Qaybaha garaafyada nadiifka ah ee sarreeya ayaa muhiim u ahhababka semiconductor, LED iyo warshadaha qoraxda. Bixintayadu waxay u dhaxaysaa agabyada garaafyada ee aagagga kulul ee koraya (kuleyliyeyaasha, kuwa wax dhali kara, dahaarka), ilaa qaybaha garaafka saxda ah ee saxda ah ee qalabka farsamaynta wafer, sida silikoon carbide dahaarka garaafyada garaafyada ee Epitaxy ama MOCVD. Tani waa halka garaafyadayada takhasuska leh ay ka soo galaan ciyaarta: graphite isostatic waxay aasaas u tahay soo saarista lakabyada isku-dhafka ah ee isku-dhafka ah. Kuwaas waxaa laga soo saaraa "aagga kulul" ee heerkul aad u daran inta lagu jiro waxa loogu yeero epitaxy, ama habka MOCVD. Xamuulka wareega ee marawaxadaha ay ku dahaadhan yihiin reactor-ka, waxa uu ka kooban yahay garaafyada istatic-ga ah ee silikoon carbide ku dahaaran. Kaliya tan aadka u saafiga ah, garaafka isku midka ah ayaa buuxiya shuruudaha sare ee habka daahan.
TMabda'a aasaasiga ah ee kobaca wafer wafer ee LED waa: on substrate (inta badan sapphire, SiC iyo Si) kulaylka heerkulka ku habboon, walxaha gaaska InGaAlP waxaa loo raraa dusha substrate hab la xakameeyey si ay u koraan hal filim crystal gaar ah. Waqtigan xaadirka ah, tignoolajiyada korriinka ee wafer epitaxial LED inta badan waxay qabataa kaydinta uumiga kiimikada birta dabiiciga ah.
Maaddada substrate epitaxial LEDwaa aasaaska horumarka tignoolajiyada ee warshadaha iftiinka semiconductor. Qalabka substrate-ka kala duwan wuxuu u baahan yahay tignoolajiyada korriinka wafer wafer ee LED oo kala duwan, tignoolajiyada farsamaynta chip iyo tignoolajiyada baakadaha qalabka. Qalabka substrate-ka ayaa go'aamiya dariiqa horumarinta tignoolajiyada iftiinka semiconductor.
Astaamaha xulashada walxaha substrate wafer epitaxial:
1. Qalabka epitaxial wuxuu leeyahay qaab dhismeed isku mid ah ama la mid ah oo leh substrate-ka, is-waafajinta joogtada ah ee yar yar, crystallinity wanaagsan iyo cufnaanta cillad hoose.
2. Sifooyin is-dhexgal wanaagsan, oo ku habboon nukleemka walxaha epitaxial iyo adhesion xooggan
3. Waxay leedahay xasillooni kiimikaad oo wanaagsan mana fududa inay qudhmiso oo daxasho heerkulka iyo jawiga koritaanka epitaxial
4. Waxqabadka kulaylka wanaagsan, oo ay ku jiraan kulaylka wanaagsan iyo is-dheellitir la'aanta kulaylka oo hooseeya
5. Dhaqdhaqaaq wanaagsan, waxaa loo samayn karaa qaab dhismeed sare iyo hoose 6, waxqabadka indhaha ee wanaagsan, iyo iftiinka ka soo baxa qalabka la sameeyay ayaa si yar u nuugaya substrate-ka.
7. Qalabka farsamada ee wanaagsan iyo habka sahlan ee qalabka, oo ay ku jiraan khafiifinta, suufka iyo goynta
8. Qiimo jaban.
9. Baaxadda weyn. Guud ahaan, dhexroorku waa inuusan ka yarayn 2 inji.
10. Way fududahay in la helo substrate qaab joogto ah (haddii aysan jirin shuruudo kale oo gaar ah), iyo qaabka substrate-ka ee la midka ah godka saxaarad ee qalabka epitaxial ma fududa in la sameeyo qulqulo aan caadi ahayn, si ay u saameeyaan tayada epitaxial.
11. Marka la eego aragtida ah ee aan saameyn ku yeelan tayada epitaxial, machinability substrate waa in ay buuxisaa shuruudaha soo socda ee chip iyo baakadaha ka baaraandegidda sida ugu fog ee suurtogalka ah.
Aad bay u adag tahay xulashada substrate si ay ula kulmaan kow iyo tobanka dhinac ee kor ku xusan isku mar. Sidaa darteed, hadda, waxaan la qabsan karnaa oo kaliya R & D iyo soo saarista qalabka iftiinka-soo-saarka semiconductor ee substrates kala duwan iyada oo loo marayo isbeddelka tignoolajiyada koritaanka epitaxial iyo hagaajinta tignoolajiyada farsamaynta qalabka. Waxaa jira waxyaabo badan oo substrate ah oo loogu talagalay cilmi-baarista gallium nitride, laakiin waxaa jira laba substrate oo kaliya oo loo isticmaali karo wax soo saarka, kuwaas oo kala ah sapphire Al2O3 iyo silicon carbide.Substrates SiC.
Waqtiga boostada: Febraayo-28-2022