vet-china waxay soo bandhigaysaa Doonta Wafer-ka ah ee casriga ah ee loo habeeyey jiilka soo socda ee wax-soo-saarka semiconductor. Doontan si fiican loo nashqadeeyay waxay bixisaa saxan aan la qiyaasi karin oo ku saabsan maaraynta waferka, hubinta hawlgallada aan kala go'a lahayn waxayna si weyn u yaraynaysaa halista dhaawaca inta lagu jiro habaynta.
Lagu dhisay qalab tayo sare leh, Contiguous Wafer Boat waxay ku faantaa xasillooni kuleyl aad u wanaagsan iyo iska caabin kiimiko oo gaar ah, taasoo ka dhigaysa mid ku habboon heerkul sare iyo jawi kiimiko adag. Nashqaddeeda hal-abuurka leh waxay hubisaa in maraqyada si ammaan ah loo hayo oo si qumman u toosan, hagaajinta wax-soo-saarka iyo kordhinta waxtarka wax-soo-saarka.
Doontan wafer-geeska ah ayaa loo habeeyey si ay u daboosho baahiyaha baahida ah ee warshadda casriga ah ee semiconductor, iyada oo taageerta cabbirro kala duwan iyo qaabaynta. Markaad ku darto Doonta Wafer Contiguous ee ka socota vet-china laynkaaga wax soo saarka, waxaad filan kartaa waxqabadka la xoojiyay, wakhtiga hoos u dhaca, iyo korodhka heerarka waxsoosaarka.
Khibrad u yeelo farqiga u heellanaanta vet-china ee tayada iyo hal-abuurka, gaarsiinta alaabada riixeysa xuduudaha wax soo saarka semiconductor. Dooro Doonta Waferka ee Contiguous oo kor u qaad awoodaada wax-ka-bedelka wafer ilaa meelo cusub.
Astaamaha carbide silicon recrystalized
Silicon carbide (R-SiC) dib loo soo celiyay waa shay wax qabad sare leh oo engegnaantiisa labaad ka xigta dheeman, kaas oo lagu sameeyay heerkul sare oo ka sarreeya 2000℃. Waxay haysaa sifooyin badan oo aad u wanaagsan oo SiC ah, sida xoogga heerkulka sare, iska caabinta daxalka xooggan, iska caabinta oksaydhka ee wanaagsan, caabbinta shoogga kulaylka wanaagsan iyo wixii la mid ah.
● Sifooyin farsamo oo aad u wanaagsan. Carbide silikoon dib loo soo celiyay ayaa ka xoog badan iyo qallafsanaan ka badan kan kaarboonka, iska caabbinta saamaynta sare leh, waxay ka ciyaari kartaa wax qabad wanaagsan jawiga heerkulka aadka u daran, waxay ciyaari kartaa waxqabad ka hortag ah oo ka fiican xaalado kala duwan. Intaa waxaa dheer, waxay sidoo kale leedahay dabacsanaan wanaagsan oo aan si fudud u dhaawacmin kala-baxa iyo foorarsiga, taas oo si weyn u hagaajinaysa waxqabadkeeda.
● Iska caabbinta daxalka sare. Silicon carbide recrystallized waxay leedahay iska caabin sare oo daxalka u ah warbaahinta kala duwan, waxay ka hortagi kartaa nabaad-guurka warbaahinta kala duwan ee daxalka, waxay sii wadi kartaa sifooyinkeeda farsamaysan muddo dheer, waxay leedahay adhesion xoog leh, si ay u hesho nolol adeeg dheer. Intaa waxaa dheer, waxay sidoo kale leedahay xasillooni heerkuleed oo wanaagsan, waxay la qabsan kartaa isbeddellada heerkulka qaarkood, waxay hagaajinaysaa saameynteeda codsiga.
● Sintering ma yarayn. Sababtoo ah habka qallafsanaantu ma yarayn, wax walbahaarka haraaga ah ma keeni doono qallafsanaan ama dildilaaca alaabta, iyo qaybo leh qaabab adag iyo saxsanaan sare ayaa la diyaarin karaa.
重结晶碳化硅物理特性 Astaamaha jireed ee Silicon Carbide dib loo soo celiyay | |
性质 / Hanti | 典型数值 / Qiimaha caadiga ah |
使用温度/ Heerkulka shaqada (°C) | 1600°C (oo oksijiin leh), 1700°C (hoos u dhaca deegaanka) |
SiC含量/ Waxyaabaha ay ka kooban tahay SiC | > 99.96% |
自由Si含量/ Waxyaabo Si bilaash ah | <0.1% |
体积密度/Cufnaanta weyn | 2.60-2.70 g/cm3 |
气孔率/ Porosity muuqda | <16% |
抗压强度/ Xoog cadaadis | > 600MPa |
常温抗弯强度/Xoog laabashada qabow | 80-90 MPa (20°C) |
高温抗弯强度Xoog foorarsi kulul | 90-100 MPa (1400°C) |
热膨胀系数/ Balaadhinta kulaylka @1500°C | 4.70 10-6/°C |
导热系数/Dhaqdhaqaaqa kulaylka @1200°C | 23W/m•K |
杨氏模量/ Elastic modules | 240 GPA |
抗热震性/ U adkaysiga shoogga kulaylka | Aad u wanaagsan |
VET Energy waa ahsoo saaraha dhabta ah ee alaabta graphite iyo silikoon carbide oo leh daahan CVD,keeni karakala duwanqaybo gaar ah oo loogu talagalay semiconductor iyo warshadaha sawirkavoltaic. Okooxdayada farsamo waxay ka yimaadaan hay'adaha cilmi-baarista gudaha ee ugu sarreeya, waxay ku siin karaan xalal qalab xirfadeed oo dheeraad ahadiga.
Waxaan si joogto ah u horumarinaa habab horumarsan si aan u bixinno agab aad u horumarsan,iyowaxay ka shaqeeyeen tignoolajiyada gaarka ah ee rukhsadda leh, taas oo ka dhigi karta isku xidhka dahaarka iyo substrate-ka mid adag oo u nugul goynta.
CVD SiC薄膜基本物理性能 Tilmaamaha asaasiga ah ee CVD SiCdaahan | |
性质 / Hanti | 典型数值 / Qiimaha caadiga ah |
晶体结构 / Dhismaha Crystal | FCC β wejiga多晶,主要为(111) 取向 |
密度 / Cufnaanta | 3.21 g/cm³ |
硬度 / Adag | 2500 维氏硬度(500g oo culeys ah |
晶粒大小 / Hadhuudhka Size | 2 ~ 10μm |
纯度 / Nadiifnimada Kiimikada | 99.99995% |
热容 / Awoodda kulaylka | 640 · kg-1·K-1 |
升华温度 / Heerkulka Sublimation | 2700 ℃ |
抗弯强度 / Xoog Jilicsan | 415 MPa RT 4-dhibic |
杨氏模量 /Dhallinyarada Modulus | 430 Gpa 4pt laab, 1300 ℃ |
导热系数 / ThermalHab-dhaqanka | 300W·m-1·K-1 |
热膨胀系数 / Balaadhinta kulaylka (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Si diiran kuugu soo dhawoow inaad soo booqato warshadeena, aynu wada hadal dheeraad ah yeelano!