, waxay gaari kartaa ujeedada ka saarista wasakheynta birta ee dusha sare ee xaashida dhalaalaysa. Habkani wuxuu isku mar ka ciyaari karaa doorka nadiifinta farsamada iyo nadiifinta kiimikada.
Waqtigan xaadirka ah, habka nadiifinta megasonic wuxuu noqday hab wax ku ool ah oo lagu nadiifiyo xaashida nadiifinta.
6. Habka buufinta wareega:
Habka buufinta wareegtadu waa hab isticmaala habab farsamo si uu ugu wareego waferka xawaare sare, oo si joogto ah ugu buufiya dareere (biyo nadiif ah oo nadiif ah ama dareere kale oo nadiifin ah) oogada sare ee maraqyada inta lagu jiro habka wareegga si looga saaro wasakhda dusha sare ee waferka.
Habkani wuxuu isticmaalayaa wasakhda dusha sare ee waferka si uu ugu milmo dareeraha la buufiyay (ama kiimiko ahaan ula falgal si ay u milmaan), oo waxay isticmaashaa saamaynta centrifugal ee wareegga xawaaraha sare si uu dareeraha ku jira wasakhda uga dhigo dusha sare ee waferka. waqtiga.
Habka buufinta wareegtadu waxay leedahay faa'iidooyinka nadiifinta kiimikada, nadiifinta makaanikada dareeraha, iyo xoqidda cadaadiska sare. Isla mar ahaantaana, habkan ayaa sidoo kale lagu dari karaa habka qalajinta. Muddo ka dib nadiifinta buufinta buufinta biyaha fuuq-baxday, buufinta biyaha waa la joojiyaa waxaana la isticmaalaa gaasta buufinta. Isla mar ahaantaana, xawaaraha wareegga waa la kordhin karaa si loo kordhiyo xoogga centrifugal si dhakhso ah u fuuqbaxa dusha sare ee waferka.
7.Nadiifinta kiimikada qalalan
Nadiifinta qallalan waxaa loola jeedaa tignoolajiyada nadiifinta ee aan isticmaalin xalalka.
Tiknoolajiyada nadiifinta qalalan ee hadda la isticmaalo waxaa ka mid ah: tignoolajiyada nadiifinta balasmaha, tignoolajiyada nadiifinta wajiga gaaska, tignoolajiyada nadiifinta iftiinka, iwm.
Faa'iidooyinka nadiifinta qallalan waa hab fudud oo aan lahayn wasakh deegaanka, laakiin kharashku waa mid sarreeya oo baaxadda isticmaalku maaha mid weyn wakhtiga la joogo.
1. Farsamada nadiifinta Plasma:
Nadiifinta balaasmaha waxaa badanaa loo isticmaalaa habka ka saarista sawir-qaadista. Qadar yar oo ogsijiin ah ayaa la geliyaa habka falcelinta balaasmaha. Marka la eego ficilka dhul koronto oo xooggan, oksijiintu waxay soo saartaa balasmaha, taas oo si dhakhso ah u oksijiinta sawir-qaadista xaalad gaas kacsan oo laga soo saaro.
Tiknoolajiyadan nadiifinta ah waxay leedahay faa'iidooyinka hawlgalka fudud, waxtarka sare leh, dusha nadiifka ah, xoqin la'aan, waxayna ku habboon tahay in la hubiyo tayada alaabta ee habka jajabinta. Intaa waxaa dheer, ma isticmaasho asiidhyada, alkalis iyo dareerayaasha organic, mana jiraan wax dhibaatooyin ah sida qashinka iyo wasakhowga deegaanka. Sidaa darteed, waxaa sii kordheysa qiimeynta dadka. Si kastaba ha ahaatee, kama saari karto kaarboonka iyo birta kale ee aan kacsanayn ama wasakhda oksaydhka birta ah.
2. Farsamada nadiifinta wajiga gaaska:
Nadiifinta wajiga gaaska waxaa loola jeedaa habka nadiifinta ee isticmaala wajiga gaaska oo u dhiganta walaxda u dhiganta habka dareeraha si ay ula falgalaan walaxda wasakhaysan ee dusha sare ee wafer si loo gaaro ujeedada ka saarista wasakhda.
Tusaale ahaan, habka CMOS, nadiifinta waferku waxay isticmaashaa isdhexgalka ka dhexeeya wajiga gaaska HF iyo uumiga biyaha si loo saaro oksaydhka. Sida caadiga ah, habka HF ka kooban biyaha waa in ay la socdaan habka saarista walxaha, halka isticmaalka wejiga gaaska HF technology nadiifinta uma baahna habka ka saarida qayb danbe.
Faa'iidooyinka ugu muhiimsan marka la barbar dhigo habka HF aqueous waa isticmaalka kiimikada HF aad u yar iyo waxtarka nadiifinta sare.
Ku soo dhawoow macaamiil kasta oo adduunka oo dhan ka yimid si ay noogu soo booqdaan dood dheeraad ah!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
Waqtiga boostada: Agoosto-13-2024