Chechitatu chizvarwa semiconductor pamusoro -SiC (silicon carbide) zvishandiso uye mashandisirwo azvo

Serudzi rutsva rwe semiconductor zvinhu, SiC yave inonyanya kukosha semiconductor zvinhu zvekugadzira mapfupi-wavelength optoelectronic zvishandiso, tembiricha yakakwira, michina yekudzivirira nemwaranzi uye masimba emagetsi epamusoro / emagetsi emagetsi nekuda kwekunaka kwayo kwemuviri nemakemikari uye. zvinhu zvemagetsi. Kunyanya kana ikashandiswa pasi pemamiriro akanyanya uye akaomarara, hunhu hweSiC zvishandiso hunodarika nekure izvo zveSi zvishandiso neGaAs zvishandiso. Naizvozvo, maSiC zvishandiso nemhando dzakasiyana dzemasensa zvishoma nezvishoma zvave chimwe chezvishandiso zvakakosha, zvichitamba basa rakawanda uye rakakosha.

Zvishandiso zveSiC nemaseketi zvakakura nekukurumidza kubva kuma1980, kunyanya kubvira 1989 apo yekutanga SiC substrate wafer yakapinda mumusika. Mune dzimwe nzvimbo, dzakadai sechiedza-emitting diodes, high-frequency high-power and high-voltage madivayiri, SiC zvishandiso zvakashandiswa zvakanyanya kutengeserana. Kubudirira kunokurumidza. Mushure meanoda kusvika makore gumi ebudiriro, iyo SiC mudziyo maitiro akakwanisa kugadzira zvigadzirwa zvekutengesa. Makambani akati wandei anomiririrwa neCree atanga kupa zvigadzirwa zvekutengesa zveSiC zvishandiso. Masangano ekutsvagisa emudzimba nemayunivhesiti akaitawo zvinogutsa mukukura kwezvinhu zveSiC uye tekinoroji yekugadzira michina. Kunyangwe iyo SiC zvinhu zvine epamusoro zvakanyanya emuviri nemakemikari zvivakwa, uye iyo SiC mudziyo tekinoroji yakakurawo, asi kuita kweSiC zvishandiso nemaseketi hakuna kukwirisa. Pamusoro peSiC zvinhu uye maitiro echishandiso anofanirwa kugara achivandudzwa. Kuedza kwakawanda kunofanirwa kuiswa pamabatiro ekutora mukana weSiC zvinhu nekugadzirisa S5C mudziyo chimiro kana kukumbira chimiro chitsva chemudziyo.

Parizvino. Tsvagiridzo yemidziyo yeSiC inonyanya kutarisa pane discrete zvishandiso. Kune yega yega yemhando yedhizaini, yekutanga tsvagiridzo ndeye kungoisa inoenderana Si kana GaAs mudziyo chimiro kuSiC pasina kukwenenzvera chimiro chemudziyo. Sezvo iyo intrinsic oxide layer yeSiC yakafanana neSi, inova SiO2, zvinoreva kuti michina yakawanda yeSi, kunyanya m-pa michina, inogona kugadzirwa paSiC. Kunyangwe ichingori nyore kutapurirana, zvimwe zvezvishandiso zvakawanikwa zvakawana mhedzisiro inogutsa, uye zvimwe zvezvishandiso zvakatopinda mumusika wefekitori.

SiC optoelectronic madivayiri, kunyanya eblue light emitting diodes (BLU-ray leds), akapinda mumusika mukutanga kwema1990 uye ndiwo masikirwo eSiC ekutanga kugadzirwa. High voltage SiC Schottky diodes, SiC RF simba transistors, SiC MOSFETs uye mesFETs zvakare inowanikwa mune zvekutengesa. Ehe, kuita kwezvose izvi zvigadzirwa zveSiC kuri kure nekutamba hunhu hweSiC zvinhu, uye kushanda kwakasimba uye kuita kweSiC zvishandiso kuchiri kuda kuongororwa nekuvandudzwa. Kudyara kwakapusa kwakadaro kazhinji hakugone kushandisa zvizere zvakanakira zveSiC zvinhu. Kunyangwe munzvimbo yezvimwe zvakanaka zveSiC zvishandiso. Mimwe yemidziyo yeSiC yakatanga kugadzirwa haigone kuenderana nekushanda kweiyo inoenderana Si kana CaAs zvishandiso.

Kuti tishandure zvirinani mabhenefiti eSiC zvinhu hunhu kuita zvakanakira SiC zvishandiso, isu parizvino tiri kudzidza maitiro ekugadzirisa maitiro ekugadzira mudziyo uye chimiro chemudziyo kana kugadzira zvimiro zvitsva uye maitiro matsva ekuvandudza mashandiro nekuita kweSiC zvishandiso.